激光照射装置的制作方法

技术特征：
1.一种激光照射装置，其特征在于，该激光照射装置包括：射出光学系统，其形成激光振荡器所产生的激光在预定的聚束点处聚集或会聚的光束，并且使所述光束的照射方向和光路位置中的至少一者连续地变化；以及保护构件，其设于所述射出光学系统和所述聚束点之间，抑制从照射对象物侧飞散的异物到达所述射出光学系统，并且具有供所述光束通过的开口，与所述光束的照射方向和光路位置中的至少一者的变化连动，以使所述开口的位置位于所述光束的路径上。2.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，所述射出光学系统具有旋转光学系统，该旋转光学系统通过对所述光束赋予偏转角和偏移量中的至少一者并且绕预定的旋转中心轴线转动，从而使所述聚束点回转，所述保护构件固定于保持所述旋转光学系统的保持构件。3.根据权利要求2所述的激光照射装置，其特征在于，所述旋转光学系统具有对所述光束赋予偏转角的楔形棱镜。4.根据权利要求2或3所述的激光照射装置，其特征在于，所述旋转光学系统具有相对于所述光束的入射方向倾斜地配置的反射镜。5.根据权利要求4所述的激光照射装置，其特征在于，所述反射镜包含依次反射所述光束的第1反射镜和第2反射镜。6.根据权利要求5所述的激光照射装置，其特征在于，所述第2反射镜的沿着向所述照射对象物入射的光束的光轴方向的方向上的位置配置于与所述第1反射镜相比距照射对象物较远的一侧的位置。7.根据权利要求2～6中任一项所述的激光照射装置，其特征在于，所述保护构件具有沿着与所述旋转中心轴线相交的方向形成的面部，所述开口设于所述面部。8.根据权利要求2～6中任一项所述的激光照射装置，其特征在于，所述保护构件作为沿着所述旋转中心轴线配置的筒状体而形成，所述开口设于所述筒状体的周面。9.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，所述射出光学系统具有多面镜，该多面镜绕预定的旋转中心轴线转动并且在周向上排列有多个反射镜而成，所述保护构件与所述多面镜连动地转动，并且具有供在所述多个反射镜处反射的光束分别通过的多个开口。10.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，所述射出光学系统具有检电扫描器，该检电扫描器包含绕预定的旋转中心轴线摆动的反射镜，所述保护构件作为与光束的摆动同步地绕中心轴线旋转的筒状体而形成，所述开口形成于所述筒状体的周面。11.根据权利要求10所述的激光照射装置，其特征在于，所述开口包含供光束在向第1方向摆动时通过的第1开口和供光束在向与所述第1方向相反的方向即第2方向摆动时通过的第2开口，
所述第1开口形成为从所述筒状体的一个端部沿筒轴方向延伸的狭缝状，所述第2开口形成为从所述筒状体的另一个端部沿筒轴方向延伸的狭缝状。12.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，所述射出光学系统具有检电扫描器，该检电扫描器包含绕预定的旋转中心轴线摆动的反射镜，所述保护构件具有：固定部，其具有沿着光束的摆动方向延伸的第1狭缝；以及旋转部，其与光束的摆动同步地相对于所述固定部转动，并且具有在从光束的入射方向观察时沿着与所述第1狭缝交叉的方向延伸的第2狭缝。13.根据权利要求1～11中任一项所述的激光照射装置，其特征在于，所述保护构件具有气流产生部，在所述保护构件的动作时，该气流产生部产生用于排出异物的气流。14.根据权利要求1～12中任一项所述的激光照射装置，其特征在于，该激光照射装置沿着所述光束的光路设有多个所述保护构件。15.根据权利要求1～12中任一项所述的激光照射装置，其特征在于，该激光照射装置沿着所述光束的光路设有三个以上所述保护构件，所述保护构件之间的沿着所述光束的光路的间隔依次变化。16.根据权利要求15所述的激光照射装置，其特征在于，所述保护构件之间的间隔设定为与从所述照射对象物侧向所述射出光学系统侧靠近相应地依次变窄。17.根据权利要求1～16中任一项所述的激光照射装置，其特征在于，该激光照射装置具有用于向所述保护构件的与所述照射对象物侧相反的一侧的区域导入吹扫气体的吹扫气体导入部，使所述吹扫气体从所述保护构件的所述开口向所述照射对象物侧流出。18.根据权利要求1～16中任一项所述的激光照射装置，其特征在于，该激光照射装置与射出所述光束的喷嘴部相邻地设有用于向所述照射对象物侧供给吹扫气体的吹扫气体供给部。19.根据权利要求17或18所述的激光照射装置，其特征在于，作为所述吹扫气体，使用以非活性气体作为主要成分的气体。

技术总结
本发明提供一种抑制异物附着于光学元件的激光照射装置。将激光照射装置设为包括射出光学系统(10、20、30)和保护构件(70)的结构，射出光学系统(10、20、30)形成激光振荡器所产生的激光在预定的聚束点(BS)处聚集的光束(B)，并且使光束的照射方向等连续地变化，保护构件(70)设于射出光学系统和聚束点之间，保护射出光学系统不受从照射对象物侧飞散的异物的影响，并且具有供光束通过的开口(71)，与光束的照射方向等的变化连动以使开口的位置位于光束的路径上。束的路径上。束的路径上。


技术研发人员：森大祐
受保护的技术使用者：丰晃公司
技术研发日：2020.08.31
技术公布日：2022/5/10