一种石墨舟和晶体硅太阳能电池的镀膜设备的制作方法

1.本实用新型具体涉及一种石墨舟和晶体硅太阳能电池的镀膜设备。


背景技术：

2.晶体硅太阳能电池的镀膜工艺一般采用石墨舟作为载体，利用石墨舟两片电极间将氨气和硅烷电离成等离子体反应生成氮化硅沉积在硅片上，从而镀上反射膜。市面上使用的石墨舟一般是8个工位，每个工位插52片，总共416片。由于产线产能的要求越来越高，在不增加机台的情况下，提升产能的方法就只有增加石墨舟的载片量。因为炉管直径的限制每个工位的插片量无法增加，通常是增加石墨舟的工位，但是增加了石墨舟的工位会使石墨舟长度变长，导致电极电场从电极处到远处的衰减，在两边电极接触处的电场强度较大，在石墨舟中间的电场衰减较大，从而使石墨舟两边的膜厚较厚，中间膜厚较薄，严重影响均匀性。
3.现有技术缺点为石墨舟产能较小，如果直接增加石墨舟的工位会使石墨舟长度过长导致电场衰减严重，造成石墨舟中间和两边的色差明显，无法实际运用到生产。


技术实现要素：

4.为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种石墨舟，增加产能的同时，改善石墨舟内各工位的色差。
5.为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：
6.一种石墨舟，包括：至少两个小舟和绝缘片，每两个相邻小舟之间通过所述绝缘片连接，还包含电极，所述电极包括：正电极和负电极，每个小舟上的一个舟脚接触正电极，另一个舟脚接触负电极，从而使得小舟具有正负电场。
7.本实用新型公开一种石墨舟，增加产能的同时，改善石墨舟内各工位的色差。
8.在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：
9.作为优选的方案，包括：绝缘杆，所述绝缘杆内设有电极绝缘套，所述绝缘杆上设有电极垫片，所述电极穿过所述电极绝缘套并从相应的所述电极垫片处引出电极，所述舟脚设置于所述电极垫片上并与所述电极接触。
10.作为优选的方案，所述绝缘杆内腔包括至少四个用于容纳电极绝缘套的格子，每个格子内容置一个电极绝缘套。
11.作为优选的方案，所述电极绝缘套包括至少两个正电极绝缘套和负电极绝缘套，每两个所述正电极绝缘套和每两个所述正电极绝缘套成列排布设置于所述格子内。
12.作为优选的方案，所述电极垫片包括：正电极垫片和负电极垫片，所述正电极穿过所述绝缘杆内的正电极绝缘套并从相应的正电极垫片处引出所述正电极，所述负电极穿过所述绝缘杆内的负电极绝缘套并从相应的负电极垫片处引出所述负电极。
13.作为优选的方案，每个所述小舟上的一个舟脚设置于所述正电极垫片并与所述正电极垫片引出的正电极接触，另一个舟脚设置于所述负电极垫片并与所述负电极垫片引出
的负电极接触。
14.作为优选的方案，每个小舟通过至少52个石墨舟片组成。
15.作为优选的方案，所述石墨舟片包括：至少26个正极石墨舟片和至少26个负极石墨舟片，所述正极石墨舟片与所述负极石墨舟片交替设置，所述至少26个正极石墨舟片彼此之间相连接并引出正极舟脚，所述至少26个负极石墨舟片彼此之间相连接并引出负极舟脚。
16.本实用新型还公开了一种晶体硅太阳能电池的镀膜设备，包括：镀膜腔体和根据以上任一项的所述的石墨舟设置于镀膜腔体内，所述镀膜腔体设置于等离子体增强化学的气相沉积法镀膜炉管内部，所述石墨舟设置于所述镀膜腔体内。
17.本实用新型还公开了根据以上任意一项所述石墨舟作为载具在晶体硅太阳能电池镀正背膜减反射膜时的应用。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例提供的一种石墨舟的结构图；
19.图2为本实用新型实施例提供的绝缘杆内腔的横截面示意图；
20.图3为本实用新型实施例提供的一种晶体硅太阳能电池的镀膜设备的结构图；
21.图4为本实用新型实施例提供的一种石墨舟的结构图。
22.其中：
23.1、第一小舟，2、第二小舟，3、绝缘片，4、舟脚，5、绝缘杆内腔，6、绝缘杆，7、电极垫片，8、电极绝缘套，9、正电极，10、负电极，11、正极舟脚，12、负极舟脚，13、镀膜腔体，14、石墨舟片。
具体实施方式
24.下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。
25.为了达到本实用新型的目的，如图1
‑
4所示，一种石墨舟由52个石墨舟片14组合而成，所述正极石墨舟片14与所述负极石墨舟片14交替设置，26片所述正极石墨舟片14相连接并引出正极舟脚11，26片所述负极石墨舟片14相连接并引出负极舟脚12，这样就使得相邻的两片石墨舟片14为一正一负。
26.所述正极石墨舟片14相连接并引出正极舟脚11起到支撑石墨舟和连接外接电极的功能，所述负极石墨舟片14相连接并引出负极舟脚 12起到支撑石墨舟和连接外接电极的功能。
27.一种石墨舟，包括:第一小舟1和第二小舟2，每两个相邻小舟之间通过所述绝缘片3连接，所述绝缘片3起到将每两个相邻小舟绝缘连接的作用，每个小舟各分6个工位，每个工位52片，一共可以插624片。
28.一种晶体硅太阳能电池的镀膜设备，将石墨舟放置在镀膜腔体内，镀膜腔体13优选石英管，进一步，镀膜腔体优选圆柱形石英管。
29.一种石墨舟，第一小舟1和第二小舟2之间通过所述绝缘片3连接，第一小舟1和第二小舟2的舟脚4分别放置在两根绝缘杆6上，绝缘杆内腔5分四个能够容纳电极绝缘套的格子，每个能够容纳电极绝缘套的格子内设有一根电极绝缘套8，所述电极绝缘套8优选电极
陶瓷套，4 根电极穿过绝缘杆6，4根电极有两根正电极9和两根负电极10，4根电极分别在各自的电极垫块7处将电极引出，每个所述小舟上的一个舟脚设置于所述正电极垫片并与正电极垫片引出的正电极接触，另一个舟脚设置于所述负电极垫片并与负电极垫片引出的负电极接触，从而使得小舟具有正负电场。
30.绝缘6杆优先陶瓷杆。
31.本实施例还公开了根据以上任意一项所述石墨舟作为晶体硅太阳能电池镀正背膜减反射膜时使用的载具被应用。
32.一种石墨舟，包括：至少两个小舟和绝缘片3，每两个相邻小舟之间通过所述绝缘片3连接，还包含电极，所述电极包括：正电极和负电极，每个所述小舟上的一个舟脚接触正电极，另一个舟脚接触负电极，从而使得小舟具有正负电场。
33.本实用新型公开一种石墨舟及晶体硅太阳能电池的镀膜设备，增加产能的同时，改善石墨舟内各工位的色差。
34.在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：
35.在一些实施例中，包括：绝缘杆6，所述绝缘杆6内设有电极绝缘套8，所述绝缘杆6上设有电极垫片7，电极穿过绝缘杆6内的电极绝缘套8并从相应的电极垫片7处引出电极，所述舟脚设置于所述电极垫片7上并与所述电极接触。
36.采用上述实施例，其结构简单，操作方便，使得小舟具有正负电场，增加产能的同时，改善石墨舟内各工位的色差。
37.在一些实施例中，所述绝缘杆内腔5包括至少四个用于容纳电极绝缘套的格子，每个格子内容置一个电极绝缘套。
38.采用上述实施例，其结构简单，操作方便，便于正负电极的穿设，避免了正负电极之间长时间碰触摩擦，发生火灾等危险的发生。
39.在一些实施例中，所述电极绝缘套8包括至少两个正电极绝缘套和负电极绝缘套，每两个所述正电极绝缘套和每两个所述正电极绝缘套成列排布设置于所述格子内。
40.采用上述实施例，其结构简单，操作方便，便于正负电极的穿设，避免了正负电极之间长时间碰触摩擦，发生火灾等危险的发生。
41.在一些实施例中，所述电极垫片7包括：正电极垫片和负电极垫片，所述正电极穿过所述绝缘杆内的正电极绝缘套并从相应的正电极垫片处引出正电极，所述负电极穿过所述绝缘杆内的负电极绝缘套并从相应的负电极垫片处引出负电极。
42.采用上述实施例，其结构简单，操作方便，便于正负电极的穿设，避免了正负电极之间长时间碰触摩擦，发生火灾等危险的发生。
43.在一些实施例中，每个所述小舟上的一个舟脚设置于所述正电极垫片并与正电极垫片引出的正电极接触，另一个舟脚设置于所述负电极垫片并与负电极垫片引出的负电极接触。
44.采用上述实施例，其结构简单，操作方便，使得小舟具有正负电场，增加产能的同时，改善石墨舟内各工位的色差。
45.在一些实施例中，所述小舟通过至少52个石墨舟片14组成。
46.采用上述实施例，其结构简单，操作方便，这样使得每个石墨舟的均匀性都得到保障，同时产能得到显著提升。
47.在一些实施例中，所述石墨舟片包括：至少26个正极石墨舟片 14和至少26个负极石墨舟片14，所述正极石墨舟片14与所述负极石墨舟片14交替设置，所述至少26个正极石墨舟片14彼此之间相连接并引出正极舟脚，所述至少26个负极石墨舟片14彼此之间相连接并引出负极舟脚。
48.采用上述实施例，其结构简单，操作方便，这样使得每个石墨舟的均匀性都得到保障，同时产能得到显著提升。
49.本实施例还公开了一种晶体硅太阳能电池的镀膜设备，包括：镀膜腔体13和根据以上任一项的所述的石墨舟设置于镀膜腔体13内，所述镀膜腔体13设置于等离子体增强化学的气相沉积法镀膜炉管内部，所述石墨舟设置于所述镀膜腔体13内。
50.采用上述实施例，其结构简单，操作方便，提高了生产和使用时的安全性。
51.本实施例还公开了根据以上任意一项所述石墨舟作为载具在晶体硅太阳能电池镀正背膜减反射膜时的应用。
52.采用上述实施例，其结构简单，操作方便，产能得到显著提升。
53.对于本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。