一种碳化硅晶体生长的热场旋转装置的制作方法

1.本实用新型涉及碳化硅晶体生产技术领域，具体涉及一种碳化硅晶体生长的热场旋转装置。


背景技术：

2.碳化硅晶体，也叫做sic，作为c和si稳定的化合物，其晶格结构由致密排列的两个亚晶格组成，每个si(或c)原子与周边包围的c(si)原子通过定向的强四面体sp3键结合，虽然sic的四面体键很强，但层错形成能量却很低，这一特点决定了sic的多型体现象，已经发现sic具有250多种多型体，每种多型体的c/si双原子层的堆垛次序不同。
3.现有技术存在以下不足：碳化硅晶体在生产过程中，需要将其投入至加热室内，然后还需要加热室转动，期间，原料在离心力的作用下堆积在加热室内某一处，由此便产生部分原料加工效果较差的情况。
4.因此，发明一种碳化硅晶体生长的热场旋转装置很有必要。


技术实现要素：

5.为此，本实用新型提供一种碳化硅晶体生长的热场旋转装置，通过原料堆积到一起，变高的位置将板体一侧顶起，板体通过u形座绕着转轴转动，板体倾斜，第一滚筒和第二滚筒分别沿着第一滑道和第二滑道滑动，第二滚筒促使第一滚筒滚动更加灵活，期间，第一滚筒通过两个牵引绳带动杆体向板体翘起的一侧运动，齿板跟随杆体运动，齿板受板体底部多个轮齿影响发生转动，齿板将原料整平，由此避免会员料堆积的情况出现，提高原料加工效果，以解决原料在离心力的作用下堆积在加热室内某一处，由此便产生部分原料加工效果较差的情况的问题。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅晶体生长的热场旋转装置，包括转盘、加热筒、筒盖、原料和籽晶，所述加热筒固定设在转盘顶部，所述筒盖设在加热筒顶部，所述筒盖与加热筒相接触，所述原料设在加热筒内部，所述籽晶顶部与筒盖底部固定连接，所述转盘内部固定设有整平机构；
7.所述整平机构包括板体，所述板体内部开设有第一滑道和第二滑道，所述第二滑道设在第一滑道顶部并且与第一滑道内部连通，所述第一滑道内部设有第一滚筒，所述第一滚筒顶端穿过第一滑道并且延伸至第二滑道内部，所述第一滚筒外壁与第一滑道内壁相接触，所述第二滑道内部设有多个第二滚筒，多个所述第二滚筒分别设在第一滚筒两侧，所述第二滚筒外壁与第二滑道内壁和第一滚筒外壁相接触，所述第一滑道内部设有两个牵引绳，两个所述牵引绳均贯穿第一滚筒，所述牵引绳一端贯穿板体一侧壁，所述牵引绳外壁与第一滚筒内壁固定连接，所述牵引绳外壁与板体内壁相接触，两个所述牵引绳之间固定设有杆体，所述杆体设在板体底部，所述杆体外侧固定套设有齿板，所述板体底部加工有多个轮齿，所述齿板与多个轮齿相啮合，所述板体顶部固定设有u形座，所述u形座通过转轴连接有连接杆，所述连接杆外侧套设有外筒，所述外筒与连接杆螺纹连接，所述板体顶部设有平
衡组件。
8.优选的，所述加热筒内部固定设有支撑板，所述支撑板活动套设在外筒外侧。
9.优选的，所述外筒外侧固定套设有限位环，所述限位环设在支撑板顶部。
10.优选的，所述加热筒外侧嵌设有多个限位条，多个所述限位条底部均与转盘顶部固定连接。
11.优选的，所述转盘外侧活动套设有底板，所述底板内部固定嵌设有电机，所述电机输出端与转盘底部固定连接。
12.优选的，所述平衡组件包括两个平衡板，两个所述平衡板均设在板体和外筒之间，两个所述平衡板分别设在u形座两侧，所述平衡板底部与板体顶部固定连接。
13.优选的，所述平衡组件包括盘体，所述盘体，所述盘体设在板体和外筒之间，所述盘体套设在u形座外侧，所述盘体底部与板体顶部固定连接。
14.本实用新型的有益效果是：
15.1、本实用新型通过原料堆积到一起，变高的位置将板体一侧顶起，板体通过u形座绕着转轴转动，板体倾斜，第一滚筒和第二滚筒分别沿着第一滑道和第二滑道滑动，第二滚筒促使第一滚筒滚动更加灵活，期间，第一滚筒通过两个牵引绳带动杆体向板体翘起的一侧运动，齿板跟随杆体运动，齿板受板体底部多个轮齿影响发生转动，齿板将原料整平，由此避免会员料堆积的情况出现，提高原料加工效果；
16.2、本实用新型通过设置盘体可以对板体进行加持，使其在不受外力的情况下，能够自然保持水平状态，由此保证原料平整时，不被齿板所破坏，原料在加热筒内能够实时保持平整状态，确保整平作业能够在合适时候进行。
附图说明
17.图1为本实用新型提供的整体结构立体图；
18.图2为本实用新型提供的原料平整时整体结构剖视图；
19.图3为本实用新型提供的原料不平时整体结构剖视图；
20.图4为本实用新型提供的图2中的a处放大图；
21.图5为本实用新型提供的实施例2的原料平整时整体结构剖视图；
22.图中：1、转盘；2、加热筒；3、筒盖；4、原料；5、籽晶；6、板体；7、第一滑道；8、第二滑道；9、第一滚筒；10、第二滚筒；11、牵引绳；12、杆体；13、齿板；14、u形座；15、连接杆；16、外筒；17、支撑板；18、限位条；19、平衡板；20、盘体；21、底板；22、电机。
具体实施方式
23.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
24.实施例1，参照附图1
‑
4，本实用新型提供的一种碳化硅晶体生长的热场旋转装置，包括转盘1、加热筒2、筒盖3、原料4和籽晶5，所述加热筒2固定设在转盘1顶部，所述筒盖3设在加热筒2顶部，所述筒盖3与加热筒2相接触，所述原料4设在加热筒2内部，所述籽晶5顶部与筒盖3底部固定连接，所述转盘1内部固定设有整平机构；
25.所述整平机构包括板体6，所述板体6内部开设有第一滑道7和第二滑道8，所述第
二滑道8设在第一滑道7顶部并且与第一滑道7内部连通，所述第一滑道7内部设有第一滚筒9，所述第一滚筒9顶端穿过第一滑道7并且延伸至第二滑道8内部，所述第一滚筒9外壁与第一滑道7内壁相接触，所述第二滑道8内部设有多个第二滚筒10，多个所述第二滚筒10分别设在第一滚筒9两侧，所述第二滚筒10外壁与第二滑道8内壁和第一滚筒9外壁相接触，所述第一滑道7内部设有两个牵引绳11，两个所述牵引绳11均贯穿第一滚筒9，所述牵引绳11一端贯穿板体6一侧壁，所述牵引绳11外壁与第一滚筒9内壁固定连接，所述牵引绳11外壁与板体6内壁相接触，两个所述牵引绳11之间固定设有杆体12，所述杆体12设在板体6底部，所述杆体12外侧固定套设有齿板13，所述板体6底部加工有多个轮齿，所述齿板13与多个轮齿相啮合，所述板体6顶部固定设有u形座14，所述u形座14通过转轴连接有连接杆15，所述连接杆15外侧套设有外筒16，所述外筒16与连接杆15螺纹连接，所述板体6顶部设有平衡组件。
26.进一步地，所述加热筒2内部固定设有支撑板17，所述支撑板17活动套设在外筒16外侧。
27.进一步地，所述外筒16外侧固定套设有限位环，所述限位环设在支撑板17顶部，限位环与支撑板17相互配合下可以对外筒16进行限位，避免外筒16出现掉落的情况。
28.进一步地，所述加热筒2外侧嵌设有多个限位条18，多个所述限位条18底部均与转盘1顶部固定连接，设置限位条18可以对加热筒2进行固定，提高加热筒2的稳定性。
29.进一步地，所述转盘1外侧活动套设有底板21，所述底板21内部固定嵌设有电机22，所述电机22输出端与转盘1底部固定连接，设置底板21可以对转盘1提供支撑。
30.进一步地，所述平衡组件包括两个平衡板19，两个所述平衡板19均设在板体6和外筒16之间，两个所述平衡板19分别设在u形座14两侧，所述平衡板19底部与板体6顶部固定连接，设置平衡板19可以确保板体6不受外力情况下能够自然保持平行。
31.本实用新型的使用过程如下：初始状态下，原料4位于加热筒2内部，然后根据原料4的高度，转动外筒16，外筒16通过连接杆15使板体6向下运动，直至运动至合适位置后，在使用本实用新型时，电机22通过转盘1和限位条18带动加热筒2转动，加热筒2促使其内部的原料4运动，原料4在离心力的作用下容易堆积到一起，由此便出现加热筒2内某一处变高，变高的位置将板体6一侧顶起，板体6通过u形座14绕着转轴转动，板体6倾斜，第一滚筒9和第二滚筒10分别沿着第一滑道7和第二滑道8滑动，第二滚筒10促使第一滚筒9滚动更加灵活，期间，第一滚筒9通过两个牵引绳11带动杆体12向板体6翘起的一侧运动，齿板13跟随杆体12运动，齿板13受板体6底部多个轮齿影响发生转动，齿板13将原料4整平，由此避免会员料4堆积的情况出现，提高原料4加工效果。
32.实施例2，参照附图5，本实用新型提供的一种碳化硅晶体生长的热场旋转装置，与实施例1不同的是，所述平衡组件包括盘体20，所述盘体20，所述盘体20设在板体6和外筒16之间，所述盘体20套设在u形座14外侧，所述盘体20底部与板体6顶部固定连接。
33.本实用新型的使用过程如下：在使用本实用新型时，设置盘体20可以对板体6进行加持，使其在不受外力的情况下，能够自然保持水平状态，由此保证原料平整时，不被齿板13所破坏，原料4在加热筒2内能够实时保持平整状态，确保整平作业能够在合适时候进行。
34.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此，依据
本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换，尽属于本实用新型要求保护的范围。