一种研磨硅片用的夹持装置的制作方法

技术特征：
1.一种研磨硅片用的夹持装置，包括后底板(1)，其特征在于：所述后底板(1)正面的左侧活动连接有固定板(2)，所述后底板(1)正面的右侧活动连接有活动板(3)，所述固定板(2)的顶部和底部均固定连接有固定块(4)，所述活动板(3)的顶部和底部均固定连接有滑动环(19)，两个所述固定块(4)的右侧均固定连接有滑杆(5)，两个所述滑动环(19)分别与两个滑杆(5)的侧表面滑动连接，所述滑杆(5)远离固定块(4)的一端固定连接有侧板(6)；所述固定板(2)和活动板(3)的正面均固定连接有夹持盘(7)，所述滑杆(5)的侧表面套接有伸缩弹簧(8)，所述后底板(1)的正面通过转动轴(9)转动连接有转动板(10)，所述转动板位于活动板(3)与侧板(6)之间，所述转动轴(9)的侧表面固定连接有转动拨杆(11)，所述转动拨杆(11)的一端固定连接有转动把手(12)，所述夹持盘(7)的内部开设有圆形槽(18)。2.根据权利要求1所述的一种研磨硅片用的夹持装置，其特征在于：所述伸缩弹簧(8)的一端与固定块(4)的一侧固定连接，所述伸缩弹簧(8)的另一端与滑动环(19)的一侧固定连接。3.根据权利要求1所述的一种研磨硅片用的夹持装置，其特征在于：所述转动轴(9)与后底板(1)的内部转动连接，所述转动板(10)的内部与转动轴(9)的侧表面固定连接。4.根据权利要求1所述的一种研磨硅片用的夹持装置，其特征在于：所述后底板(1)的一侧固定连接有定位块(13)，所述定位块(13)的内部开设有定位槽(14)。5.根据权利要求4所述的一种研磨硅片用的夹持装置，其特征在于：所述转动拨杆(11)的内部活动插接有定位杆(15)，所述定位杆(15)的大小与定位槽(14)相匹配，所述定位杆(15)的一端固定连接有拉把(16)。6.根据权利要求1所述的一种研磨硅片用的夹持装置，其特征在于：所述后底板(1)的正面开设弧形限位槽(17)，所述转动拨杆(11)的后侧通过滑块与弧形限位槽(17)的内部活动连接。

技术总结
本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种研磨硅片用的夹持装置，包括后底板，所述后底板正面的左侧活动连接有固定板，所述后底板正面的右侧活动连接有活动板，所述固定板的顶部和底部均固定连接有固定块，所述活动板的顶部和底部均固定连接有滑动环，两个所述固定块的右侧均固定连接有滑杆。该研磨硅片用的夹持装置，将需要研磨的硅片放置到夹持盘内部的圆形槽内，然后旋转转动把手，通过转动拨杆带动转动轴旋转，使得转动板旋转，转动板在旋转时，其两侧会对活动板和侧板产生挤压，使得固定板和活动板向相对的一侧移动，使得两个圆形槽相互靠近，通过圆形槽对其内部的硅片进行夹持固定，进而便于对固定之后的硅片进行研磨。磨。磨。


技术研发人员：祝凯
受保护的技术使用者：开化晶芯电子有限公司
技术研发日：2021.01.08
技术公布日：2021/11/30