调温设备和真空组件的制作方法

1.不同实施例涉及调温设备和真空组件。


背景技术：

2.一般来说，可以在真空涂层设施中对基材进行处理，例如加工、涂层、加热、蚀刻和/或结构改变。一种用于对基材进行涂层的方法是所谓的溅射。通过溅射例如可以在一基材上沉积一个层或多个层。为此可以借助阴极将构成等离子体的气体离子化，其中,可以借助在此构成的等离子体将阴极的需沉积的材料(也称为涂层材料)雾化。经雾化的涂层材料接着被送向基材，涂层材料可以沉积在该基材上并构成一个层。
3.为了排出在此释放的热能，真空涂层设施的各个部件可以是水冷的。如果这些部件必须在真空涂层设施外部进行维护，那么按照传统需要繁复的装配过程来将经水冷的部件与冷却循环系统分离，而冷却水不进入真空涂层设施中。例如手动地进行这个作业，这使人成为故障源并且耗时。在对基材进行涂层时，其周围环境例如会被寄生涂层，因而按照传统使用经冷却的、收集多余涂层材料的牺牲板(opferbleche)。如果应该更换这些消耗板，就产生繁复的装配过程。


技术实现要素：

4.根据不同的实施方式清楚地看出：每个设置在真空室中的在装配过程中打开并重新关闭的流体连接部是潜在的故障源，即使该流体连接部被非常科学地操作并且符合最高的技术要求的情况下也是如此。根据不同的实施方式，借助调温设备和真空组件将这个故障源降低到了最小程度，在所述真空组件中，流体流过的组合件和需冷却的组合件彼此分开。这实现了：当更换需冷却的部件时，冷却循环系统保持闭合。
5.根据不同的实施方式提供的调温设备和真空组件因此例如在高效的真空涂层设施中简化了维护复杂度并缩短了维护时间。例如这简化了对装配步骤自动化的实施(例如借助控制设备)。这使实施全自动运行成为可能。
6.在示范性的实施形式中，将维护部件插入设置在真空室中的支承系统中并且通过快速夹紧系统紧固在其上。流体流过的冷却体集成在支承系统中并且借助膨胀体压紧在维护部件上和/或重新从其上松脱。
附图说明
7.附图中：
8.图1至8分别示出根据不同实施方式的调温设备的不同示意图；
9.图9和10分别示出用于运行根据不同实施方式的调温设备的方法的不同示意图；
10.图11示出根据不同实施方式的真空组件的示意性侧视图或横剖视图。
具体实施方式
11.在以下的详细说明中参照附图，这些附图构成所述说明的组成部分并且在这些附图中为了说明的目的示出可以实施本实用新型的特定实施方式。就这一点而言，方向术语诸如“上”、“下”、“在前”、“在后”、“前面的”、“后面的”等等是相对所说明的(多个)附图的取向而使用的。由于实施方式的部件能够在若干不同的取向上定位，所以方向术语用于说明而绝非限制性的。当然，可以使用其它实施方式并进行结构上或逻辑上的改变，而不偏离本实用新型的保护范围。不言而喻地，只要没有其它特别说明，此处说明的不同示范性实施方式的特征可以相互结合。因此下面的详细说明不应理解为限制性的，并且本实用新型的保护范围通过所附权利要求限定。
12.在本说明书的范围内，术语“连接”、“相连”以及“联接”用于说明直接和间接的连接(例如欧姆的和/或可导电的，例如可导电的连接)、直接或间接的相连以及直接或间接的联接。在附图中只要是适宜的，为相同或类似的元件设置相同的附图标记。
13.根据不同的实施方式，术语“联接的”或“联接”可以理解为(例如机械式的、静液压的、热的和/或电的)例如直接或间接的连接和/或交替作用。多个元件例如可以沿着一个交替作用链相互联接，所述交替作用可以沿着该交替作用链交换、例如流体(于是也称为输送流体地联接)。例如两个相互联接的元件可以相互交换交替作用，例如机械式的、静液压的、热的和/或电的交替作用。多个真空部件(例如阀、泵、室等等)的相互联接可以包括：这些真空部件相互输送流体地联接。根据不同的实施方式，“耦联”可以理解为机械式的(例如实体的或者说物理的)联接、例如借助直接的实体接触。耦联可以设置为，传递机械式交替作用(例如力、扭矩等等)。
14.两个元件之间的输送流体的连接或者联接能够实现：这两个元件能够相互交换流体(就是说，具有液态材料和/或气态材料或者由其构成)。输送流体的连接作为选配方案可以对外密封，使得基本上无损耗地进行流体交换。
15.不同的构件(也称为部件)在运行中吸收热的功率(也称为热功率)，例如通过如下方式，即，这些构件将电功率转换成热的功率，或者这些构件吸收热辐射。在此，其温度上升(也称为加热)，直到自然释放到周围环境中的热损耗与吸收的热的功率(也称为输入功率)相同。在此，作为热损耗功率与热输入功率之间的平衡，产生所述部件的温度。
16.为了降低温度，可以增大部件的热损耗功率，例如通过以下方式，即，记住所谓的热接触壁将热能从部件中抽出(也称为有源冷却或者只简称为冷却)。通过同样的方式同样可以为部件输送热能(也称为有源加热或者只简称为加热)。更通俗地说，可以对部件进行调温处理(就是说，冷却和/或加热)。热接触壁在此明确地提供如下的壁，通过该壁进行在需冷却的部件与作为载热介质的流体(也称为热媒)之间的热能交换。
17.热接触壁例如可以由流体流过或者至少与流动的流体接界，该流体以传导的方式吸收一部分抽出的热并以对流的方式(就是说，借助材料运输)将其运走。流体可以具有比热接触壁更低的温度，从而提供从热接触壁到流体的连续的热流。与此类似，热接触壁可以具有比需调温处理的部件更低的温度，从而提供从所述部件到热接触壁的连续的热流。因此流体可以吸收所述部件的热的功率并且沿着流动方向运走。这种借助流动流体的吸热过程实现了：可以在小空间上运走高功率。
18.原则上可以进行向着需调温处理的部件或离开这个部件的热传导。对部件的调温
处理可以包括对该部件的冷却和/或加热。在此，关于调温设备主要涉及借助调温设备对部件进行冷却的过程。对冷却的说明内容可以类似地适用于借助调温设备对部件进行加热的过程，其中，热传导则沿着相反的方向进行。
19.根据不同的实施方式，可导热的材料可以包括金属或者由其构成。然而作为金属以外的替代方案或补充方案，基本上也可以使用其它可导热的材料。“可导热”在此可以理解为具有约100瓦/米和开尔文(w/m
·
k)或以上的热导率、例如约200w/m
·
k或以上(也称为高导热性的)、例如约300w/m
·
k或以上、例如约400w/m
·
k或以上。高导热性金属的实例包括：铜，铝或其合金。
20.根据不同的实施方式，流体(例如冷却流体)可以包括气体(例如冷却气体)和/或液体(例如冷却液)或者由其构成。例如，液体可以包括水或者由其构成。例如，所述液体可以包括油或者由其构成、例如人工合成的和/或矿物油。一般而言不言而喻地，可以将任何适当的流体介质(也称为流体)用作冷却流体。
21.图1示出了根据不同实施方式的调温设备100的示意性侧视图或横剖视图。
22.调温设备100具有台架102、传热壁104和机械式变换器106(也简称为变换器)。
23.台架102在调温设备100的传热壁104所面对的一侧101a(也称为装配侧或者更直观地称为上侧)具有紧固设备102b。借助紧固设备102b可以将需调温处理的部件(也称为构件)、例如维护部件在装配侧101a紧固在台架102上。
24.传热壁104可以设置为相对台架102可运动109，例如可以向着装配侧101a运动或者远离该装配侧运动109(例如沿着方向105)。例如传热壁104作为整体可以相对台架102可滑移地支承、例如借助支承设备(例如具有线性轴承或者由其构成)。作为替代方案或补充方案，传热壁104可以如下地变形，即，该传热壁104的至少一个区段能够相对台架102运动。
25.紧固设备102b例如可以设置为，将构件与台架如下地连接，即，使得当所述构件借助紧固设备102b而与台架连接时，该构件相对台架的例如向着装配侧101a的方向或者远离装配侧101a的远离运动被阻止。紧固设备102b例如可以设置为，在所述构件与台架102之间建立形状锁合连接，例如当紧固设备102b被操作时。
26.为了建立形状锁合连接，紧固设备102b例如可以具有一个或一个以上钩环、一个或一个以上螺纹、一个或一个以上沟槽、一个或一个以上挂钩或者类似物。更通俗地说，紧固设备102b可以具有一个或一个以上形状锁合轮廓，以建立所述形状锁合连接。
27.紧固设备的部件的实例包括：锁闭件例如快速夹紧锁闭件、线性锁闭件和/或卡口式锁闭件；螺纹件；卡锁凸耳；牵拉件。利用紧固设备建立连接的实例具有：台架与需调温处理的部件之间的相对运动；锁闭件的卡锁；枢轴的手动插入；紧固件的旋入和/或钩住。执行相对运动的实例具有：在台架102的u形型材中运动的滑块；或者使滑块运动的偏心夹紧器。
28.传热壁104可以例如至少在装配侧101a上具有可导热的材料或者由其构成。例如，所述可导热的材料可以在装配侧101a上裸露在外。
29.此外，调温设备100具有空腔111和两个流体接口108a、108b(例如冷却流体接口)，这些流体接口借助空腔111相互输送流体地联接。
30.所述或每个流体接口108a、108b例如可以具有一个伸出的管端或者由其构成。所述或每个流体接口108a、180b例如可以具有密封件或者由其构成、例如环形密封件。所述或每个流体接口108a、108b例如可以具有螺纹。所述或每个流体接口108a、108b例如可以具有
卡扣式锁闭件。
31.空腔111可以与传热壁104接界、例如至少与其可导热的材料接界。这实现了：流过空腔111的流体与传热壁104、例如与其可导热的材料以物理的方式接触。
32.变换器106一般来说可以设置为，作为对该变换器106所经受的压力变化的响应将一个力(也称为挤压力)在台架与传热壁104之间传递(于是也称为压力-力-变换器106)。变换器106一般来说可以设置为，作为对压力变化的响应其体积发生变化(也称为体积变化)、其形状发生变化和/或其膨胀发生变化。变换器106可以如下地与台架102和传热壁104耦联，即，使得体积的、形状的和/或膨胀的变化产生在台架102与传热壁104之间传递的挤压力。
33.压力变化例如可以包括：膨胀体的内部所经受的压力(也称为内部压力)发生变化，和/或膨胀体的外部所经受的压力(也称为外部压力)发生变化。例如，压力变化可以包括：外部压力与内部压力之间的差发生变化。例如，压力变化可以包括：只有外部压力发生变化或者只有内部压力发生变化。
34.例如，挤压力的变化可以是压力变化的函数，使得挤压力随着压力变化而增大。挤压力例如可以远离台架102指向，使得传热壁104或该传热壁的至少一个区段远离台架102运动(也称为挤压运行)。如果使压力变化反向，则可以重新减小挤压力，直到该挤压力为零为止(也称为释放运行)。
35.例如，压力-力-变换器106可以具有膨胀体(也称为可膨胀的主体，压力膨胀体或者简称为压力体)。该膨胀体可以设置为，作为对压力变化的响应，其体积发生变化(也称为体积变化)。例如，压力膨胀体可以具有空心体。膨胀体的实例包括：球囊；升降缸；软管；折囊(例如波纹折囊)；闭孔的泡沫材料；柔性容器。
36.不那么复杂的实施形式包括：压力-力-变换器106具有柔性容器，该容器在真空室802(参见图11)的充气状态中无压力地组装并且因此在内部具有大气压力。通过将真空室802抽真空，可以导致压力变化，使得压力体膨胀并压靠在传热壁104上。压力体例如可以具有橡胶亦或硅树脂或者由其构成。
37.压力变化例如可以包括：膨胀体封闭的内部压力相对从外部作用到该膨胀体上的外部压力发生变化。当内部压力相对外部压力上升时，例如体积会增大。而当内部压力相对外部压力下降时，例如体积会减小。
38.挤压运行例如可以包括：机械式变换器106的外部压力减小、例如如下地减小，即，这个变换器的体积增大(也称为体积增大或膨胀)。释放运行例如可以包括：机械式变换器106的外部压力增大、例如如下地增大，即，该变换器的体积减小(也称为体积增大或膨胀)。
39.在此作为示范性的变换器106主要涉及一种膨胀体。对该膨胀体的说明内容可以类似地适用于不同设置的变换器106，该变换器不必为了产生挤压力而改变其体积。
40.台架102例如可以具有区段102a(也称为台架基座102a)。变换器106可以将台架基座102a与传热壁104相互联接。挤压力然后可以在台架基座102a与传热壁104之间传递。
41.在此涉及调温设备100的容易理解的示范性实施形式，在该调温设备中，变换器106设置在传热壁104与台架基座102a之间。对这种示范性实施形式的说明内容可以类似地适用于调温设备10的其它实施形式，在该调温设备中变换器106、传热壁104和台架基座102a不同地设置。
42.图2示出了根据不同的实施方式200的调温设备100的示意性侧视图或横剖视图，在这些实施方式中调温设备100具有空心体204(也称为调温处理体)、就是说具有空腔111的主体。调温处理体204的外壁可以包括传热壁104或者由其构成。
43.调温处理体204例如可以构造为流体管路的形式，该流体管路具有平坦的外表面。调温处理体204例如可以具有冷却体或者由其构成。
44.调温处理体204和变换器106因此可以是独立的部件。这实现了更简单的加工和/或更好的调温处理。例如，调温处理体204与变换器106的材料可以彼此不同，使得变换器106具有更好的压力反应，而调温处理体204具有更好的导热性。
45.例如，调温处理体204可以具有第一材料(也称为调温材料)或者由其构成，并且变换器106可以具有第二材料(也称为变换器材料)或者由其构成。
46.例如，调温材料可以比变换器材料具有更大的热导率。例如，调温材料可以比变换器材料具有更大的弹性模数。例如，调温材料可以比变换器材料具有更小的弹性极限。
47.例如，调温材料可以具有可导热的材料或者由其构成。例如，变换器材料可以具有弹性体(例如氯丁橡胶)或弹簧钢或者由其构成。弹性体例如可以具有橡胶亦或硅树脂或者由其构成。
48.在这种情况中，在联接运动和断联运动中会使整个调温处理体204运动。为了补偿这个运动，调温设备的每个流体接口108a、108b可以具有柔性的流体管路208a、208b，该流体管路将流体接口108a、108b与空腔111输送流体地联接。这降低了管路断裂的风险。所述或每个柔性的流体管路208a、208b例如可以具有软管或者由其构成。所述或每个柔性的流体管路208a、208b例如可以具有弹性体或者由其构成。弹性体例如可以具有橡胶亦或硅树脂或者由其构成。
49.图3示出了根据不同的实施方式300的调温设备100的示意性侧视图或横剖视图，在这些实施方式中变换器106具有空腔111和传热壁104。在这种情况中，内部压力可以是空腔111中的流体的压力。这种配置实现了较少的构件并因此降低了仓储成本等等。
50.例如，变换器106可以由不同的材料组成。例如，变换器106的第一区段可以具有传热壁104，该传热壁具有调温材料或者由其构成。例如，变换器106的第二区段可以具有变形壁304，该变形壁具有变换器材料或者由其构成。尽管这种配置可能制造比较困难，然而能够实现的是：对通过传热壁104的热传导进行优化。
51.变形壁304和传热壁104同样可以具有相同的材料或者由其构成、例如变换器材料。这种配置尽管会增加通过传热壁104热传导的难度，然而实现了调温设备100的较高的可靠性，明显是由于不同材料之间的接触面较少。然而，如果须对需调温处理的构件进行强度小得多的冷却，和/或如果在需调温处理的构件与传热壁104之间的接触面足够大，则较低的热传导也是可以接受的。
52.作为选配方案，调温设备100的每个流体接口108a、108b可以具有柔性的流体管路208a、208b，该流体管路将流体接口108a、108b与空腔111输送流体地联接。这降低了管路断裂的风险。所述或每个柔性的流体管路208a、208b例如可以具有软管或者由其构成。所述或每个柔性的流体管路208a、208b例如可以具有弹性体或者由其构成。
53.图4示出了根据不同的实施方式400的调温设备100的示意性侧视图或横剖视图，在这些实施方式中空腔111由台架102限界。这种配置明显实现了借助流体对台架102进行
冷却。
54.例如，台架102可以是槽形的，因而该台架102具有凹深部402，在该凹深部中提供空腔111。例如，传热壁104可以设置在凹深部402中。如果传热壁104应作为整体相对台架102可运动，那么调温设备100还可以具有密封件404(例如密封环)，该密封件将传热壁104与台架102之间的间隙密封。
55.下文涉及调温设备100的更具体的示范性实施形式，在这些实施形式中调温设备100具有变换器106并且与其分开地具有调温处理体204。对这种示范性实施形式的说明内容可以类似地适用于调温设备100的前述实施方式，在这些实施方式中变换器106和调温处理体204例如具有共同的部件。
56.图5示出了根据不同的实施方式500的调温设备100的示意性侧视图或横剖视图，在这些实施方式中，调温设备100与需调温处理的构件502耦联。需调温处理的构件502例如可以具有片材、例如反溅射平面，如后面还将详细说明的那样。调温设备100可以具有调温处理体204，该调温处理体由空腔111穿透。
57.变换器106可以具有膨胀体106e并且作为选配方案具有压力传递器(druckvermittler)106u。该压力传递器106u可以具有与第一调温处理体204接触的第一接触面以及与膨胀体106e接触的第二接触面，其中，作为选配方案第一接触面与第二接触面可以相互不同。这实现了：调温处理体204的形状和大小不必强制性地与膨胀体106e的形状和尺寸相匹配，并且由此实现了较大的设计灵活性。例如，第一接触面可以小于第二接触面。
58.膨胀体106e例如可以具有褶皱606f，该褶皱改善了膨胀体的膨胀能力。这例如实现了：构成膨胀体106e的变换器材料不必强制性地具有高的弹性极限。
59.需调温处理的构件替代地可以具有凸出部506(例如横梁(balken))，该凸出部的功能后续将详细说明。凸出部506可以延伸到槽形的台架102中。
60.如果改变膨胀体106e所经受的压力(例如内部压力和/或外部压力)，那么该压力使压力传递器106u向着装配侧101a的方向滑移。这个运动(也称为行程)借助压力传递器106u传递给调温处理体204。
61.膨胀体106e提供的行程例如可以大于调温处理体204直到其接触需调温处理的构件502为止可运动的距离s1与需调温处理的构件502在其运动借助紧固设备被阻止前可自由运动的距离s2的总和。
62.压力传递器106u例如具有一个板材510(例如片材)和多个冲头512(例如角形型材)作为独立的组合件。为了将挤压力传递到调温处理体204上，压力传递器106u的板材510可以在膨胀体106e的整个轮廓上延伸。在压力传递器106u的板材510上分别安装有冲头512。这种设置允许压力传递器106u的灵活行为。
63.传热壁104可选地可以包括铜绞合线或者由其构成。该铜绞合线改善了热接触和/或能够实现高度补偿。
64.图6示出了根据不同的实施方式600的调温设备100的透视性分解图。台架102(也简称为承载体)可以设置为，接纳压力传递器以及调温处理体204(例如连同传热壁104)、例如接纳在其凹深部402中。
65.如示出的那样，膨胀体106e可以具有纵向延伸的软管或者由其构成。膨胀体106e
可选地可以具有流体接口。这实现了：给膨胀体106e输送流体，从而能够改变膨胀体106e的内部压力。这实现了：能够更好地调节传递到传热壁104上的挤压力。
66.紧固设备102b例如具有一个或一个以上安装在台架102上的枢轴606，该枢轴穿过槽形的台架102的凹深部延伸。借助所述或每个枢轴606能够如以下详细说明的那样形状锁合地联接需调温处理的构件502。
67.图7示出了根据不同的实施方式700的调温设备100的透视性剖视图。若使用压力传递器106u，那么该压力传递器可以具有相应的空隙，枢轴606能够已经或者将设置在这些空隙中或者枢轴606穿过这些空隙延伸。这实现了：可以作为连在一起的主体提供压力传递器106u，这使挤压力的空间分布均匀化。
68.图8示出了根据不同的实施方式800的调温设备100的透视图。
69.膨胀体106e可选地可以具有流体接口822(也称为内部压力接口)，其穿过台架102的侧壁延伸。借助内部压力接口822可以为膨胀体106e输送流体，从而能够改变膨胀体106e的内部压力。这实现了：能够调节传递到传热壁104上的挤压力、例如借助控制设备。明晰地，借助内部压力接口822能够对压差和因此对挤压力进行微调。这还简化了调温设备的自动化实施。
70.作为替代方案或补充方案，可以借助内部压力接口822进行密封性检测。密封性检测实现了改进的可靠性。
71.台架102可选的能够可滑移地支承。为此，台架102可以具有承载托架844，该承载托架可滑移地支承在支承设备的辊子(未示出)上。可以借助操作设备(未示出)使台架102滑移。操作设备可以手动运行或者可以具有用于对滑移进行驱动的电驱动设备(例如具有马达、传动机构或往复活塞)。操作设备例如可以具有杠杆系统或者由其构成。台架102例如可以设置为滑块。这改善了台架102的可滑移的支承。
72.台架102的槽形实现了：将膨胀提106的由于压力变化导致的膨胀引向装配侧101a的方向并且因此引向传热壁104。如果膨胀体106是独立的空心体，例如可以进行密封性检测。密封性检测可以包括：为膨胀体106e输送用于密封性检测的检测气体(例如氦气)。
73.图9示出了用于运行根据不同实施方式的调温设备100的方法的不同示意图，即一个侧视图901和一个横剖视图903。
74.所述方法可以包括：在900a中将调温设备100和需调温处理的构件502组合在一起。组合在一起例如可以包括：将需调温处理的构件502设置在装配侧101a上和/或使其与台架102实体接触。组合在一起例如可以包括：将构件502的凸出部506置入台架102的凹深部中。构件502的凸出部506例如可以具有空隙506a(也称为紧固空隙506a)，紧固设备102b的枢轴606被接纳在该空隙中。
75.紧固空隙506a例如可以沿着弯曲或成角度的路径延伸进入凸出部506。这实现了：构件502的凸出部506具有钩状的形状锁合轮廓506h。
76.在此明晰示出了组合件的解锁位置。横梁506完全插入并且例如位于枢轴606上、台架102的边棱上以及可选的支承件上。
77.所述方法可以包括：在900b中例如借助操作紧固设备将构件502紧固在台架102上。紧固设备的操作例如可以包括：使枢轴606相对构件502的凸出部506转移，使得枢轴606到达钩状的形状锁合轮廓506h后面(也称为紧固900b)。相应地以相反的顺序将构件502从
台架102上松脱(明确地讲：解锁)。
78.作为构件502紧固在台架102上的结果，阻止了构件502远离台架102的运动(就是说，它们彼此紧固在一起)。不言而喻地，也可以通过其它方式提供这样的形状锁合机构。当然，作为枢轴606的替代方案或者补充方案，也可以将构件502与台架螺纹连接、悬挂在该台架中或者将它们以其它方式彼此紧固在一起。
79.枢轴606相对凸出部506的转移例如可以包括：使台架102(如果该台架可滑移地支承)滑移、例如沿着方向103，台架102的凹深部和/或台架102本身沿着该方向纵向延伸。
80.台架102的转移例如可以包括：借助杠杆系统使台架102转移运动。当使台架102转移时，传热壁104(例如铜绞合线)可以在空间上与构件502(例如反溅射平面)分离，以实现台架102的低阻力运动。
81.图10示出了一种用于运行根据不同实施方式的调温设备100的方法的不同的示意图、即侧视图1001和横剖视图1003。
82.所述方法可以包括：在1000a中将传热壁104与构件502例如通过以下方式组合在一起，即，使它们相互物理接触。该方法可选地可以包括在1000b中将传热壁104压靠在构件502上。
83.所述方法可以包括：在1000a和1000b中改变变换器106所经受的压力(也称为压力变化)。压力变化可以包括：膨胀体106e内部的压力(也称为内部压力)增大。可选地或补充地，压力变化可以包括：变换器106外部的压力(也称为外部压力)减小。
84.例如，调温设备100可以设置在真空室802中(参见图11)，该真空室被抽真空，以降低外部压力。内部压力例如在开始时则可以是大气压力并且随着膨胀而下降。压力变化实现了：外部压力小于内部压力。膨胀体106e在此将压力传递器106u和/或调温处理体204抬起、例如直到传热壁104与构件502物理接触和/或压靠在该构件上为止。
85.1000b中的另外的压力变化可以使构件502例如移离台架102、例如直到形状锁合轮廓506h与枢轴物理接触和/或压靠在该枢轴上为止。借助形状锁合轮廓506h明显阻止了构件502远离台架102的运动。
86.根据不同的实施方式，调温处理体204(例如其传热壁104)与构件502接触的面(也称为热传递接触面)可以小于膨胀体106e产生力的面(也称为挤压面)。这实现了：将热传递接触面压靠在构件上的压力尽可能大。例如，在真空室802的抽空状态中，施加在膨胀体106e上的压差可以大于约1千帕(例如大于约10千帕)和/或最大约100千帕(kpa)。
87.然后由这个压差与挤压面积的乘积得出挤压力。以类似的方式，由挤压力与热传递接触面积的值的商得出热传递接触面上的压力(也称为压紧力)。若挤压面的膨胀23例如约为85mm(毫米)并且热传递接触面的与其平行的膨胀24例如约为40mm，那么在压差为100kpa的情况下产生223kpa的压紧力。通过类似的方式也可以实现其它的压力转化比(压紧力/压差)，或者可以使用其它类型的压力传递器，以实现大于1的压力转化比。
88.压力转化比越大，可能的应用范围就越多样化。例如，压力转化比实现了：在膨胀体106e(例如压力软管)的内部可以存在大气压力或更低，因而不一定需要用于产生大的内部压力的泵。然而不言而喻地，泵也可以与膨胀体106e已经或将要联接(例如与其内部压力接口)，用以增大所述内部压力和/或控制所述压紧力。
89.更通俗地说，可以操控执行机构，用以实现、控制和/或调节压力变化。例如，第一
泵可以作为执行机构而与内部压力接口822联接。替代或补充地，第二泵可以作为执行机构与真空室802的内部联接。
90.根据不同的实施方式，借助膨胀体106e(例如压力软管)提供了：在整个纵向延伸上实现均匀的压紧力。
91.在示范性的实例中，可以借助柔性的膨胀体106e、例如由橡胶或硅树脂构成的软管将接触载荷引到调温处理体204下部。膨胀体106e在过程环境中可以无压力状态下组装并构成独立的体积。通过将真空室802抽真空产生压差，该压差将调温处理体204压靠在构件502(例如锁定的屏蔽片)上。
92.图11示出了根据不同的实施方式的真空组件1100的示意性侧视图或横剖视图。
93.真空组件1100可以具有真空室802和调温设备100。调温设备100可以至少部分地、例如至少其传热壁104、其台架和/或其变换器106可以设置在真空室802中。
94.真空组件1100可以具有热源1102(例如涂层设备)，该热源在运行中释放热能、例如热辐射。装配侧101a可以面向热源1102。在此涉及涂层设备作为示范性的热源1102。该涂层设备可以设置为，提供用于为基材涂层的涂层材料，并且可以在提供涂层材料时释放热功率。不言而喻地，对涂层设备1102的说明内容类似地可以适用于任何其它的、不一定非要提供涂层材料的热源。
95.涂层设备1102例如可以设置为，例如借助等离子体进行物理气相沉积。例如可以借助等离子体将涂层材料雾化(也称为溅射)。等离子体在此可以释放热辐射。
96.装配侧101a可以面向涂层设备1102。例如，涂层设备1102可以设置为，向着调温设备100的方向喷射涂层材料并且伴随该涂层材料喷射热的功率(也称为热功率)。
97.如果应该在真空室802中运输基材(未示出)，那么真空组件1100还可以具有运输设备，该运输设备具有多个运输辊812。所述运输设备可以设置为，沿着运输路径1111运输需涂层的基材、例如经过涂层设备1102旁边和/或在真空室802中。运输路径1111例如可以在调温设备100与涂层设备1102之间延伸。
98.所述运输设备例如可以具有许多运输辊812，这些运输辊设置用于运输板状的基材。例如可以以平放在运输辊812上和/或插入基材支架(未示出)中的方式运输板状的基材。板状的基材例如可以具有晶片或其它半导体基材。
99.替代地，运输设备可以具有退绕辊和卷绕辊，它们设置为，沿着从退绕辊到卷绕辊的运输路径1111缠绕带状的基材。可选地，运输设备可以具有多个导向辊，这些导向辊设置为，使运输路径1111一次或多次转向，使得经过涂层设备1102旁边运输基材。带状的基材(带状基材)可以包括膜、无纺布、带材和/或织物或者由其构成。
100.需调温处理的构件502可以与传热壁104物理联接和/或热联接。需调温处理的构件502例如可以具有屏蔽设备502或者由其构成，该屏蔽设备提供所谓的反溅射平面。在此主要涉及的是屏蔽设备作为示范性的构件502。不言而喻地，对屏蔽设备的说明内容类似地可以适用于任何其它需调温处理的、但不一定需要提供屏蔽功能的构件502。
101.屏蔽设备例如可以已经或者将被设置在运输路径1111与调温设备100之间。
102.屏蔽设备502可以具有一个或一个以上的板和/或一个或一个以上的片材或者由其构成。此外，屏蔽设备可以具有附加紧固设备(也称为配合紧固设备)，该附加紧固设备与调温设备100的紧固设备相对应(可与其耦联)。配合紧固设备例如可以具有横梁506，该横
梁具有多个挂钩或其它钩状的形状锁合轮廓506h。
103.调温设备100和/或屏蔽设备502可以设置在运输设备的两个运输辊812之间。这实现了：保护各运输辊812之间的空间免受涂层材料的影响，这是因为该涂层材料积聚在屏蔽设备502上。
104.替代地或补充地，屏蔽设备502可以具有一个或一个以上的通孔，运输设备的一个运输辊812穿过该通孔延伸(未示出)。这实现了：保护运输设备免受涂层材料的影响，因为该涂层材料积聚在屏蔽设备502上。
105.调温设备100由此通过如下方式实现了对屏蔽设备502的冷却，即，借助调温设备100的流体将热能从屏蔽设备502中抽出。如果屏蔽设备502受到涂层材料的严重污染，那么可以将该屏蔽设备与调温设备100的断联，从而可以将屏蔽设备502作为整体更换。
106.真空组件1100例如可以具有流体供应件1804，该流体供应件至少部分设置在真空室802之外。流体供应件1804可以与两个流体接口108a、108b联接。流体供应件1804例如可以具有泵，用于驱动流体经由两个流体接口108a、108b流过空腔111。流体供应件1804例如可以具有流体容器，流体设置在该流体容器中。流体供应件1804例如可以具有补偿容器，流体设置在该补偿容器中。
107.根据不同的实施方式，真空组件1100可以具有泵系统804(其具有至少一个真空泵、例如高真空泵如涡轮分子泵)。真空室802为了提供负压或真空而可以与泵系统804(例如输送气体地)联接并且稳固地设置，使得该真空室经受得住抽空状态中空气压力的作用。真空室802在封闭的情况中可以已经设置为或者被设置为例如气密的、防尘的和/或真空密封的。泵系统804能够实现的是：将气体的一部分从处理室内部泵出并且因此降低作用到变换器106上的外部压力。
108.根据不同的实施方式，真空组件1100可以具有气体输送系统1716(例如其具有一个或一个以上的通入真空室中的气体通道)。借助气体输送系统1716可以为真空室801输送过程气体，以构成真空室802中的过程气压。作用到变换器106上的外部压力可以由过程气体的平衡产生，该过程气体借助气体输送系统1716输送并且借助泵系统804抽出。
109.根据不同的实施方式，真空室802可以设置为，在其内可以提供约10mbar至约1mbar的范围内的压力(该压力例如是外部压力)(换言之：低真空)或更小，例如约1mbar至约10-3
mbar的范围内的压力(换言之：中度真空)或更小，例如一个约10-3
mbar至约10-7
mbar的范围内的压力(换言之：高真空)或更小，例如小于高真空的压力、例如小于约10-7
mbar。
110.下面对涉及前述说明内容和在附图中示出的内容的不同实例进行说明。
111.实例1是调温设备，其具有：台架，该台架具有用于将需调温处理的构件紧固在台架的一侧上的紧固设备；面向所述侧的(例如可导热的)传热壁，其用于与构件交换热能；与传热壁接界的空腔；两个流体接口(例如冷却流体接口)，这些流体接口借助空腔相互输送流体地联接；机械式的变换器，该变换器设置为，作为对所述机械式的变换器所经受的压力变化的响应(例如通过变换器的体积变化)在台架与传热壁之间传递力，该力例如将传热壁从台架上推离和/或从台架中挤出。
112.实例1是调温设备，其具有：槽形的台架，该台架具有紧固设备，该紧固设备用于将需调温处理的构件紧固在台架的开放侧；面向所述侧的(例如可导热的)传热壁，该传热壁用于与构件交换热能，该传热壁设置在台架中；与传热壁接界的空腔；两个流体接口(例如
冷却流体接口)，这些流体接口通过空腔相互输送流体地联接；机械式的变换器，该变换器设置为，作为对该机械式的变换器所经受的压力变化的响应(例如通过变换器的体积变化)将传热壁从台架中挤出。
113.实例2是根据实例1或1的调温设备，其中，传热壁具有可导热的材料或者由其构成，该可导热的材料例如具有金属或者由其构成。
114.实例3是根据实例1至2之一的调温设备，其中，所述台架具有与所述侧对置的区段，其中，所述机械式的变换器设置在该区段与传热壁之间，和/或所述机械式的变换器将该区段与传热壁相互耦联。
115.实例4是根据实例1至3之一的调温设备，其中，所述变换器设置为，借助力将传热壁从台架中挤出。
116.实例5是根据实例1至4之一的调温设备，其中，所述机械式的变换器设置为，作为对所述机械式的变换器所经受的流体压力变化的响应，在台架与传热壁之间传递一个力或者挤压传热壁。
117.实例6是根据实例1至5之一的调温设备，其中，所述台架是槽形的(例如具有凹深部，传热壁设置在该凹深部中)。例如，变换器可以设置为，借助力将传热壁从槽形的台架中挤出。
118.实例7是根据实例1至6之一的调温设备，其还具有两个柔性的流体管路(例如软管)，其中每个流体管路将两个流体接口的冷却流体接口与空腔输送流体地联接。
119.实例8是根据实例1至7之一的调温设备，其还具有空心体，该空心体具有空腔并且例如与机械式的变换器的内部分离。
120.实例9是根据实例1至8之一的调温设备，其中，传热壁相对台架可运动地支承，使得借助所述机械式的变换器传递的力促使传热壁相对台架运动、例如向着所述侧或远离所述侧。
121.实例10是根据实例1至9之一的调温设备，其中，所述机械式的变换器具有空心体，该空心体例如提供膨胀体。
122.实例11是根据实例1至10之一的调温设备，其还具有：内部压力接口，该内部压力接口与机械式的变换器(例如其空心体)的内部输送流体地联接。
123.实例12是根据实例1至11之一的调温设备，其还具有：执行机构，该执行机构设置为，作为对操控(例如具有一个或一个以上的泵的)执行机构的响应，例如通过如下方式实现机械式的变换器所经受的压力变化，即，将流体输送给机械式的变换器的内部和/或从中抽出。
124.实例13是根据实例12的调温设备，其还具有：控制设备，该控制设备设置为操控执行机构、例如基于代表所述力的特性值。
125.实例14是根据实例1至13之一的调温设备，其中，所述机械式的变换器具有弹性体或者由其构成。
126.实例15是根据实例1至14之一的调温设备，其中，所述机械式的变换器(例如其空心体)设置为，使得所述压力变化导致该机械式的变换器的体积变化。
127.实例16是根据实例1至15之一的调温设备，其中，所述紧固设备和/或台架(例如借助支承设备)(例如相对传热壁)可运动地支承、例如在第一状态与第二状态之间。
128.实例17是根据实例1至16之一的调温设备，其中，紧固设备设置为：从第一状态进入第二状态，这建立了构件与台架的耦联；和从第二状态进入第一状态，这解除了构件与台架的耦联(也称为断联)。
129.实例18是根据实例1至17之一的调温设备，其还具有操作设备，该操作设备设置为，例如通过以下方式使紧固设备从第一状态进入第二状态和从第二状态进入第一状态，即，例如借助操作设备使台架转移。
130.实例19是根据实例1至18之一的调温设备，其中，紧固设备具有一个滑块和/或多个形状锁合轮廓用于紧固构件。
131.实例20是真空组件，其具有：真空室；根据实例1至19之一的调温设备，该调温设备的传热壁设置在所述真空室中；可选的涂层设备，该涂层设备设置为，向传热壁喷射涂层材料或者至少将涂层材料喷射到传热壁所面向的涂层区域中；可选的运输设备，该运输设备设置为，将基材运输经过传热壁旁边和/或经过涂层设备旁边和/或在涂层区域中运输基材；可选的流体供应件，该流体供应件设置为，给调温设备的空腔输送流体和/或从中抽出流体(例如提供流体循环系统)。
132.实例21是根据实例20的真空组件，其还具有用于在真空室中对基材进行处理的处理组件(例如具有涂层设备和/或运输设备)，该处理组件例如具有需调温处理的构件；其中，处理组件例如设置为，在对基材进行处理时给构件输送热能；其中，需调温处理的构件例如是涂层设备的组成部分；其中，需调温处理的构件例如是运输设备的组成部分。
133.实例22是根据实例21的真空组件，其具有屏蔽设备，该屏蔽设备具有需调温处理的构件(例如屏蔽壁)并且在真空室中设置在所述侧，其中，所述屏蔽设备例如设置在涂层设备与传热壁之间；其中，所述屏蔽设备例如设置在涂覆区域与传热壁之间；其中，所述屏蔽设备例如与传热壁实体接触。
134.实例23是根据实例22的真空组件，其中，所述屏蔽设备具有附加台架，该附加台架保持需调温处理的构件；和/或所述需调温处理的构件具有屏蔽壁或者由其构成；和/或所述屏蔽设备或至少需调温处理的构件能够相对调温设备运动，例如当传热壁位置固定地设置在真空室中时。