技术特征：
1.一种ito溅射靶材绑定保护板，包括保护板本体(1)，其特征在于：所述保护板本体(1)上端面设置有安装孔(2)，所述保护板本体(1)上端面固定有u型防护块(3)，所述u型防护块(3)左端面设置有滑槽(4)，所述保护板本体(1)上端面左边缘处通过销轴(5)转动连接有密封盖(6)，所述u型防护块(3)左端面前边缘处设置有固定孔(12)，所述保护板本体(1)下端面内部设置有冷却水槽(10)，所述保护板本体(1)左端面设置有进水口(11)，所述保护板本体(1)右端面设置有出水口(14)，所述u型防护块(3)前后端面设置有夹持装置(7)。2.根据权利要求1所述的一种ito溅射靶材绑定保护板，其特征在于：所述滑槽(4)内腔滑动连接有防护板(8)，所述防护板(8)上端面均匀设置有通孔(9)。3.根据权利要求1所述的一种ito溅射靶材绑定保护板，其特征在于：所述u型防护块(3)内腔设置有卡槽，所述u型防护块(3)采用橡胶材质制成。4.根据权利要求3所述的一种ito溅射靶材绑定保护板，其特征在于：所述夹持装置(7)包括有螺栓(701)、夹持板(702)、滑杆(703)与凹槽(704)，所述u型防护块(3)前后端面内部转动连接有螺栓(701)，所述卡槽内腔设置有凹槽(704)，所述螺栓(701)通过利用轴承转动连接有夹持板(702)，所述u型防护块(3)前后端面内部滑动连接有滑杆(703)，所述滑杆(703)后端面固定连接有夹持板(702)。5.根据权利要求4所述的一种ito溅射靶材绑定保护板，其特征在于：所述夹持板(702)采用橡胶材质制成。6.根据权利要求1所述的一种ito溅射靶材绑定保护板，其特征在于：所述密封盖(6)左端面前边缘处设置有固定栓(13)。
技术总结
本实用新型公开了一种ITO溅射靶材绑定保护板，包括保护板本体，所述保护板本体上端面设置有安装孔，所述保护板本体上端面固定有U型防护块，所述U型防护块左端面设置有滑槽，所述保护板本体上端面左边缘处通过销轴转动连接有密封盖，所述U型防护块左端面前边缘处设置有固定孔，所述保护板本体下端面内部设置有冷却水槽，所述保护板本体左端面设置有进水口，所述保护板本体右端面设置有出水口。本实用新型涉及ITO溅射靶材绑定保护板技术领域。该ITO溅射靶材绑定保护板，解决了现有ITO溅射靶材绑定保护板不便对圆形等形状的ITO溅射靶材进行绑定限位使用，不便进行拆卸维修更换，无法对ITO溅射靶材进行防护的问题。无法对ITO溅射靶材进行防护的问题。无法对ITO溅射靶材进行防护的问题。
技术研发人员：孔伟华
受保护的技术使用者：江苏东玖光电科技有限公司
技术研发日：2021.11.15
技术公布日：2022/4/29
再多了解一些
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