一种掩膜版及其制作方法与流程

1.本技术涉及显示技术领域，尤其涉及一种成膜用的掩膜版及其制作方法。


背景技术：

2.oled(organic light emitting display)显示技术与传统的lcd显示方式不同，无需背光灯，采用非常薄的有机涂层和玻璃基板(或柔性有机基板)，当有电流通过时，这些有机材料就会发光。oled不仅更轻薄、能耗低、亮度高、发光率好、可以显示纯黑色，并且还可以做到弯曲，如当今的曲面电视和手机等。当今国际各大厂都争先恐后的加强了对oled技术的研发投入，使得oled技术在当今电视、电脑、手机、平板等领域应用愈加广泛。
3.采用真空蒸镀技术，通过将玻璃基板贴合在金属掩膜板上，有机材料沉积在玻璃基板上形成需要的图案，在这过程中，金属掩膜板发挥着关键作用，金属掩膜板图案的精确度制约着oled的发展，这对金属掩膜板的张网提出了严格的要求，尤其对于大尺寸非阵列排版的金属掩膜板，这类掩膜板在张网过程中容易受力后发生更大的变形，导致蒸镀开口的形状也随之变形，导致蒸镀的图案形状也会变形。
4.因此，现有技术存在缺陷，急需解决。


技术实现要素：

5.本技术提供一种掩膜版及其制作方法，能够解决由于金属条在张网过程中产生形变而造成蒸镀开口变形的问题。
6.为解决上述问题，本技术提供的技术方案如下：
7.一种掩膜版，其包括：
8.掩膜框架，所述掩膜框架包括多个顺次连接的边框，多个所述边框围合形成开窗；
9.第一掩膜条，其两端分别与多个所述边框中的两个相对的边框固定；
10.第二掩膜条，其一端与多个所述边框中的一个固定，另一端与所述第一掩膜条固定，且第二掩膜条延伸的方向与第一掩膜条延伸的方向垂直；以及
11.修正掩膜条，至少包括第一修正条，所述第一修正条层叠于所述第一掩膜条上，且所述第一修正条的宽度大于所述第一掩膜条的宽度，所述第一掩膜条在所述第一修正条上的投影位于所述第一修正条内，所述第一修正条及所述第二掩膜条共同将所述开窗分为多个不同尺寸的蒸镀开口。
12.在本发明的其中一些实施例中，所述第一修正条的厚度不大于所述第一掩膜条的厚度。
13.在本发明的其中一些实施例中，所述修正掩膜条还包括第二修正条，所述第二修正条层叠于所述第二掩膜条之上且与第二掩膜条固定，所述第二修正条的宽度大于所述第二掩膜条的宽度，所述第二掩膜条在所述第二修正条上的投影位于所述第二修正条内。
14.在本发明的其中一些实施例中，所述第二修正条的厚度不大于所述第二掩膜条的厚度。
15.在本发明的其中一些实施例中，所述第一掩膜条及第二掩膜条上分别设置有排液孔。
16.一种掩膜版的制作方法，其包括如下步骤：
17.提供掩膜框架，所述掩膜框架包括多个顺次连接的边框，多个所述边框围合形成开窗；
18.提供第一掩膜条，将其张拉到预设位置与多个所述边框中的相对的两个边框固定；
19.提供金属掩膜条，将所述金属掩膜条张拉到预设位置使其两端分别与多个边框中的剩余两个边框中的其中一个边框及第一掩膜条固定后并切除多余部分使其靠近所述第一掩膜条的一端位于第一掩膜条上以形成第二掩膜条；以及
20.提供修正掩膜条，所述修正掩膜条至少包括第一修正条，将所述第一修正条张拉至覆盖所述第一掩膜条且使其两端与所述掩膜框架固定，且所述第一修正条的宽度大于所述第一掩膜条的宽度，所述第一掩膜条在所述第一修正条上的投影位于所述第一修正条内，所述第一修正条及所述第二掩膜条共同将所述开窗分为多个不同尺寸的蒸镀开口。
21.在本发明的其中一些实施例中，所述第一修正条的厚度不大于所述第一掩膜条的厚度。
22.在本发明的其中一些实施例中，提供的修正掩膜条还包括第二修正条，在张拉固定所述第一修正条之前还包括将第二修正条张拉至与第二掩膜条固定，所述第二修正条的宽度大于所述第二掩膜条的宽度，所述第二掩膜条在所述第二修正条上的投影位于所述第二修正条内。
23.在本发明的其中一些实施例中，所述第二修正条的厚度不大于所述金属掩膜条的厚度。
24.在本发明的其中一些实施例中，所述第一掩膜条及第二掩膜条分别设置有排液孔。
25.本技术的有益效果为：本技术提供的掩膜版及其制作方法，在第一次张网将掩膜框架的开窗分为多个不同尺寸的开口之后，再进行二次张网，提供修正条使其能覆盖第一次张网时发生形变的掩膜条上，从而，使修正后的各个开口的形状能满足成膜的精度需求。
附图说明
26.下面结合附图，通过对本技术的具体实施方式详细描述，将使本技术的技术方案及其它有益效果显而易见。
27.图1为本技术第一实施例提供的一种掩膜框架及在掩膜框架中固定第一掩膜条的平面示意图；
28.图2为在图1的基础上提供金属掩膜条并与掩膜框架固定的平面示意图；
29.图3为在图2的基础上切割去除多余部分的金属掩膜条形成第二掩膜条的平面示意图；
30.图4为在图3的基础上在第二掩膜条的表面设置第二修正条的平面示意图；
31.图5为在图4的基础上在第一掩膜条的表面设置第一金属条得到掩膜版的平面示意图。
32.附图标记说明
33.100-掩膜版；1-掩膜框架；2-第一掩膜条；3-第二掩膜条；
34.4-第一修正条；5-第二修正条；110-开窗；120-蒸镀开口；
35.11-第一边框；12-第二边框；13-第三边框；14-第四边框；
36.101-安装槽；102-定位孔；104-排液孔；15-上表面；
37.30-第一子掩膜条；32-第二子掩膜条；6-金属掩膜条；
38.50-第一子修正条；52-第二子修正条。
具体实施方式
39.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
40.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
41.本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。以下请结合具体实施例对本技术的所述掩膜版100及其制作方法进行详细描述。
42.对于大尺寸的掩膜版，要形成多尺寸的蒸镀开口，一般是通过金属横条及金属纵条将掩膜框架的开口进行划分，部分金属横条的一端与金属纵条固定，导致金属横条与金属纵条连接处所受到的张力不同于二者端部受到的张力，从而导致金属横条及金属纵条会发生形变。
43.请参阅图5，本发明提供一种掩膜版100，能对发生形变的位置进行修正，以满足成膜所需精度的需求。所述掩膜版100包括：掩膜框架1、第一掩膜条2、第二掩膜条3、第一修正条4以及第二修正条5。
44.所述掩膜框架1包括相对设置的第一边框11、第二边框12以及相对设置的第三边框13及第四边框14。所述第一边框11、第二边框12、第三边框13及第四边框14依次围合形成开窗110。所述掩膜框架1还包括多个定位孔102以及多个安装槽101，定位孔102能构成坐标系，安装槽101能基于定位孔102所形成的坐标系进行开设，所述安装槽101用于固定第一掩膜条2、第二掩膜条3、第二修正条5以及第一修正条4的端部，从而安装槽101能确保掩膜条及修正条的安装精度。
45.所述第一掩膜条2的两端分别与相对的第一边框11及第二边框12固定。在本实施例中，仅示意了一个第一掩膜条2。在其它实施例，可以根据掩膜框架1的尺寸设置多个第一
掩膜条2。在其它实施例中，还可以是所述第一掩膜条2的两端分别与相对的第三边框13及第四边框14固定。
46.所述第二掩膜条3至少包括与第三边框13及第一掩膜条2固定的第一子掩膜条30。也就是第一子掩膜条30的一端是与第一掩膜条2固定，从而导致第一掩膜条2会受到一个单侧的张力以及形成第一子掩膜条30时的切割的拉力，所以，第一掩膜条2会发生形变。
47.在本实施例中，为了得到更多不同尺寸的蒸镀开口120，所述第二掩膜条3还包括与第四边框14及第一掩膜条2固定的第二子掩膜条32。其中，所述第一子掩膜条30的数量与第二子掩膜条32的数量不相等。从而导致第一掩膜条2的一侧会受到一个张力，另一侧，会受到两个张力，所以，第一掩膜条2会发生形变。
48.在本实施例中，仅示意了一个第一子掩膜条30及两个第二子掩膜条32。在其它实施例，可以根据掩膜框架1的尺寸及需要蒸镀的图案的大小设置多个第一子掩膜条30及多个第二子掩膜条32。
49.对于大尺寸的掩膜版100，要形成多尺寸的蒸镀开口120，由于第一子掩膜条30的数量与第一子掩膜条30的数量不相等，从而，第一掩膜条2受到左右两侧的张力不同，从而导致第一掩膜条2会发生形变，为了确保蒸镀开口120不影响蒸镀图案的变形，需要对蒸镀开口120进行修正。
50.所述第二修正条5用于修正第二掩膜条3的形变。在本实施例中，所述第二修正条5包括修正第一子掩膜条30形变的第一子修正条50以及修正第二子掩膜条32形变的第二子修正条52。第一子修正条50覆盖在所述第一子掩膜条30的表面且其两端是与第三边框13及第一子掩膜条30固定；第二子修正条52覆盖在所述第二子掩膜条32的表面且其两端是与第四边框14及第二子掩膜条32固定。第一子修正条50的宽度大于所述第一子掩膜条30的宽度，第二子修正条52的宽度大于所述第二子掩膜条32的宽度。从而，第一子掩膜条30及第二掩膜条3由于形变造成的弯曲能被分别别第一子修正条50及第二子修正条52覆盖。而且在张拉第一子修正条50的力小于张拉第一子掩膜条30的力，从而，第一子修正条50产生的形变小于第一子掩膜条30。
51.所述第一修正条4层叠于所述第一掩膜条2上，且所述第一修正条4的宽度大于所述第一掩膜条2的宽度，所述第一掩膜条2在所述第一修正条4上的投影位于所述第一修正条4内，所述第一修正条4及所述第二掩膜条3共同将所述开窗110分为多个不同尺寸且规则的蒸镀开口120。
52.在本实施例中，所述第一修正条4的厚度不大于所述第一掩膜条2的厚度。所述第二修正条5的厚度不大于所述第二掩膜条3的厚度。因为第一修正条4及第二修正条5主要是用于对第一掩膜条2及第二掩膜条3的形变进行遮挡，使蒸镀开口120为规则形状的开口，所以厚度可以稍薄以降低成本。
53.在实施例中，所述第一掩膜条2及第二掩膜条3上分别设置有排液孔104。设置排液孔104，使第一掩膜条2与第一修正条4之间残留的清洗液体能通过排液孔104进行排放，第二掩膜条3与第二修正条5之间残留的液体能通过对应的排液孔104排放。排液孔104的数量可以按需设置。因为掩膜版100使用一定次数之后需要经过几次有机溶剂药液将掩模板上的有机材料溶解，然后进行干燥处理才能再次使用。在这一过程中，一旦掩模板上存在药液残留，那么在使用其进行蒸镀的过程中，就会影响蒸镀器件的寿命性能。
54.本实施例的掩膜版100的各个组成部分的材质均选用因瓦(invar)合金，其膨胀系数极小，能耐腐蚀，抗氧化、耐磨损等，有利于在使用过程中保证制程精度，或者，也可以采用不锈钢(sus)或者可伐合金(kovar)代替，从而具有良好的耐腐蚀、抗氧化等性能。
55.所述掩膜版100在使用时，需要镀膜的基板设置于所述掩膜版100的上表面15，也即是使需要镀膜的基板更靠近所述第一修正条4的顶表面设置，需要镀膜的基板与修正条这一表面接触，从而蒸镀开口120便是规则形状，从而能实现镀膜的精度需求。
56.请参阅图1-5，本发明还涉及一种掩膜版100的制作方法，其包括如下步骤：
57.s1：请参阅图1，提供掩膜框架1，所述掩膜框架1包括多个顺次连接的边框，多个所述边框围合形成开窗110；所述掩膜框架1的各个边框的预设位置开设有安装槽101。
58.s2：提供第一掩膜条2，将其张拉到预设位置与多个所述边框中的相对的两个边框处设置的安装槽101焊接固定。
59.s3：请参阅图2及图3，提供金属掩膜条6，将所述金属掩膜条6张拉到预设位置使其两端分别与多个边框中的剩余两个边框中的其中一个边框及第一掩膜条2固定后并切除多余部分使其靠近所述第一掩膜条2的一端位于第一掩膜条2上以形成第二掩膜条3。
60.s4：请参阅图4及图5，提供修正掩膜条，所述修正掩膜条至少包括第一修正条4，将所述第一修正条4张拉至覆盖所述第一掩膜条2且使其两端与所述掩膜框架1固定，且所述第一修正条4的宽度大于所述第一掩膜条2的宽度，所述第一掩膜条2在所述第一修正条4上的投影位于所述第一修正条4内，所述第一修正条4及所述第二掩膜条3共同将所述开窗110分为多个不同尺寸的蒸镀开口120。所述第一修正条4的厚度不大于所述第一掩膜条2的厚度。
61.在本实施例中，提供的修正掩膜条还包括第二修正条5，在张拉固定所述第一修正条4之前还包括将第二修正条5张拉至与第二掩膜条3固定，所述第二修正条5的宽度大于所述第二掩膜条3的宽度，所述第二掩膜条3在所述第二修正条5上的投影位于所述第二修正条5内。
62.在本实施例中，因为第二修正条5是通过金属掩膜条6与预设的位置固定后切割形成，为了避免切割残留，第二修正条5是先于第一修正条4形成。也即，在本实施例中，所述第二修正条5包括修正第一子掩膜条30形变的第一子修正条50以及修正第二子掩膜条32形变的第二子修正条52。第一子修正条50覆盖在所述第一子掩膜条30的表面且其两端是与第三边框13及第一子掩膜条30固定；第二子修正条52覆盖在所述第二子掩膜条32的表面且其两端是与第四边框14及第二子掩膜条32固定。第二修正条5固定完毕，再张拉固定第一修正条4，从而，第一修正条4及第一掩膜条2将第二修正条5及第二掩膜条3夹设于二者之间。
63.在本实施例中，所述第二修正条5的厚度不大于所述金属掩膜条的厚度。所述第一掩膜条2及第二掩膜条3分别设置有排液孔104。
64.在其它实施例中，由于第二掩膜条3产生的形变较小，在图中未示意，所以可以在第二掩膜条3的表面不设置第二修正条5。
65.由于在本实施例中，在第二掩膜条3的表面设置了第二修正条5以对第二掩膜条3的形变进行修正，所以，所述蒸镀开口120实际上是由掩膜框架1、层叠设置的第一修正条4与第一掩膜条2、以及层叠设置的第二修正条5与第二掩膜条3划分形成。
66.综上所述，本技术提供的掩膜版100及其制作方法，在第一次张网将掩膜框架1的
开窗110分为多个不同尺寸的蒸镀开口120之后，再进行二次张网，提供修正条使其能覆盖第一次张网时发生形变的掩膜条上，从而，使修正后的各个蒸镀开口120的形状能满足成膜的精度需求。
67.综上所述，虽然本技术已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本技术，本领域的普通技术人员，在不脱离本技术的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本技术的保护范围以权利要求界定的范围为准。