加工装置的制作方法

技术特征：
1.一种加工装置，其中，该加工装置具有：卡盘，其保持基板；可动部，其供加工所述基板的加工工具安装；喷洒器，其自所述可动部的外部喷洒对所述可动部进行清洗的清洗液；以及壳体，其收纳所述卡盘、所述加工工具和所述喷洒器，所述喷洒器具有固定于所述壳体的内部的固定部和旋转自如地支承于所述固定部的旋转部，所述旋转部包括喷射所述清洗液的喷嘴和保持所述喷嘴的旋转块。2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，在从与所述旋转块的旋转中心线平行的方向观察时，所述喷嘴的射线相对于所述旋转块的旋转中心线的正交线平行偏移地配置。3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中，多个所述喷嘴安装于一个所述旋转块。4.根据权利要求3所述的加工装置，其中，喷射角不同的多个所述喷嘴安装于一个所述旋转块。5.根据权利要求3所述的加工装置，其中，多个所述喷嘴以一个所述旋转块的旋转中心线为中心旋转对称地配置。6.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中，所述旋转部以所述旋转块的旋转中心线为基准在与所述喷嘴相反的一侧包括配重。7.根据权利要求1～6中任一项所述的加工装置，其中，该加工装置具有旋转停止检测器，该旋转停止检测器检测所述喷洒器的所述旋转部的旋转停止。8.根据权利要求7所述的加工装置，其中，所述旋转停止检测器位于所述壳体的外部，并具有发光器和受光器，所述喷洒器的所述旋转部包括光反射部，该光反射部将所述发光器的光向所述受光器反射，在所述喷洒器的所述固定部和所述壳体分别形成有作为所述光的通路的贯通孔。9.根据权利要求1～8中任一项所述的加工装置，其中，所述喷洒器具有：第1流路，其将所述清洗液经由所述旋转块自所述固定部供给至所述喷嘴；以及第2流路，其自所述第1流路分支并使所述清洗液自所述固定部与所述旋转块之间漏出，所述第2流路包括以所述旋转块的旋转中心线为中心的圆筒部。10.根据权利要求9所述的加工装置，其中，所述旋转块的旋转中心线铅垂地配置，所述第2流路包括第1供给部，该第1供给部向所述旋转块的上表面供给所述清洗液。11.根据权利要求10所述的加工装置，其中，所述旋转块的上表面包括圆锥面，该圆锥面越向所述旋转块的旋转中心线的径向外方去越向铅垂下方倾斜。
12.根据权利要求10或11所述的加工装置，其中，所述第2流路包括第2供给部，该第2供给部向所述旋转块的下表面供给所述清洗液。13.根据权利要求9～12中任一项所述的加工装置，其中，所述喷洒器具有调整部，该调整部调整由所述喷嘴喷射的所述清洗液的流量和自所述固定部与所述旋转块之间漏出的所述清洗液的流量的分配。14.根据权利要求9所述的加工装置，其中，所述旋转块的旋转中心线铅垂地配置，所述第2流路具有：第1供给部，其向所述旋转块的上表面供给所述清洗液；第1中间部，其设于所述圆筒部与所述第1供给部之间；第2供给部，其向所述旋转块的下表面供给所述清洗液；以及第2中间部，其设于所述圆筒部与所述第2供给部之间，所述喷洒器具有调整部，该调整部调整由所述喷嘴喷射的所述清洗液的流量和自所述固定部与所述旋转块之间漏出的所述清洗液的流量的分配，所述调整部分别配置于所述第1中间部和所述第2中间部。15.根据权利要求1～14中任一项所述的加工装置，其中，所述固定部包括：安装板，其安装于所述壳体；固定轴，其配置于所述旋转块的旋转中心线；第1间隙形成部，其在所述固定轴的一端处与所述旋转块之间形成间隙；以及第2间隙形成部，其在所述固定轴的另一端处与所述旋转块之间形成间隙。16.根据权利要求1～15中任一项所述的加工装置，其中，所述壳体具有上表面板，该上表面板形成所述壳体的上表面，所述固定部包括：安装板，其水平地安装于所述上表面板的下表面；固定轴，其配置于所述旋转块的旋转中心线；以及环，其自所述安装板的下表面的周缘向下方突出并包围所述固定轴。17.根据权利要求1～16中任一项所述的加工装置，其中，所述壳体具有：上表面板，其形成所述壳体的上表面；以及侧面板，其形成所述壳体的侧面，所述喷洒器配置于向所述上表面板或所述侧面板供给所述清洗液的位置。18.根据权利要求17所述的加工装置，其中，所述侧面板包括：侧面固定部，其铅垂地固定；以及侧面可动部，其利用第1铰链与所述侧面固定部连结，所述上表面板包括：上表面固定部，其水平地固定；以及上表面可动部，其利用第2铰链与所述侧面可动部连结，所述喷洒器配置于向所述上表面可动部或所述侧面可动部供给所述清洗液的位置。19.根据权利要求18所述的加工装置，其中，在所述上表面可动部和所述侧面可动部折叠为水平时，所述喷洒器的厚度小于所述上表面可动部与所述侧面可动部之间的间隙，所述喷洒器配置于所述间隙。20.根据权利要求1～17中任一项所述的加工装置，其中，该加工装置具有测量器，该测量器测量由所述卡盘保持着的所述基板的厚度，所述喷洒器向所述可动部和所述厚度检测器供给所述清洗液。

技术总结
一种加工装置，其具有：卡盘，其保持基板；可动部，其供加工所述基板的加工工具安装；喷洒器，其自所述可动部的外部喷洒对所述可动部进行清洗的清洗液；以及壳体，其收纳所述卡盘、所述加工工具和所述喷洒器。所述喷洒器具有：固定部，其固定于所述壳体的内部；以及旋转部，其旋转自如地支承于所述固定部。所述旋转部包括：喷嘴，其喷射所述清洗液；以及旋转块，其保持所述喷嘴。持所述喷嘴。持所述喷嘴。


技术研发人员：若松孝彬
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2021.02.05
技术公布日：2022/9/13