一种清除腔室碎片的装置的制作方法

1.本实用新型涉及光伏设备制造技术领域，尤其涉及光伏用的板式pecvd设备和腔室碎片清除装置。


背景技术：

2.真空设备工作状态是高温真空状态，腔室内在生产过程中会产生碎片、碎屑，高温真空状态下，清除比较困难，目前常用的清除碎片的办法是设备停机，降低温度至常温后，腔室压力破真空到大气压后，打开腔体，人工清理碎片。
3.这种方法存在以下缺点：1、不能做到及时清除，存在的碎片可能会对工艺和设备产生不良影响。
4.2、清除碎片时设备停复机，腔体升温和降温浪费大量时间，造成设备的利用率低下。
5.3、频繁升降温，真空泵频繁停止启动，都会造成设备相关零部件的使用寿命缩短，带来宕机危险。
6.4、针对于异质结电池的工艺敏感性，频繁打开工艺腔室会带来工艺不稳定、造成污染等影响。
7.另外，相比于有载板方案，目前无载板方案的pecvd设备，发生碎片时，碎片容易掉落到腔室的下电极底座位置，会对接下来的工艺造成影响，需要及时清理碎片。但密闭真空高温状态下，清除碎片存在困难。


技术实现要素：

8.本实用新型就是针对上述问题，提供的一种简单快捷，低成本的清除腔室碎片的装置。
9.为实现本实用新型的上述目的，本实用新型采用如下技术方案，本实用新型包括抓手装置、静电发生装置和碎片清除板，其特征在于：所述碎片清除板与静电发生装置相配合，所述抓手装置与碎片清除板相配合。
10.作为本实用新型的一种优选方案，所述碎片清除板包括绝缘边框，绝缘边框下方设置有中间电极层，中间电极层下方设置有下绝缘层，中间电极层上方设置有上电极层。
11.进一步的，所述下电极层表面设置有防划伤层。
12.作为本实用新型的另一种优选方案，所述静电发生装置包括绝缘箱体，绝缘箱体内设置有与静电发生器连接的静电棒，绝缘箱体内相对于静电棒设置有绝缘架；绝缘架上相应于碎片清除板的边缘设置有抓手避让结构。
13.进一步的，所述绝缘箱体内排布设置有多个静电棒，多个静电棒的上方和下方均设置有绝缘架。
14.作为本实用新型的第三种优选方案，所述抓手装置包括与驱动机构相连的抓手体，抓手体底部相应于碎片清除板的边缘设置有钩边。
15.本实用新型的有益效果：不同于常规的静电吸盘用于稳定地吸住晶圆，本实用新型的碎片清除板用于吸除碎腔室内的碎硅片。同时简单超薄的结构使制造成本只有常规静电吸盘的百分之一到千分之一，可以大规模使用。使用时不需要连接静电发生器，充电时非接触模式，也使本实用新型的应用简单方便。
16.通过对一系列静电棒的摆放，可以一次对多块碎片清除板进行充电，极大节省所需静电发生器的数量，pecvd设备可以一次抓取多片碎片清除板进行对整个腔体的下电极进行碎片清除。
附图说明
17.图1是本实用新型的结构示意图。
18.图2是抓手装置抓取碎片清除板的结构示意图。
19.图3是静电发生装置的结构示意图。
20.图4是一次对多个碎片清除板进行充电的静电发生装置的结构示意图。
21.附图中1为碎片、2为碎片清除板、3为下绝缘层、4为中间电极层、5为上绝缘层、6为绝缘边框、7为钩边、8为静电棒、9为绝缘箱体、10为静电发生器、11为抓手装置。
具体实施方式
22.本实用新型包括抓手装置11、静电发生装置和碎片清除板2，其特征在于：所述碎片清除板2与静电发生装置相配合，所述抓手装置11与碎片清除板2相配合。
23.作为本实用新型的一种优选方案，所述碎片清除板2包括绝缘边框6，绝缘边框6下方设置有中间电极层4，中间电极层4下方设置有下绝缘层3，中间电极层4上方设置有上电极层。
24.进一步的，所述下电极层表面设置有防划伤层。
25.作为本实用新型的另一种优选方案，所述静电发生装置包括绝缘箱体9，绝缘箱体9内设置有与静电发生器10连接的静电棒8，绝缘箱体9内相对于静电棒8设置有绝缘架；绝缘架上相应于碎片清除板2的边缘设置有抓手避让结构。
26.进一步的，所述绝缘箱体9内排布设置有多个静电棒8，多个静电棒8的上方和下方均设置有绝缘架。
27.作为本实用新型的第三种优选方案，所述抓手装置11包括与驱动机构相连的抓手体，抓手体底部相应于碎片清除板2的边缘设置有钩边7。
28.本实用新型清除碎片方法：由所述静电发生器10通给碎片清除板2充电，介电质的表面会产生极化电荷，待充电饱和后，碎片清除板2由抓手装置11将送至pecvd设备的腔室内，靠近或者接触腔室内的底座，碎片清除板2吸附碎片1，再由抓手装置11抓走碎片清除板2；当碎片清除板2吸附着碎片1从腔室中出来后，采用施加反向电压的方式，去除碎片清除板2和碎片1上的静电荷，碎片1从碎片清除板2上脱离，最终完成整个清除碎片1的过程。
29.所述碎片清除板2充电时，放置到静电棒8上方或下方，静电棒8接静电发生器10，碎片清除板2和静电棒8放置在绝缘箱体9内；由静电棒8对碎片清除板2充电，使碎片清除板2产生静电荷，充电完成后，将碎片清除板2从绝缘箱体9中取出，放入腔室内清除碎片1。
30.放置多组或者多整列的碎片清除板2在所述静电棒8上方或者四周，同时由多组带
有双面静电针的静电棒8排列在碎片清除板2下方。
31.实施例：所述下绝缘层3厚度1～10mm, 可以是有机树脂、teflon、橡胶、塑料、陶瓷等耐高温绝缘材料制成。
32.所述中间电极层4厚度0.1～5mm，可以由铜、铝、钛、银等导电金属材质制成。
33.所述上绝缘层5厚度1～10mm,可以由有机树脂、teflon、橡胶、塑料、陶瓷、绝缘漆、绝缘胶等绝缘材料制成。
34.所述绝缘边框6可以由有机树脂、teflon、橡胶、塑料、陶瓷等耐高温绝缘材料制成。
35.所述静电发生器10输出高电压可调，范围正负1～120kv。
36.所述碎片清除板2的下表面覆盖一层防划伤层，防止碎片1损伤下表面绝缘层，防止吸附过程中摩擦损伤。
37.所述防划伤层可由特氟龙、聚酰亚胺材料制成，采用胶带形式贴附到所述下绝缘层3的表面。
38.可以理解的是，以上关于本实用新型的具体描述，仅用于说明本实用新型而并非受限于本实用新型实施例所描述的技术方案，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种清除腔室碎片的装置，包括抓手装置（11）、静电发生装置和碎片清除板（2），其特征在于：所述碎片清除板（2）与静电发生装置相配合，所述抓手装置（11）与碎片清除板（2）相配合。2.根据权利要求1所述的一种清除腔室碎片的装置，其特征在于：所述碎片清除板（2）包括绝缘边框（6），绝缘边框（6）下方设置有中间电极层（4），中间电极层（4）下方设置有下绝缘层（3），中间电极层（4）上方设置有上电极层。3.根据权利要求2所述的一种清除腔室碎片的装置，其特征在于：所述碎片清除板（2）的下表面覆盖一层防划伤层。4.根据权利要求1所述的一种清除腔室碎片的装置，其特征在于：所述静电发生装置包括绝缘箱体（9），绝缘箱体（9）内设置有与静电发生器（10）连接的静电棒（8），绝缘箱体（9）内相对于静电棒（8）设置有绝缘架；绝缘架上相应于碎片清除板（2）的边缘设置有抓手避让结构。5.根据权利要求4所述的一种清除腔室碎片的装置，其特征在于：所述绝缘箱体（9）内排布设置有多个静电棒（8），多个静电棒（8）的上方和下方均设置有绝缘架。6.根据权利要求1所述的一种清除腔室碎片的装置，其特征在于：所述抓手装置（11）包括与驱动机构相连的抓手体，抓手体底部相应于碎片清除板（2）的边缘设置有钩边（7）。

技术总结
一种清除腔室碎片的装置及PECVD设备的碎片清除方法涉及光伏设备制造技术领域，尤其涉及光伏用的板式PECVD设备和腔室碎片清除装置及碎片清除方法。本实用新型包括抓手装置、静电发生装置和碎片清除板，其特征在于：所述碎片清除板与静电发生装置相配合，所述抓手装置与碎片清除板相配合。与碎片清除板相配合。与碎片清除板相配合。


技术研发人员：杨宝海 德克.赫伯曼 杨娜 潘家永 许伟伟 宋玉超 乌维.赫伯曼 李轶军 李翔 李敦信 李义升
受保护的技术使用者：营口金辰机械股份有限公司
技术研发日：2020.11.30
技术公布日：2021/10/8