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基于PECVD管理的高温自动清洁装置的制作方法

2021-10-19 22:42:00 来源:中国专利 TAG:装置 清洁 高温 管理 pecvd

技术特征:
1.基于pecvd管理的高温自动清洁装置,包括空气压缩机(1)、外壳(2)、控制面板(3)、加热器(6)和射频电极(4),其特征在于:所述外壳(2)的上端安装有空气压缩机(1),所述外壳(2)的内部侧壁上安装有加热器(6),所述外壳(2)的外部侧壁上安装有控制面板(3),所述外壳(2)的中部安装有垂直于外壳(2)底面的第一板体(21)、第二板体(22)和第三板体(23),所述第一板体(21)的上端安装有射频电极(4),所述第一板体(21)的一侧设有第二板体(22),所述第二板体(22)上贯穿连接有透明管路(5),所述透明管路(5)的另一端连接有第三板体(23),所述透明管路(5)和第二板体(22)之间安装有检测机构(7);所述检测机构(7)包括外管体(71)、内管体(72)、相机(73)和光圈(74),所述外管体(71)的中部套接有内管体(72),所述内管体(72)的中部固定安装有相机(73),所述外管体(71)的外部固定连接有光圈(74)。2.根据权利要求1所述的基于pecvd管理的高温自动清洁装置,其特征在于:所述外壳(2)的下端安装有抽气机(8)。3.根据权利要求1所述的基于pecvd管理的高温自动清洁装置,其特征在于:所述光圈(74)的一端安装有光源(741),光圈(74)的表面开设有外螺纹,光圈(74)通过外螺纹固定连接有透明管路(5)。4.根据权利要求1所述的基于pecvd管理的高温自动清洁装置,其特征在于:所述外管体(71)、内管体(72)的一端连接有第二板体(22),另一端连接有透明管路(5),透明管路(5)通过外管体(71)和内管体(72)之间的间隙与外壳(2)的内部空腔相通。

技术总结
本实用新型公开了基于PECVD管理的高温自动清洁装置,包括空气压缩机、外壳、控制面板、加热器和射频电极,所述外壳的上端安装有空气压缩机,所述外壳的内部侧壁上安装有加热器,所述外壳的外部侧壁上安装有控制面板,所述外壳的中部安装有第一板体、第二板体和第三板体,所述第二板体上贯穿连接有透明管路,所述透明管路的另一端连接有第三板体,所述透明管路和第二板体之间安装有检测机构。本装置通过按动控制面板上的按钮即可启动空气压缩机将加热的压缩空气通入管路中,将融化的药水冲出管路,操作简单,完成清洁后通过检测装置自动检测清洁效果,达标将停止,如未达到设定的清洁度,将重新清洁处理。将重新清洁处理。将重新清洁处理。


技术研发人员:刘卓铭 杨福年
受保护的技术使用者:深圳和力纳米科技有限公司
技术研发日:2021.01.25
技术公布日:2021/10/18
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