一种ITO溅射靶材绑定保护板的制作方法

一种ito溅射靶材绑定保护板
技术领域
1.本实用新型涉及ito溅射靶材绑定保护板技术领域，具体为一种ito溅射靶材绑定保护板。


背景技术：

2.ito靶材属于陶瓷靶材的一种，近些年来人们对于电脑、电视、手机显示屏的追求越发明显，由此也带动了ito靶材的市场需求。ito材料是一种n型半导体材料，该种材料包括ito粉末、靶材、导电浆料及ito透明导电薄膜。
3.在现有技术中一般都是将ito溅射靶材与铜背板进行焊接绑定在一起进行使用，这样进行绑定的ito溅射靶材后期不便进行拆卸维修更换，而且也无法对ito溅射靶材起到很好的保护作用，导致在使用时容易发生摩擦导致损坏，并且进行焊接绑定在一起的ito溅射靶材在长时间使用中受到压力，容易发生脱落，而且焊接绑定的方式只适用于方形ito溅射靶材，不便对圆形等形状的ito溅射靶材进行绑定限位使用，因此我们提出一种便于对针对多种形状ito溅射靶材进行绑定使用的保护板。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种ito溅射靶材绑定保护板，解决了现有ito溅射靶材绑定保护板不便对圆形等形状的ito溅射靶材进行绑定限位使用，不便进行拆卸维修更换，无法对ito溅射靶材进行防护的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种ito溅射靶材绑定保护板，包括保护板本体，所述保护板本体上端面设置有安装孔，所述保护板本体上端面固定有u型防护块，所述u型防护块左端面设置有滑槽，所述保护板本体上端面左边缘处通过销轴转动连接有密封盖，所述u型防护块左端面前边缘处设置有固定孔，所述保护板本体下端面内部设置有冷却水槽，所述保护板本体左端面设置有进水口，所述保护板本体右端面设置有出水口，所述u型防护块前后端面设置有夹持装置。
8.优选的，所述滑槽内腔滑动连接有防护板，所述防护板上端面均匀设置有通孔。
9.优选的，所述u型防护块内腔设置有卡槽，所述u型防护块采用橡胶材质制成。
10.优选的，所述夹持装置包括有螺栓、夹持板、滑杆与凹槽，所述u型防护块前后端面内部转动连接有螺栓，所述卡槽内腔设置有凹槽，所述螺栓通过利用轴承转动连接有夹持板，所述u型防护块前后端面内部滑动连接有滑杆，所述滑杆后端面固定连接有夹持板。
11.优选的，所述夹持板采用橡胶材质制成。
12.优选的，所述密封盖左端面前边缘处设置有固定栓。
13.(三)有益效果
14.本实用新型提供了一种ito溅射靶材绑定保护板。具备以下有益效果：
15.(1)、该ito溅射靶材绑定保护板，通过人员将方形ito溅射靶材滑动连接在u型防护块内腔中的卡槽内进行拼接，然后通过转动螺栓，使螺栓通过轴承配合滑杆推动夹持板滑出凹槽，再使夹持板对卡槽内腔中的方形ito溅射靶材进行夹持固定。通过人员转动螺栓，使螺栓通过轴承配合滑杆推动夹持板滑出凹槽，再使夹持板对卡槽内腔中的方形ito溅射靶材进行夹持固定，由于夹持板采用橡胶材质制成，从而能够很好的增加方形ito溅射靶材在卡槽内腔中的稳定性。通过人员将方形ito溅射靶材滑动连接在u型防护块内腔中的卡槽内进行拼接，然后利用固定栓螺纹连接固定孔，使密封盖配合u型防护块对卡槽内腔中的方形ito溅射靶材进行夹持固定，从而解决了现有ito溅射靶材绑定保护板在对ito溅射靶材进行安装绑定时，不便对ito溅射靶材进行夹持固定的麻烦。
16.(2)、该ito溅射靶材绑定保护板，通过人员将方形ito溅射靶材滑动连接在u型防护块内腔中的卡槽内进行拼接，由于u型防护块采用橡胶材质制成，从而能很好的对方形ito溅射靶材进行限位，并且方形ito溅射靶材拼接在卡槽内腔时，能够利用u型防护块对其进行防护，从而解决了现有ito溅射靶材绑定保护板在对方形ito溅射靶材进行绑定时，无法对其进行防护的麻烦。在人员对圆形的ito溅射靶材进行绑定时，通过将防护板滑动连接在滑槽内腔中，然后利用防护板上端面的通孔进行展露出圆形ito溅射靶材，并且人员通过利用通孔对圆形ito溅射靶材进行限位，从而解决了现有ito溅射靶材绑定保护板不便对圆形的ito溅射靶材进行绑定限位，导致圆形ito溅射靶材在绑定到保护板上内时容易发生摩擦导致损坏的麻烦。
附图说明
17.图1为本实用新型主视结构示意图；
18.图2为本实用新型保护板本体局部剖结构示意图；
19.图3为本实用新型u型防护块局部剖结构示意图；
20.图4为本实用新型保护板本体半剖结构示意图。
21.图中：1、保护板本体；2、安装孔；3、u型防护块；4、滑槽；5、销轴；6、密封盖；7、夹持装置；701、螺栓；702、夹持板；703、滑杆；704、凹槽；8、防护板；9、通孔；10、冷却水槽；11、进水口；12、固定孔；13、固定栓；14、出水口。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
23.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：
24.实施例一：
25.一种ito溅射靶材绑定保护板，包括保护板本体1，保护板本体1上端面设置有安装孔2，保护板本体1上端面固定有u型防护块3，u型防护块3左端面设置有滑槽4，保护板本体1上端面左边缘处通过销轴5转动连接有密封盖6，u型防护块3左端面前边缘处设置有固定孔12，保护板本体1下端面内部设置有冷却水槽10，保护板本体1左端面设置有进水口11，保护板本体1右端面设置有出水口14，u型防护块3前后端面设置有夹持装置7，滑槽4内腔滑动连接有防护板8，防护板8上端面均匀设置有通孔9，在人员对圆形的ito溅射靶材进行绑定时，
通过将防护板8滑动连接在滑槽4内腔中，然后利用防护板8上端面的通孔9进行展露出圆形ito溅射靶材，并且人员通过利用通孔9对圆形ito溅射靶材进行限位，从而解决了现有ito溅射靶材绑定保护板不便对圆形的ito溅射靶材进行绑定限位，导致圆形ito溅射靶材在绑定到保护板上内时容易发生摩擦导致损坏的麻烦。
26.实施例二：
27.本实施例与实施例一的区别在于：u型防护块3内腔设置有卡槽，u型防护块3采用橡胶材质制成，通过人员将方形ito溅射靶材滑动连接在u型防护块3内腔中的卡槽内进行拼接，由于u型防护块3采用橡胶材质制成，从而能很好的对方形ito溅射靶材进行限位，并且方形ito溅射靶材拼接在卡槽内腔时，能够利用u型防护块3对其进行防护，从而解决了现有ito溅射靶材绑定保护板在对方形ito溅射靶材进行绑定时，无法对其进行防护的麻烦，夹持装置7包括有螺栓701、夹持板702、滑杆703与凹槽704，u型防护块3前后端面内部转动连接有螺栓701，卡槽内腔设置有凹槽704，螺栓701通过利用轴承转动连接有夹持板702，u型防护块3前后端面内部滑动连接有滑杆703，滑杆703后端面固定连接有夹持板702。通过人员将方形ito溅射靶材滑动连接在u型防护块3内腔中的卡槽内进行拼接，然后通过转动螺栓701，使螺栓701通过轴承配合滑杆703推动夹持板702滑出凹槽704，再使夹持板702对卡槽内腔中的方形ito溅射靶材进行夹持固定，夹持板702采用橡胶材质制成。通过人员转动螺栓701，使螺栓701通过轴承配合滑杆703推动夹持板702滑出凹槽704，再使夹持板702对卡槽内腔中的方形ito溅射靶材进行夹持固定，由于夹持板702采用橡胶材质制成，从而能够很好的增加方形ito溅射靶材在卡槽内腔中的稳定性，密封盖6左端面前边缘处设置有固定栓13。通过人员将方形ito溅射靶材滑动连接在u型防护块3内腔中的卡槽内进行拼接，然后利用固定栓13螺纹连接固定孔12，使密封盖6配合u型防护块3对卡槽内腔中的方形ito溅射靶材进行夹持固定，从而解决了现有ito溅射靶材绑定保护板在对ito溅射靶材进行安装绑定时，不便对ito溅射靶材进行夹持固定的麻烦。
28.工作时，首先在人员对圆形的ito溅射靶材进行绑定时，通过将防护板8滑动连接在滑槽4内腔中，然后利用防护板8上端面的通孔9进行展露出圆形ito溅射靶材，并且人员通过利用通孔9对圆形ito溅射靶材进行限位，从而解决了现有ito溅射靶材绑定保护板不便对圆形的ito溅射靶材进行绑定限位，人员在将方形ito溅射靶材滑动连接在u型防护块3内腔中的卡槽内进行拼接，然后利用固定栓13螺纹连接固定孔12，使密封盖6配合u型防护块3对卡槽内腔中的方形ito溅射靶材进行夹持固定，从而解决了现有ito溅射靶材绑定保护板在对ito溅射靶材进行安装绑定时，不便对ito溅射靶材进行夹持固定的麻烦。
29.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。