一种分段加料装置的制作方法

1.本实用新型属于单晶硅制备技术领域，尤其涉及一种分段加料装置。


背景技术：

2.单晶炉是生产单晶硅棒的专业设备。传统生产过程中，将多晶硅原料一次性装入石英坩埚内熔化，熔料结束后采用直拉法拉制单晶硅棒。单晶硅棒的有效质量受最大投料量限制，而最大投料量是由石英坩埚的尺寸决定的，石英坩埚装满的块状硅料重量，即为最大投料量。
3.随着单晶硅棒制备技术的发展，在拉制过程中，随着热场的不断变大，单晶炉装料坩埚的随之加大，同时随着工艺的进步，成品单晶硅棒拉制重量也越来越大，由此引起加料筒的加料效率成为行业的关注点，大直径、大容量料筒应运而生。
4.但是随着料筒往大直径、大容量的方向发展，加料筒的重量也随之增加，同时由于加料料筒采用高纯石英一次成型，大直径导致料筒表面张力越来越大，在加料过程中受炉内高温烘烤后快速冷却导致张力释放不均匀，料筒的使用寿命缩短，物料的使用成本随之增加。且由于料筒内部装的都为硅料，硅料质地硬，一体成型的加料料筒不便于运输，长期的碰撞也将影响料筒的寿命，一旦出现损坏只能整体换掉，直接报废，无修复价值，无法维修。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于克服上述现有技术存在的不足，提供一种分段加料装置，解决了现有技术中加料料筒一体成型所带来的的不便于运输，寿命短，无法维修的问题。
6.本实用新型提供一种分段加料装置，包括高温料筒和低温料筒，所述高温料筒包括一连接端面，所述高温料筒的连接端面处设有第一连接法兰盘，所述低温料筒包括一连接端面，所述低温料筒的连接端面处设有第二连接法兰盘，所述第一连接法兰盘和第二连接法兰盘相连接，所述高温料筒由石英材料制成，所述低温料筒由四氟材料制成。
7.进一步地，所述高温料筒的连接端面位于筒身的顶端，所述低温料筒的连接端面位于筒身的底端。
8.进一步地，所述低温料筒的筒身中部还设有第三连接法兰盘，所述低温料筒的筒身顶端还设有第四连接法兰盘。
9.进一步地，所述高温料筒的第一连接法兰盘上均布四个连接孔，所述低温料筒的第二连接法兰盘上均布四个连接孔，所述连接孔是直径为10mm的圆孔。
10.进一步地，所述高温料筒与低温料筒的筒内径为直径220mm。
11.进一步地，所述第一连接法兰盘和第二连接法兰盘的直径均为270mm。
12.进一步地，所述第三连接法兰盘的直径均为310mm，所述第三连接法兰盘上均布四个连接孔，所述连接孔是直径为10mm的圆孔。
13.进一步地，所述第四连接法兰盘的直径均为310mm，所述第四连接法兰盘上均布两
个连接孔，所述连接孔是直径为10mm的圆孔。
14.进一步地，所述高温料筒和低温料筒的筒身厚度均为8mm。
15.进一步地，所述高温料筒高度为1300mm，所述低温料筒高度为300mm。
16.本实用新型的有益效果：
17.本实用新型提供一种分段加料装置，将高温料筒和低温料筒通过法兰盘连接，方便拆卸，其中对于进入高温区域的高温料筒采用高纯石英材料，而针对位于低温区域的低温料筒采用耐热性较强、质量轻、使用寿命长的四氟材料，因此，如高温料筒出现损坏，容易维修更换，制造维修成本低，质量轻，方便运输，使用寿命长。
附图说明
18.利用附图对本实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。
19.图1是本实施例1的一种分段加料装置中高温料筒的整体结构示意图。
20.图2是本实施例1的一种分段加料装置中低温料筒的整体结构示意图。
具体实施方式
21.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
23.实施例1：
24.参照图1至图2，实施例1提供一种分段加料装置，包括高温料筒1和低温料筒2，高温料筒1包括一连接端面11，高温料筒1的连接端面11处设有第一连接法兰盘31，低温料筒2包括一连接端面12，低温料筒2的连接端面12处设有第二连接法兰盘32，第一连接法兰盘31和第二连接法兰盘32相连接，高温料筒1由石英材料制成，低温料筒2由四氟材料制成。
25.需要说明的是，高温料筒1和低温料筒2为可拆卸连接关系，除了通过其连接端面上的连接法兰盘来实现连接，还可以通过其他方式来连接，高温料筒1和低温料筒2方便拆卸，根据加料装置在工作应用时的温度区域分布，划分出高温区域和低温区域，实现了加料装置的分区域管理，其中对于进入高温区域的高温料筒1采用高纯石英材料，而针对位于低温区域的低温料筒2采用耐热性较强、质量轻、使用寿命长的四氟材料，高温料筒1和低温料筒2分别一体成型，因此，如果高温料筒1出现损坏，只需要将高温料筒1拆卸出来，更换上新的高温料筒1即可，容易维修更换，且低温料筒2作为使用寿命较长的部件，质量比现有石英料筒更轻，制造维修成本低，质量轻，方便运输，使用寿命长。
26.在本实施例中，高温料筒1的连接端面11位于筒身的顶端，低温料筒2的连接端面12位于筒身的底端，在连接状态下，高温料筒1位于下部，低温料筒2位于上部，两者的连接端面直接对接固定。
27.在本实施例中，低温料筒2的筒身中部还设有第三连接法兰盘33，低温料筒2的筒身顶端还设有第四连接法兰盘34，通过中部和顶端的连接法兰盘与外界的设备连接，以便低温料筒2的固定。
28.在本实施例中，高温料筒1的第一连接法兰盘31上均布四个连接孔4，低温料筒2的第二连接法兰盘32上均布四个连接孔4，连接孔4是直径为10mm的圆孔，将第一连接法兰盘31和第二连接法兰盘32对接好后，用螺栓组合件将连接孔4对应地连接起来。
29.在本实施例中，高温料筒1与低温料筒2的筒内径为直径220mm，第一连接法兰盘31和第二连接法兰盘32的直径均为270mm，第一连接法兰盘31和第二连接法兰盘32上的连接孔4对应的圆心所围成的圆直径为250mm。
30.在本实施例中，第三连接法兰盘33的直径均为310mm，第三连接法兰盘33上均布四个连接孔，连接孔是直径为10mm的圆孔，连接孔对应的圆心所围成的圆直径为280mm。
31.在本实施例中，第四连接法兰盘34的直径均为310mm，第四连接法兰盘34上均布两个连接孔，连接孔是直径为10mm的圆孔，连接孔对应的圆心所围成的圆直径为280mm。
32.在本实施例中，高温料筒1和低温料筒2的筒身厚度均为8mm，相对于目前加料料筒壁厚大于10mm的情况，使得本分段加料装置质量更轻。
33.在本实施例中，高温料筒1高度为1300mm，低温料筒2高度为300mm。
34.相对于现有技术，本实用新型提供一种分段加料装置，将高温料筒1和低温料筒2通过法兰盘连接，方便拆卸，其中对于进入高温区域的高温料筒1采用高纯石英材料，而针对位于低温区域的低温料筒2采用耐热性较强、质量轻、使用寿命长的四氟材料，因此，如高温料筒1出现损坏，容易维修更换，制造维修成本低，质量轻，方便运输，使用寿命长。
35.最后需要强调的是，本实用新型不限于上述实施方式，以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。