安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构的制作方法

1.本实用新型涉及一种换盖结构，具体涉及一种安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构。


背景技术：

2.半导体轻工业制造中，工装具有不同的工艺，而针对不同工艺，有些工装又有对应不同的换盖方式，如何进行盖板的高效率更换，是提高生产效率的一种重要方式。
3.现有的较为常见的换盖方式：
4.其一为人工换盖方式。
5.1）将产品放入载具上板机，进行载具夹装；
6.2）将装有载具的产品从上板机取出，放入工艺主机进行工艺作业；
7.3）将完成工艺作业的产品从主机中取出；
8.4）将产品放入载具下板机，进行载具拆除；
9.5）将产品再次放入载具上板机，进行另一种盖板的夹装；
10.6）将带有新盖板的产品放入另一个工艺主机中进行作业；
11.7）将完成作业的产品取出，放入下板机，进行载具拆除；
12.不难发现，人工更换费时费力，步骤较多，效率十分低下。
13.其二为自动换盖方式。
14.这种方式可实现免人工全自动的换盖，一般都为双独立头工作，相较于第一种而言，效率提高，但是由于双独立头之间存在一定的工作逻辑顺序，效率不高，且具有一定的安全风险。


技术实现要素：

15.本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的换盖效率低、安全性不高的缺陷，提供一种安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构。
16.本实用新型提供如下技术方案：
17.安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构，包括整列气缸、旧盖板放置区、新盖板放置区、耦合式双吸取头、作业工位和流道，所述耦合式双吸取头包括旧盖板拆取头和新盖板吸取头，所述旧盖板拆取头一侧为旧盖板放置区，所述新盖板吸取头一侧为新盖板放置区，所述旧盖板拆取头和新盖板吸取头相对设置，所述流道内推入有载具，所述流道与作业工位衔接，所述作业工位设置在旧盖板放置区和新盖板放置区之间，所述整列气缸用于载具的整列定位。
18.进一步的，所述旧盖拆取头包括拆取头和固定在拆取头下方的夹爪。
19.进一步的，所述新盖板吸取头包括吸取头和固定在吸取头下方的吸嘴。
20.进一步的，所述作业工位处设置真空吸着平台。
21.进一步的，所述整列气缸有多个，作业工位处和新盖板放置区处均设置有整列气
缸。
22.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
23.通过耦合式双吸取头，一个吸头负责旧盖板拆除，一个吸头负责新盖板添加，互不干涉的情况下轮流作业,耦合式双吸取头之间可进行同时吸取动作，因此换盖速度大大提高，且双头之间不存在相撞的风险，安全性较高。通过耦合双吸取头的工作方式，提高换盖速度、安全性与生产效率。
附图说明
24.图1为本实用新型结构示意图。
25.图2为本实用新型耦合拾取头结构示意图。
26.图3为本实用新型流道图。
27.图中：1、整列气缸；2、旧盖板放置区；3、新盖板放置区；4、作业工位；5、流道；6、旧盖板拆取头，61、拆取头，62、夹爪；7、新盖板吸取头，71、吸取头，72、吸嘴；8、真空吸着平台。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.请参阅图1
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3，本实用新型的一种安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构，包括整列气缸1、旧盖板放置区2、新盖板放置区3、耦合式双吸取头、作业工位4和流道5，耦合式双吸取头包括旧盖板拆取头6和新盖板吸取头7，旧盖板拆取头6一侧为旧盖板放置区2，新盖板吸取头7一侧为新盖板放置区3，旧盖板拆取头6和新盖板吸取头7相对设置，流道5内推入有载具，流道5与作业工位8衔接，作业工位8设置在旧盖板放置区2和新盖板放置区3之间，整列气缸1用于载具的整列定位。通过耦合式双吸取头，一个吸头负责旧盖板拆除，一个吸头负责新盖板添加，互不干涉的情况下轮流作业，达到盖板的更新。
30.图2所示，旧盖拆取头6包括拆取头61和固定在拆取头下方的夹爪62。方便旧盖板的拆除。新盖板吸取头7包括吸取头71和固定在吸取头下方的吸嘴72。方便新盖板的吸取。
31.作业工位4处设置真空吸着平台8。保证在拆除盖板的时候，盖板下的基板不产生偏移。
32.整列气缸1有多个，作业工位4处和新盖板放置区3处均设置有整列气缸。
33.工作过程：
34.1、载具推出流入流道5，载具再流入作业工位4，并通过整列气缸进行载具的整列定位。同时新盖板放置区3内盖板组进行抬升，抬升至高点限位停止抬升，并进行整列定位。
35.2、旧盖板拆取头6移动到作业工位4上方，下降拆取头，进行夹爪62收紧，随后提升将盖板取走。同时，新盖板吸取头7从新盖板放置区3中取出盖板。
36.3、在拆除盖板的同时，真空吸着平台8进行真空吸着，保证在拆除盖板的时候，基板不产生偏移。
37.4、随后拆取头将拆除下来的旧盖板移动至旧盖板放置区2上方，放入旧盖板放置
区2内。同时新盖板吸取头7将新的盖板放置于除去旧盖板的载具上，并压在载具上，完成盖板更换。
38.通过耦合的方式，实现了旧盖板与新盖板的同时吸取与同时放置，具备更高的安全性，稳定性，避免了双吸取头之间的碰撞风险，具有更高的换盖效率；提高了设备的安全性。
39.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构，其特征在于：包括整列气缸（1）、旧盖板放置区（2）、新盖板放置区（3）、耦合式双吸取头、作业工位（4）和流道（5），所述耦合式双吸取头包括旧盖板拆取头（6）和新盖板吸取头（7），所述旧盖板拆取头（6）一侧为旧盖板放置区（2），所述新盖板吸取头（7）一侧为新盖板放置区（3），所述旧盖板拆取头（6）和新盖板吸取头（7）相对设置，所述流道（5）内推入有载具，所述流道（5）与作业工位（4）衔接，所述作业工位（4）设置在旧盖板放置区（2）和新盖板放置区（3）之间，所述整列气缸（1）用于载具的整列定位。2.根据权利要求1所述的安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构，其特征在于：所述旧盖板拆取头（6）包括拆取头（61）和固定在拆取头下方的夹爪（62）。3.根据权利要求1所述的安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构，其特征在于：所述新盖板吸取头（7）包括吸取头（71）和固定在吸取头下方的吸嘴（72）。4.根据权利要求1所述的安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构，其特征在于：所述作业工位（4）处设置真空吸着平台（8）。5.根据权利要求1所述的安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构，其特征在于：所述整列气缸（1）有多个，作业工位（4）处和新盖板放置区（3）处均设置有整列气缸。

技术总结
本实用新型公开了一种安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构，包括整列气缸、旧盖板放置区、新盖板放置区、耦合式双吸取头、作业工位和流道，耦合式双吸取头包括旧盖板拆取头和新盖板吸取头，旧盖板拆取头一侧为旧盖板放置区，新盖板吸取头一侧为新盖板放置区，旧盖板拆取头和新盖板吸取头相对设置，流道内推入有载具，流道与作业工位衔接，作业工位设置在旧盖板放置区和新盖板放置区之间，整列气缸用于载具的整列定位。耦合式双吸取头之间可进行同时吸取动作，因此换盖速度大大提高，且双头之间不存在相撞的风险，安全性较高。通过耦合双吸取头的工作方式，提高换盖速度、安全性与生产效率。产效率。产效率。


技术研发人员：梁猛 林海涛 赵凯 倪海铨 杨滨炜
受保护的技术使用者：上海世禹精密机械有限公司
技术研发日：2021.04.30
技术公布日：2021/12/7