1.本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种用于化学气相沉积装置的移动载具。
背景技术：
2.石墨烯(graphene)是由sp2杂化的碳原子以蜂窝状晶格结构排列的一种 0.335 nm 单层厚度的新型二维碳材料。这种新型二维(2d)结构石墨烯材料的发现与其拥有特异的物理化学性质引发了科研界和产业界的研究热潮。然而, 在对碳纳米管的研究实验中, 偶然间发现了一种类似花瓣状的垂直生长在衬底上的三维(3d)碳纳米材料, 这种材料被称作为垂直直立的石墨烯纳米墙, 简称垂直石墨烯。相比于二维的石墨烯薄膜，三维结构 gnws 拥有极其稳定的化学性质、超强的机械强度和更大的比表面积, 以及拥有与石墨烯薄膜相同特征的高导电率和电子亲和力。基于快速发展的太阳能收集技术, 人们可以将太阳光能转化为热能, 并且由于其高转换效率和低损耗而受到了广泛的关注。
3.目前石墨烯的合成多数利用化学气相沉积法。随着化学气相沉积工艺的发展，工艺精度随之提升，对设备的要求也越来越高。在石墨烯制备工艺中，经常涉及到温度梯度工艺、快速升温工艺、快速降温工艺等，这在普通的化学气相沉积设备中难以实现，而定制新设备的成本较高，针对不同工艺定制若干不同结构的设备显然不合理，这就需要用到了化学气相沉积设备的外接装置。
技术实现要素：
4.本实用新型主要解决现有技术中存在兼容性差、稳定性低和使用效果差的不足，提供了一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其具有结构简单、兼容性好、稳定性高和使用效果好的特点。解决了化学气相沉积设备外接连通的问题。在不破坏化学气相沉积装置石英管中的真空环境的前提下，实现匀速或变速移动真空腔中样品。
5.本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
6.一种用于化学气相沉积装置的移动载具，包括石英管，所述的石英管内设有与石英管相密封式插嵌的磁铁，所述的磁铁前端设有与石英管相套接的石英载片，所述的石英管的外壁设有与磁铁上下端相磁性吸合的铁环，所述的铁环与石英管相嵌套连接，所述的铁环下端设有电动滑轨，所述的电动滑轨与铁环间设有与电动滑轨相活动式插嵌连接的连接滑块。
7.作为优选，所述的电动滑轨包括与连接滑块相螺纹式套接的滑动丝杆。
8.作为优选，所述的滑动丝杆两侧均设有与连接滑块相支撑式套接的导向杆。
9.作为优选，所述的连接滑块与铁环间设有若干与连接滑块相嵌套连接的压紧组件。
10.作为优选，所述的压紧组件包括弹簧，所述的弹簧与铁环间设有与弹簧相卡嵌的钢球。
11.作为优选，所述的石英载片呈长为60厘米，宽为5厘米的长方形结构。
12.本实用新型能够达到如下效果：
13.本实用新型提供了一种用于化学气相沉积装置的移动载具，与现有技术相比较，具有结构简单、兼容性好、稳定性高和使用效果好的特点。解决了化学气相沉积设备外接连通的问题。在不破坏化学气相沉积装置石英管中的真空环境的前提下，实现匀速或变速移动真空腔中样品。
附图说明
14.图1是本实用新型的结构示意图。
15.图2是本实用新型的侧视结构示意图。
16.图3是本实用新型中的压紧组件的结构示意图。
17.图中：石英管1，石英载片2，铁环3，磁铁4，连接滑块5，电动滑轨6，压紧组件7，导向杆8，滑动丝杆9，弹簧10，钢球11。
具体实施方式
18.下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
19.实施例：如图1、图2和图3所示，一种用于化学气相沉积装置的移动载具，包括石英管1，石英管1内设有与石英管1相密封式插嵌的磁铁4，磁铁4前端设有与石英管1相套接的石英载片2，石英载片2呈长为60厘米，宽为5厘米的长方形结构。石英管1的外壁设有与磁铁4上下端相磁性吸合的铁环3，铁环3与石英管1相嵌套连接，铁环3下端设有电动滑轨6，电动滑轨6包括与连接滑块5相螺纹式套接的滑动丝杆9。滑动丝杆9两侧均设有与连接滑块5相支撑式套接的导向杆8。电动滑轨6与铁环3间设有与电动滑轨6相活动式插嵌连接的连接滑块5。连接滑块5与铁环3相插嵌式连接固定。连接滑块5与铁环3间设有一对呈对称式且与连接滑块5相嵌套连接的压紧组件7。压紧组件7包括弹簧10，弹簧10与铁环3间设有与弹簧10相卡嵌的钢球11。
20.综上所述，该用于化学气相沉积装置的移动载具，具有结构简单、兼容性好、稳定性高和使用效果好的特点。解决了化学气相沉积设备外接连通的问题。在不破坏化学气相沉积装置石英管中的真空环境的前提下，实现匀速或变速移动真空腔中样品。
21.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范实施例的细节，而且在不背离实用新型的基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
22.总之，以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围之中。
技术特征：
1.一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：包括石英管（1），所述的石英管（1）内设有与石英管（1）相密封式插嵌的磁铁（4），所述的磁铁（4）前端设有与石英管（1）相套接的石英载片（2），所述的石英管（1）的外壁设有与磁铁（4）上下端相磁性吸合的铁环（3），所述的铁环（3）与石英管（1）相嵌套连接，所述的铁环（3）下端设有电动滑轨（6），所述的电动滑轨（6）与铁环（3）间设有与电动滑轨（6）相活动式插嵌连接的连接滑块（5）。2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：所述的电动滑轨（6）包括与连接滑块（5）相螺纹式套接的滑动丝杆（9）。3.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：所述的滑动丝杆（9）两侧均设有与连接滑块（5）相支撑式套接的导向杆（8）。4.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：所述的连接滑块（5）与铁环（3）间设有若干与连接滑块（5）相嵌套连接的压紧组件（7）。5.根据权利要求4所述的一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：所述的压紧组件（7）包括弹簧（10），所述的弹簧（10）与铁环（3）间设有与弹簧（10）相卡嵌的钢球（11）。6.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：所述的石英载片（2）呈长为60厘米，宽为5厘米的长方形结构。
技术总结
本实用新型涉及一种用于化学气相沉积装置的移动载具，所属化学气相沉积设备技术领域，包括石英管，所述的石英管内设有与石英管相密封式插嵌的磁铁，所述的磁铁前端设有与石英管相套接的石英载片，所述的石英管的外壁设有与磁铁上下端相磁性吸合的铁环，所述的铁环与石英管相嵌套连接，所述的铁环下端设有电动滑轨，所述的电动滑轨与铁环间设有与电动滑轨相活动式插嵌连接的连接滑块。具有结构简单、兼容性好、稳定性高和使用效果好的特点。解决了化学气相沉积设备外接连通的问题。在不破坏化学气相沉积装置石英管中的真空环境的前提下，实现匀速或变速移动真空腔中样品。实现匀速或变速移动真空腔中样品。实现匀速或变速移动真空腔中样品。
技术研发人员：张亮 王薇 汪小知
受保护的技术使用者：杭州英希捷宜合信息技术发展有限公司
技术研发日：2021.02.26
技术公布日：2021/10/18
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询，结果仅供参考。
