调温设备和真空组件的制作方法

技术特征：
1.调温设备(100)，其特征在于：所述调温设备具有：
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台架(102)，该台架具有用于将需调温处理的构件紧固在该台架(102)的一侧(101a)的紧固设备(102b)；
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面向所述侧(101a)的传热壁(104)，该传热壁用于与所述构件交换热能；
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与所述传热壁(104)接界的空腔(111)；
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两个流体接口(108a，108b)，这些流体接口借助所述空腔(111)相互输送流体地联接；
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机械式的变换器(106)，该变换器设置为，作为对该机械式的变换器(106)所经受的压力变化的响应，在所述台架(102)与所述传热壁(104)之间传递力。2.根据权利要求1所述的调温设备(100)，其特征在于：所述传热壁(104)具有可导热的材料或者由其构成。3.根据权利要求1或2所述的调温设备(100)，其特征在于：所述台架(102)具有区段(102a)，该区段与所述侧(101a)相对置，其中，所述机械式的变换器(106)将所述区段(102a)与所述传热壁(104)相互耦联。4.根据权利要求1或2所述的调温设备(100)，其特征在于：所述台架(102)是槽形的，其中，所述变换器(106)设置为，借助所述力将所述传热壁(104)从槽形的台架(102)中挤出。5.根据权利要求1或2所述的调温设备(100)，其特征在于：所述调温设备还具有：两个柔性的流体管路，其中每个流体管路将所述两个流体接口(108a，108b)中的冷却流体接口与所述空腔(111)输送流体地联接。6.根据权利要求1或2所述的调温设备(100)，其特征在于：所述传热壁(104)相对所述台架(102)可运动地支承，使得借助所述机械式的变换器(106)传递的力实现所述传热壁(104)相对所述台架(102)的运动。7.根据权利要求1或2所述的调温设备(100)，其特征在于：所述调温设备还具有内部压力接口，该内部压力接口与所述机械式的变换器(106)的内部输送流体地联接。8.根据权利要求1或2所述的调温设备(100)，其特征在于：所述机械式的变换器(106)具有弹性体或者由其构成。9.根据权利要求1或2所述的调温设备(100)，其特征在于：所述机械式的变换器(106)设置为，使得所述压力变化导致该机械式的变换器(106)的体积变化。10.真空组件(1100)，其特征在于：所述真空组件具有：
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真空室(802)，和
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根据权利要求1或2所述的调温设备(100)，该调温设备的传热壁(104)设置在所述真空室(802)中。

技术总结
根据不同的实施方式，调温设备可以具有：台架(102)，该台架具有用于将需调温处理的构件紧固在台架(102)的一侧(101a)的紧固设备(102b)；面向所述侧(101a)的传热壁(104)，其用于与构件交换热能；与传热壁(104)接界的空腔(111)；两个流体接口(108a，108b)，它们借助空腔(111)相互输送流体地联接；机械式的变换器(106)，该变换器设置为，作为对该机械式的变换器(106)所经受的压力变化的响应，在台架(102)与传热壁(104)之间传递力。与传热壁(104)之间传递力。与传热壁(104)之间传递力。


技术研发人员：约亨
受保护的技术使用者：冯
技术研发日：2021.09.02
技术公布日：2022/3/4