一种研磨硅片用的夹持装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种研磨硅片用的夹持装置。


背景技术：

2.将硅棒加工成硅片后，硅片上会产生不规则的形状，为了不影响后续加工的质量，要将该不规则边去除，此时则需要使用到研磨装置来对硅片的表面进行研磨。
3.在对硅片进行研磨时，为了防止硅片的位置发生移动，需要使用到夹持装置来对硅片进行夹持固定，传统方式中主要将硅片放置到一个与硅片形状相匹配的圆槽内来对硅片的位置进行限位固定，通过这种方式，虽然便于对硅片进行固定，但由于硅片位于圆槽的内部，会使得研磨之后的硅片不便于从圆槽的内部取出，为此我们提出了一种研磨硅片用的夹持装置。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种研磨硅片用的夹持装置，具备便于对硅片的位置进行夹持固定，还便于将硅片从圆槽的内部取出的优点，解决了上述背景技术中所提出的问题。
6.(二)技术方案
7.本实用新型提供如下技术方案：一种研磨硅片用的夹持装置，包括后底板，所述后底板正面的左侧活动连接有固定板，所述后底板正面的右侧活动连接有活动板，所述固定板的顶部和底部均固定连接有固定块，所述活动板的顶部和底部均固定连接有滑动环，两个所述固定块的右侧均固定连接有滑杆，两个所述滑动环分别与两个滑杆的侧表面滑动连接，所述滑杆远离固定块的一端固定连接有侧板。
8.所述固定板和活动板的正面均固定连接有夹持盘，所述滑杆的侧表面套接有伸缩弹簧，所述后底板的正面通过转动轴转动连接有转动板，所述转动板位于活动板与侧板之间，所述转动轴的侧表面固定连接有转动拨杆，所述转动拨杆的一端固定连接有转动把手，所述夹持盘的内部开设有圆形槽。
9.优选的，所述伸缩弹簧的一端与固定块的一侧固定连接，所述伸缩弹簧的另一端与滑动环的一侧固定连接。
10.优选的，所述转动轴与后底板的内部转动连接，所述转动板的内部与转动轴的侧表面固定连接。
11.优选的，所述后底板的一侧固定连接有定位块，所述定位块的内部开设有定位槽。
12.优选的，所述转动拨杆的内部活动插接有定位杆，所述定位杆的大小与定位槽相匹配，所述定位杆的一端固定连接有拉把。
13.优选的，所述后底板的正面开设弧形限位槽，所述转动拨杆的后侧通过滑块与弧形限位槽的内部活动连接。
14.与现有技术相比，本实用新型提供了一种研磨硅片用的夹持装置，具备以下有益效果：
15.1、该研磨硅片用的夹持装置，将需要研磨的硅片放置到夹持盘内部的圆形槽内，然后旋转转动把手，通过转动拨杆带动转动轴旋转，使得转动板旋转，转动板在旋转时，其两侧会对活动板和侧板产生挤压，使得固定板和活动板向相对的一侧移动，使得两个圆形槽相互靠近，通过圆形槽对其内部的硅片进行夹持固定，进而便于对固定之后的硅片进行研磨。
16.2、该研磨硅片用的夹持装置，通过设置有弧形限位槽，转动拨杆的后侧通过滑块与弧形限位槽的内部滑动连接，通过弧形限位槽的作用可以对转动拨杆的位置进行导向限位，然后通过设置有定位块、定位槽、定位杆和拉把，当圆形槽对硅片进行夹持固定之后，将定位杆穿过转动拨杆并插接到定位槽的内部，可以对转动拨杆的位置进行限位固定，使得夹持盘和圆形槽的位置得到固定，从而便于通过圆形槽对硅片的位置进行固定。
附图说明
17.图1为本实用新型结构示意图；
18.图2为本实用新型夹持盘结构示意图；
19.图3为本实用新型定位杆结构示意图。
20.其中：1、后底板；2、固定板；3、活动板；4、固定块；5、滑杆；6、侧板；7、夹持盘；8、伸缩弹簧；9、转动轴；10、转动板；11、转动拨杆；12、转动把手；13、定位块；14、定位槽；15、定位杆；16、拉把；17、弧形限位槽；18、圆形槽；19、滑动环。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1
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3，一种研磨硅片用的夹持装置，包括后底板1，后底板1正面的左侧活动连接有固定板2，后底板1正面的右侧活动连接有活动板3，固定板2的顶部和底部均固定连接有固定块4，活动板3的顶部和底部均固定连接有滑动环19，两个固定块4的右侧均固定连接有滑杆5，两个滑动环19分别与两个滑杆5的侧表面滑动连接，滑杆5远离固定块4的一端固定连接有侧板6。
23.固定板2和活动板3的正面均固定连接有夹持盘7，滑杆5的侧表面套接有伸缩弹簧8，伸缩弹簧8的一端与固定块4的一侧固定连接，伸缩弹簧8的另一端与滑动环19的一侧固定连接，通过伸缩弹簧8的弹力作用，当松开转动把手12之后可以推动固定块4和滑动环19向两侧移动，然后带动固定板2和活动板3向两侧移动，使得两个夹持盘7和圆形槽18相互分离，分离之后再便于将研磨之后的硅片取出，后底板1的正面通过转动轴9转动连接有转动板10，转动轴9与后底板1的内部转动连接，转动板10的内部与转动轴9的侧表面固定连接，转动板位于活动板3与侧板6之间，转动轴9的侧表面固定连接有转动拨杆11，转动拨杆11的一端固定连接有转动把手12，后底板1的一侧固定连接有定位块13，定位块13的内部开设有
定位槽14，转动拨杆11的内部活动插接有定位杆15，定位杆15的大小与定位槽14相匹配，定位杆15的一端固定连接有拉把16，后底板1的正面开设弧形限位槽17，转动拨杆11的后侧通过滑块与弧形限位槽17的内部活动连接，转动拨杆11在转动的过程中，其后侧通过滑块在弧形限位槽17的内部移动，夹持盘7的内部开设有圆形槽18，硅片可以放置在圆形槽18的内部进行限位固定，通过设置有定位块13、定位槽14、定位杆15和拉把16，当圆形槽18对硅片进行夹持固定之后，将定位杆15穿过转动拨杆11并插接到定位槽14的内部，可以对转动拨杆11的位置进行限位固定，使得夹持盘7和圆形槽18的位置得到固定，从而便于通过圆形槽18对硅片的位置进行固定。
24.在使用时，将需要研磨的硅片放置到夹持盘7内部的圆形槽18内，然后旋转转动把手12，通过转动拨杆11带动转动轴9旋转，使得转动板10旋转，转动板10在旋转时，其两侧会对活动板3和侧板6产生挤压，使得固定板2和活动板3向相对的一侧移动，使得两个夹持盘7和圆形槽18相互靠近，通过圆形槽18对其内部的硅片进行夹持固定，当圆形槽18对硅片进行夹持固定之后，将定位杆15穿过转动拨杆11并插接到定位槽14的内部，可以对转动拨杆11的位置进行限位固定，使得夹持盘7和圆形槽18的位置得到固定，进而便于对固定之后的硅片进行研磨。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。