1.本实用新型涉及芯片加工设备，尤其涉及旋转酸洗花篮。
背景技术：
2.在集成电路组件的工艺中，最频繁的步骤就是晶圆的洗净，晶圆洗净的目的是为了去除附着于晶片表面上的有机化合物、金属杂质或微粒等污染物。而这些污染物对于产品后续工艺步骤的影响非常大。目前通常清洗方式是将晶圆摆放与晶片舟上，通过酸洗花篮限位固定后，放入酸洗槽中进行清洗。由于晶圆规格的种类不断增多，所以造成生产过程中由于作业晶圆片架的尺寸不一，在酸洗时需对旋转花篮进行更换，以适用不同尺寸的片架。
技术实现要素：
3.本实用新型针对以上问题，提供了结构紧凑、提高酸洗花篮使用效率和清洗效率的旋转酸洗花篮。
4.本实用新型的技术方案是：包括花篮主体、花篮盖板和花篮卡扣；
5.所述花篮盖板的一端与所述花篮主体的顶部铰接，另一端与所述花篮主体之间通过所述花篮卡扣可拆卸固定连接；
6.所述花篮卡扣的一端活动连接在所述花篮主体上，另一端设有与所述花篮盖板适配的可拆卸连接的卡口；
7.所述花篮主体包括一对板座和若干限位杆；
8.一对所述板座分别可调节固定设置在所述限位杆的两侧；
9.所述板座上设有若干与所述限位杆适配的弧形调节孔；
10.若干所述弧形调节孔与若干所述限位杆的数量相等，并一一对应；
11.所述限位杆的端部通过螺母与所述板座可调节固定连接。
12.所述花篮卡扣呈板状。
13.所述板座包括内侧板和外侧板；
14.所述内侧板与外侧板之间通过限位杆上的螺母相互固定；
15.所述外侧板上靠近顶部的中部位置设有连接设备旋转轴的旋转安装孔。
16.所述花篮盖板包括一对压板和一对平行设置的连接杆；
17.一对所述压板分别竖向固定设置在所述连接杆的端部。
18.本实用新型中包括花篮主体、花篮盖板和花篮卡扣；花篮盖板的一端与花篮主体的顶部铰接，另一端与花篮主体之间通过花篮卡扣可拆卸固定连接；花篮主体包括一对板座和若干限位杆；本案中限位杆设有4个，形成与晶片舟适配的容纳腔；使用时，将限位杆两端的螺栓分别松开，使限位杆获得在弧形调节孔可自由调节的状态；此时，将盛满晶圆片的晶片舟放入花篮主体中，通过晶片舟的尺寸自动调节限位杆在弧形调节孔内的位置状态，与之适配，拧紧螺母；盖合花篮盖板，通过花篮卡扣使得花篮盖板与花篮主体固定。本实用
新型具有结构紧凑、提高酸洗花篮使用效率和清洗效率等特点。
附图说明
19.图1是本实用新型的立体结构示意图一，
20.图2是本实用新型的立体结构示意图二，
21.图3是本实用新型的立体结构示意图三，
22.图4是本实用新型的主视结构示意图，
23.图5是图4右侧结构示意图，
24.图6是图4左侧结构示意图；
25.图中1是花篮主体，11是板座，111是弧形调节孔，112是内侧板，113是外侧板，1131是旋转安装孔，12是限位杆，
26.2是花篮盖板，21是压板，22是连接杆，
27.3是花篮卡扣，31是卡口，
28.4是螺母。
具体实施方式
29.本实用新型如图1
‑
6所示，旋转酸洗花篮，包括花篮主体1、花篮盖板2和花篮卡扣3；
30.所述花篮盖板2的一端与所述花篮主体1的顶部铰接，另一端与所述花篮主体1之间通过所述花篮卡扣3可拆卸固定连接；
31.所述花篮卡扣3的一端活动连接在所述花篮主体1上，另一端设有与所述花篮盖板2适配的可拆卸连接的卡口31；
32.所述花篮主体1包括一对板座11和若干限位杆12；本案中限位杆12设有4个，形成与晶片舟适配的容纳腔；
33.一对所述板座11分别可调节固定设置在所述限位杆12的两侧；
34.所述板座11上设有若干与所述限位杆12适配的弧形调节孔111；
35.若干所述弧形调节孔111与若干所述限位杆12的数量相等，并一一对应；
36.所述限位杆12的端部通过螺母4与所述板座11可调节固定连接。
37.所述花篮卡扣3呈板状。
38.所述板座11包括内侧板112和外侧板113；
39.所述内侧板112与外侧板113之间通过限位杆12上的螺母4相互固定；
40.所述外侧板113上靠近顶部的中部位置设有连接设备旋转轴的旋转安装孔1131。酸洗花篮的两端的旋转安装孔1131分别与设置旋转轴连接，通过旋转轴旋转，使晶圆片在酸洗槽内充分高效清洗。
41.所述花篮盖板2包括一对压板21和一对平行设置的连接杆22；
42.一对所述压板21分别竖向固定设置在所述连接杆22的端部。
43.本案装置使用方式为，如图2所示，将限位杆12两端的螺栓分别松开，使限位杆12获得在弧形调节孔111可自由调节的状态；此时，将盛满晶圆片的晶片舟放入花篮主体1中，通过晶片舟的尺寸自动调节限位杆12在弧形调节孔111内的位置状态，与之适配，拧紧螺母
4；盖合花篮盖板2，通过花篮卡扣3使得花篮盖板2与花篮主体1固定。
44.对于本案所公开的内容，还有以下几点需要说明：
45.（1）、本案所公开的实施例附图只涉及到与本案所公开实施例所涉及到的结构，其他结构可参考通常设计；
46.（2）、在不冲突的情况下，本案所公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例；
47.以上，仅为本案所公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，本案所公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
技术特征：
1.旋转酸洗花篮，其特征在于，包括花篮主体、花篮盖板和花篮卡扣；所述花篮盖板的一端与所述花篮主体的顶部铰接，另一端与所述花篮主体之间通过所述花篮卡扣可拆卸固定连接；所述花篮卡扣的一端活动连接在所述花篮主体上，另一端设有与所述花篮盖板适配的可拆卸连接的卡口；所述花篮主体包括一对板座和若干限位杆；一对所述板座分别可调节固定设置在所述限位杆的两侧；所述板座上设有若干与所述限位杆适配的弧形调节孔；若干所述弧形调节孔与若干所述限位杆的数量相等，并一一对应；所述限位杆的端部通过螺母与所述板座可调节固定连接。2.根据权利要求1所述的旋转酸洗花篮，其特征在于，所述花篮卡扣呈板状。3.根据权利要求1所述的旋转酸洗花篮，其特征在于，所述板座包括内侧板和外侧板；所述内侧板与外侧板之间通过限位杆上的螺母相互固定；所述外侧板上靠近顶部的中部位置设有连接设备旋转轴的旋转安装孔。4.根据权利要求1所述的旋转酸洗花篮，其特征在于，所述花篮盖板包括一对压板和一对平行设置的连接杆；一对所述压板分别竖向固定设置在所述连接杆的端部。
技术总结
旋转酸洗花篮。本实用新型涉及芯片加工设备，尤其涉及旋转酸洗花篮。包括花篮主体、花篮盖板和花篮卡扣；所述花篮盖板的一端与所述花篮主体的顶部铰接，另一端与所述花篮主体之间通过所述花篮卡扣可拆卸固定连接；所述花篮卡扣的一端活动连接在所述花篮主体上，另一端设有与所述花篮盖板适配的可拆卸连接的卡口；所述花篮主体包括一对板座和若干限位杆；一对所述板座分别可调节固定设置在所述限位杆的两侧；所述板座上设有若干与所述限位杆适配的弧形调节孔；若干所述弧形调节孔与若干所述限位杆的数量相等，并一一对应；所述限位杆的端部通过螺母与所述板座可调节固定连接。本实用新型具有结构紧凑、提高酸洗花篮使用效率和清洗效率等特点。效率等特点。效率等特点。
技术研发人员：周杨 王毅
受保护的技术使用者：扬州扬杰电子科技股份有限公司
技术研发日：2020.12.28
技术公布日：2021/10/8
再多了解一些
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