一种双面镀膜振镜、可扩展式高速扫描振镜组及显微镜的制作方法

技术特征：
1.一种双面镀膜振镜，包括第一检流计振镜，其特征在于，第一检流计振镜的两个表面为抛光面，两个表面均覆盖有镀膜。2.可扩展式高速扫描振镜组，包括用于折射光束的透镜、反射光束的反射镜，其特征在于，还包括权利要求1所述的双面镀膜振镜；双面镀膜振镜用于在偏转后，改变射在双面镀膜振镜任意一面上的光束的路径，使光束通过双面镀膜振镜的次数大于两次。3.根据权利要求2所述的可扩展式高速扫描振镜组，其特征在于：所述透镜包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，反射镜包括第五反射镜、第六反射镜、第七反射镜和第八反射镜；双面镀膜振镜位于轴线上，第一透镜和第二透镜位于双面镀膜振镜的右侧，且与双面镀膜振镜共轴线，第一透镜比第二透镜距离双面镀膜振镜更近；第三透镜和第四透镜对称设置在轴线的两侧，且位于双面镀膜振镜和第一透镜之间；第五反射镜和第六反射镜位于轴线的一侧，第七反射镜和第八反射镜位于轴线的另一侧，第五反射镜和第七反射镜关于轴线对称，第六反射镜和第八反射镜关于轴线对称。4.根据权利要求3所述的可扩展式高速扫描振镜组，其特征在于：所述第五反射镜、第三透镜和第六反射镜中点的连线平行于轴线；第五反射镜、双面镀膜振镜中点的连线垂直于轴线。5.根据权利要求4所述的可扩展式高速扫描振镜组，其特征在于：所述可扩展式高速扫描振镜组的数量大于或等于两个，可扩展式高速扫描振镜组之间串联。6.显微镜，其特征在于，包括权利要求2
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5任一项所述的可扩展式高速扫描振镜组，还包括光源导入振镜组，光源导入振镜组包括第二检流计振镜和第九透镜组，第二检流计振镜和第九透镜组均位于轴线上。

技术总结
本发明涉及显微镜技术领域，具体公开了一种双面镀膜振镜、可扩展式高速扫描振镜组及显微镜，双面镀膜振镜包括第一检流计振镜，第一检流计振镜的两个表面为抛光面，两个表面均覆盖有镀膜；可扩展式高速扫描振镜组包括用于折射光束的透镜、反射光束的反射镜，还包括上述双面镀膜振镜；双面镀膜振镜用于在偏转后，改变射在双面镀膜振镜任意一面上的光束的路径，使光束通过双面镀膜振镜的次数大于两次。采用本发明的技术方案能够提高扫描速度。本发明的技术方案能够提高扫描速度。本发明的技术方案能够提高扫描速度。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：江苏德恩医学技术有限公司
技术研发日：2021.01.29
技术公布日：2021/10/8