真空马达的制作方法

技术特征：
1.一种真空马达，其特征在于，该真空马达包括：一基座；一真空马达转子组合，其中各该真空马达转子组合是沿垂直方向层状排列，且位于最下层的该真空马达转子组合连接该基座，该真空马达转子组合包括：一汽缸，其中该汽缸包括一汽缸壁；两爪形转子，该两爪形转子设于该汽缸，该两爪形转子皆包括：一爪部；一凹陷部，设于该爪部并与该汽缸壁形成一闪避空间；以及一隔板，覆盖于该汽缸与该两爪形转子，以形成该真空马达转子组合。2.如权利要求1所述的真空马达，其特征在于，该爪部包括一第一外缘面以及一第二外缘面，该凹陷部设于该第一外缘面与该第二外缘面之间。3.如权利要求2所述的真空马达，其特征在于，该凹陷部包括一深度h，该深度h>0.1mm。4.如权利要求3所述的真空马达，其特征在于，该凹陷部包括一底面，其中该深度h为该底面与该汽缸壁间的距离。5.如权利要求4所述的真空马达，其特征在于，该第一外缘面以及该第二外缘面的面积分别占该爪部的爪面截面积的5％～50％。6.如权利要求5所述的真空马达，其特征在于，该第一外缘面以及该第二外缘面的面积分别占该爪部的爪面截面积的10％～30％。7.如权利要求1所述的真空马达，其特征在于，该真空马达包括多个该真空马达转子组合，其中各该真空马达转子组合是沿垂直方向层状排列，且位于最下层的该真空马达转子组合连接该基座。

技术总结
本发明公开一种真空马达，包括基座与一真空马达转子组合，其中真空马达转子组合包括汽缸、隔板、汽缸与两爪形转子，两爪形转子设于汽缸，其中汽缸包括汽缸壁，两爪形转子皆包括爪部与凹陷部。凹陷部设于爪部并与汽缸壁形成闪避空间。隔板覆盖于汽缸与两爪形转子，以形成真空马达转子组合。真空马达转子组合。真空马达转子组合。


技术研发人员：顾崇诚
受保护的技术使用者：信强(宁波)半导体设备制造有限公司
技术研发日：2020.03.27
技术公布日：2021/9/27