一种碲化锌掺锌平面靶材及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种碲化锌掺锌平面靶材的制备方法，其特征在于，包括：s1)混料：将碲化锌粉体、锌单质粉体与碲单质粉体混合，得到混合物料；s2)烧结：将所述混合物料加热烧结，得到烧结物料；s3)球磨：将所述烧结物料进行球磨，得到球磨物料；s4)预压：将所述球磨物料进行预压，得到成型坯体；s5)热压：将所述成型坯体进行真空热压烧结，得到碲化锌掺锌平面靶材。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述碲化锌粉体的纯度大于等于4.5n；锌单质粉体的纯度大于等于2n；碲单质粉体的纯度大于等于4.5n；所述碲化锌粉体、锌单质粉体与碲单质粉体的质量比为8:1:1～10:1:1。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤s1)中混合时加入磨球；碲化锌粉体、锌单质粉体与碲单质粉体总量与磨球的数量比为(20～40)kg：(4～8)个；所述磨球的直径为20～40cm；所述混合的转速为40～60r/min；所述混合的时间为4～8h；所述混合在保护气氛中进行。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤s2)具体为：将所述混合物料加热至100℃～140℃，保温20～40min；然后继续升温至400℃～500℃，保温20～40min，得到烧结物料。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤s3)中球磨的球料比为(1～2)：1；球磨所用的磨球包括大球、中球与小球；所述大球、中球与小球的数量比为1：(0.8～1.2)：(0.6～1.4)；所述球磨的转速为50～70r/min；球磨的时间为2～4h；所述球磨在保护气氛中进行。6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤s4)中球磨物料在石墨模具中进行预压；所述预压的压力为20～30t；所述预压的时间30～90min。7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤s5)具体为：在真空的条件下加热至300℃～450℃，进行第一阶段保温；第一阶段保温结束后继续升温至550℃～650℃，进行第二阶段保温；第二阶段保温结束后进行加压，压力达到40～45mpa后进行保温保压，得到碲化锌掺锌靶材。8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，保温保压结束后，冷却至低于450℃后通入保护气氛，降温至室温，得到碲化锌掺锌靶材。9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，加热的速率为4～7℃/min；所述第一阶段保温的时间为30～60min；继续升温的速率为9～10℃/min；所述第二阶段保温的时间为60～100min；所述保温保压的时间为2～3h。10.权利要求1～9任意一项制备方法所制备的碲化锌掺锌平面靶材。

技术总结
本发明提供了一种碲化锌掺锌平面靶材的制备方法，包括：S1)混料：将碲化锌粉体、锌单质粉体与碲单质粉体混合，得到混合物料；S2)烧结：将所述混合物料加热烧结，得到烧结物料；S3)球磨：将所述烧结物料进行球磨，得到球磨物料；S4)预压：将所述球磨物料进行预压，得到成型坯体；S5)热压：将所述成型坯体进行真空热压烧结，得到碲化锌掺锌平面靶材。与现有技术相比，本发明在碲化锌中掺锌以及掺碲可以使原本的碲化锌靶材的导电性得到改善，使制得的靶材纯度和密度均较高且可以提高靶材溅射的电导率，并且该制备方法工艺简单，对设备要求较低，成本较低，可批量生产。可批量生产。


技术研发人员：周荣艳 吴彩红 文崇斌 童培云 朱刘
受保护的技术使用者：广东先导稀材股份有限公司
技术研发日：2021.08.10
技术公布日：2021/9/17