一种粘合剂废液分离过滤装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体临时粘合工程领域。更具体地，涉及一种粘合剂废液分离过滤装置。


背景技术：

2.半导体临时粘合工程主要分为涂层工程、粘合工程以及热处理工程三部分，为了将两个晶圆进行粘合，粘合前在晶圆表面涂布粘合剂的工程就是涂层工程，在工作过程中，涂布机的喷嘴将粘合剂喷射到晶圆表面，为了使得粘合剂均匀的涂布在整片晶圆上，需要将带有粘合剂的晶圆进行高速旋转，使得粘合剂在离心力的作用下均匀的涂布在晶圆表面，同时在这个过程中，粘合剂在离心力的作用下会飞溅到涂布机工程腔的侧壁上，所以在涂布完成后需要对涂布机进行清洗，多余的粘合剂以及清洗液作为废液经排管排出，现有的排管一般为以90
°
或者一定角度弯折后水平流出的结构，这种结构的排管无法将带有残留粘合剂的废液完全排除干净，废液中的粘性物质会随着使用时间逐渐堆积在排管内最终对排管造成堵塞，产生逆流等问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种粘合剂废液分离过滤装置，以实现将涂层工程中产生的粘合剂废液进行有效的分离过滤，防止粘合剂废液排出时堵塞排管，解决因粘合剂废液逆流产生的产品不良以及工程设备污染等问题。
4.为达到上述目的，本实用新型提供一种粘合剂废液分离过滤装置，所述装置包括：
5.储液桶；
6.可拆卸地悬置于储液桶内部的废液沉浸容器；以及
7.位于储液桶侧壁上的第一液面传感器和第二液面传感器；所述第一液面传感器位于所述第二液面传感器的上方位置；
8.所述储液桶的顶壁上包括有废液进口；
9.所述储液桶底部的侧壁上包括有废液出口；
10.所述装置还包括有位于储液桶外的与所述废液出口连接的排出泵；
11.所述第一液面传感器被配置为可在被触发后控制排出泵开启；
12.所述第二液面传感器被配置为可在被触发后控制排出泵关闭。
13.此外，优选地方案是，所述废液沉浸容器设置于与所述废液进口相对应配合的位置，废液沉浸容器被配置为承接由废液进口排入储液桶内的废液。
14.此外，优选地方案是，所述第二液面传感器的高度高于废液出口的高度。
15.此外，优选地方案是，所述第一液面传感器和第二液面传感器分别结合固定在所述储液桶侧壁的外侧表面上，与所述第一液面传感器和第二液面传感器对应的储液桶侧壁为透明侧壁。
16.此外，优选地方案是，所述装置包括有结合固定在所述储液桶侧壁外侧表面上的
安装件，所述安装件上包括有竖向设置的安装槽；
17.所述第一液面传感器以及第二液面传感器分别通过螺栓固定在所述安装件的安装槽上。
18.此外，优选地方案是，所述废液进口连接有废液导管，所述废液导管被配置为导入废液。
19.此外，优选地方案是，所述储液桶内包括有托载废液沉浸容器的支架；
20.所述支架包括有支撑部以及托台部；
21.所述废液沉浸容器位于所述托台部的顶面上。
22.此外，优选地方案是，所述托台部的顶面上包括有容置槽，所述废液沉浸容器的底部位于所述容置槽内。
23.此外，优选地方案是，所述装置还包括控制系统；所述第一液面传感器与第二液面传感器均与控制系统相连，通过所述控制系统可实现对排出泵开启与关闭的控制。
24.本技术的有益效果如下：
25.针对现有技术中存在的技术问题，本技术实施例提供一种粘合剂废液分离过滤装置，所述装置可应用到半导体临时粘合工程的涂层工程当中，可对涂层工程中产生的粘合剂废液进行分离过滤，改善现有技术中因废液中含有的高粘性物质所造成的排管堵塞等问题，进而解决因排管堵塞所造成的生产设备稼动率明显低下，废液逆流导致的产品不良以及生产设备污染等问题。本实用新型所提供的装置可将粘合剂废液中的高粘性物质分离后再将废液排出，有效解决了废液对排管造成的堵塞问题，可明显提高生产设备的稼动率以及良品率，还可有效避免工程设备的污染。再者，在生产过程中，为了预防堵塞问题要时常配置人力，短周期内对设备进行维护，人力损耗率低下，本实用新型所提供的装置只需定期对废液沉浸容器进行清理，极大地延长了设备的维护周期，可以减少不必要的人力损耗。
附图说明
26.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。
27.图1示出本实用新型的一个实施例中的粘合剂废液分离过滤装置的结构示意图。
28.图2示出本实用新型的一个实施例中的粘合剂废液分离过滤装置的结构简图。
29.图3a
‑
3d示出本实用新型一个实施例中的粘合剂废液分离过滤装置的工作过程的示意图。
具体实施方式
30.为了更清楚地说明本实用新型，下面结合优选实施例和附图对本实用新型做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解的是，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本实用新型的保护范围。
31.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连
接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
32.还需要说明的是，在本技术的描述中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
33.为解决现有技术存在的缺陷，本实用新型的实施例提供一种粘合剂废液分离过滤装置，结合图1以及图2所示，装置包括：
34.储液桶1；
35.可拆卸地悬置于储液桶1内部的废液沉浸容器2；以及
36.位于储液桶1侧壁上的第一液面传感器3和第二液面传感器4；第一液面传感器3位于第二液面传感器4的上方位置；
37.储液桶1的顶壁10上包括有废液进口11；
38.储液桶1底部的侧壁上包括有废液出口12；
39.装置还包括有位于储液桶1外的与废液出口12连接的排出泵5；在一个具体示例中，排出泵5通过废液排出管6连接废液出口12，废液排出管6可通过排出泵5将过滤后的废液排出，进一步地，通过控制排出泵5的开启和关闭可以控制过滤后废液的排出。
40.第一液面传感器3被配置为可在被触发后控制排出泵5开启；
41.第二液面传感器4被配置为可在被触发后控制排出泵5关闭。
42.在一个具体示例中，所述废液沉浸容器2设置在与废液进口11相对应配合的位置，废液沉浸容器2用于承接由废液进口11排入储液桶1内的废液，如图2所示，废液沉浸容器2位于废液进口11正下方的位置，当废液经废液进口11排入储液桶1时，会先进入沉浸容器2之中，由于密度不同，废液中粘度较高的部分废液会与粘度较低的部分废液分离沉淀在废液沉浸容器2的底部，粘度较低的部分废液在废液沉浸容器2内部积累到一定程度后会从废液沉浸容器2中溢出进入储液桶1之中，从废液沉浸容器2中溢出进入储液桶1内的废液即为分离过滤后的废液，经过过滤后的废液之中不再含有粘性物质，故不会再造成堵塞等问题，可经废液排出管6直接排出。进一步地，为了保证装置的有效运行，需要定期将废液沉浸容器2取出清理其内部所沉淀的粘度较高的部分废液。
43.在一个具体示例中，第二液面传感器4的高度应高于废液出口12的高度。当由废液沉浸容器2溢出进入储液桶1内的废液的液面高度达到第一液面传感器3所在的位置时，会触发第一液面传感器3，排出泵5被启动开始排出储液桶1内的废液，废液持续排出至储液桶1内废液的液面高度到达第二液面传感器4所在的位置时，第二液面传感器4被触发，排出泵5被关闭，停止排出动作。需要说明的是，在第二液面传感器4被触发前，排出泵5一直保持开启状态，持续排出废液，直至储液桶1内废液的液面高度达到第二液面传感器4所在的位置。在本实施例中，第一液面传感器3以及第二液面传感器4可为红外传感器或者其它具有相同功效的传感器。
44.在一个实施例中，第一液面传感器3和第二液面传感器4分别结合固定在储液桶1侧壁13的外侧表面，第一液面传感器3以及第二液面传感器4均用于检测储液桶1内废液的液面高度，进而通过控制排出泵5的开启和关闭控制废液的排出。为了方便第一液面传感器3以及第二液面传感器4对储液桶1内废液的液面高度进行检测，将与第一液面传感器3和第二液面传感器4对应的储液桶1的侧壁13设置为透明。
45.在一个具体示例中，装置还包括有结合固定在储液桶1侧壁外侧表面上的安装件7，安装件7上包括有竖向设置的安装槽70，第一液面传感器3和第二液面传感器4分别通过螺栓固定在安装件7的安装槽70上，第一液面传感器3和第二液面传感器4均可沿着安装槽70上下滑动，第一液面传感器3被配置为可根据储液桶1内的废液液面所允许的最高高度调整相应的位置，第二液面传感器4被配置为可根据储液桶1内的废液液面所允许的最低高度调整相应的位置。
46.在一个实施例中，废液进口11连接有废液导管14，废液导管14的一端与废液进口11连接，废液导管14的另一端连接涂布机的排管，废液导管14用来将涂布机排出的粘合剂废液导入储液桶1。
47.在一个具体示例中，储液桶1内部包括有用来托载废液沉浸容器的支架8，支架8包括有支撑部81以及托台部82，支撑部81结合固定在储液桶1的底部，托台部82用于放置废液沉浸容器2，废液沉浸容器2置于托台部82的顶面。
48.在一个实施例中，为了增加废液沉浸容器2在支架8上的稳定性，在托台部82的顶面上设置容置槽83，将废液沉浸容器2的底部置于容置槽83内。可有效防止在收集废液的过程中废液沉浸容器2的位置在废液的冲击下发生偏移，影响对废液的收集等问题的产生。
49.在一个具体示例中，装置还包括由储液桶1的一侧壁14的内表面向储液桶1内部延伸出的挡片9，挡片9可增加在竖直方向上对废液沉浸容器2的限制，防止在收集废液的过程中废液沉浸容器2的位置发生偏移从而影响废液收集效果。进一步地，挡片9可以通过与容置槽83相互配合对废液沉浸容器2进行x、y、z三个方向上的限制，防止废液沉浸容器2在收集废液的过程中发生位置偏移或者掉落，导致废液在没有进入废液沉浸容器2进行沉淀的情况下直接进入储液桶1内，影响废液收集以及废液分离的效果。
50.在一个实施例中，结合图1所示，废液沉浸容器2还包括把手20，通过把手20可方便废液沉浸容器2的取放，方便定期对废液沉浸容器2中所沉淀的粘度较高的部分废液进行清理。
51.在一个具体示例中，装置还包括有控制系统，第一液面传感器以及第二液面传感器均与控制系统相连，通过控制系统可实现控制排出泵5的开启和关闭。
52.结合图3a
‑
3d所示，本实用新型所提供的装置在实际操作过程中，包括以下步骤：
53.步骤一，如图3a所示，废液100经废液导管14从废液进口11排入储液桶1内部的废液沉浸容器2内。
54.步骤二，如图3b所示，废液在废液沉浸容器2内累积，相对密度较高的部分废液101沉淀在废液沉浸容器2的底部，相对密度较低的部分废液102在废液沉浸容器2内部累积到一定程度后溢出进入储液桶1内。
55.步骤三，如图3c所示，溢出的废液102即为分离过滤后的废液，废液102在储液桶1内累积，当液面高度达到第一液面传感器3所在位置时，第一液面传感器3被触发，控制系统
控制排出泵5开启，废液102经废液排出管6排出。
56.步骤四，如图3d所示，储液桶1内过滤后的废液持续排出，直至储液桶1内废液102的液面高度到达第二液面传感器4所在的位置时，第二液面传感器4被触发，控制系统控制排出泵5关闭，废液102不再排出。
57.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。