一种耐事故包壳Cr/CrN复合涂层的制备方法与流程

技术特征：
1.一种耐事故包壳cr/crn复合涂层的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤1，基底前处理：对基底表面和侧面的氧化层进行打磨，然后进行超声清洗处理；步骤2，制备涂层：将经过前处理后的基底进行磁控溅射处理，在基底的两面镀上cr/crn的复合涂层；其中，磁控溅射的靶材为cr靶，溅射气为由ar和n2组成的混合气，磁控溅射过程中ar在混合气中占比依次为100％、90％、80％和70％。2.根据权利要求1所述的一种耐事故包壳cr/crn复合涂层的制备方法，其特征在于，所述的步骤1中打磨的操作过程为：将线切割后的样品依次使用100目、400目、1200目和2000目的砂纸进行打磨。3.根据权利要求1所述的一种耐事故包壳cr/crn复合涂层的制备方法，其特征在于，所述的步骤1中超声清洗的操作过程为：依次使用丙酮、无水乙醇和去离子水反复超声清洗3次，最后在70℃条件下干燥1h。4.根据权利要求1所述的一种耐事故包壳cr/crn复合涂层的制备方法，其特征在于，所述的步骤2中磁控溅射处理条件为：基底与cr靶的间距为10cm～30cm，工作气压为5
×
10
‑4pa～1
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10
‑3pa，磁控溅射功率为100w～250w，气体总流速为10sccm～30sccm，溅射气压为0.5pa～1pa，样品台转速为10r/min～50r/min，沉积时间为1h～5h。5.根据权利要求4所述的一种耐事故包壳cr/crn复合涂层的制备方法，其特征在于，所述的步骤2中磁控溅射处理条件为：基底与铬靶的间距为10cm，工作气压为5
×
10
‑4pa，磁控溅射功率为200w，气体总流速为20sccm，溅射气压为0.5pa，样品台转速为20r/min，沉积时间为2h。6.根据权利要求5所述的一种耐事故包壳cr/crn复合涂层的制备方法，其特征在于，从磁控溅射开始，0min～30min，ar在混合气中占比为100％；30min～60min，ar在混合气中占比为90％；60min～90min，ar在混合气中占比为80％；90min～120min，ar在混合气中占比为70％。7.根据权利要求1所述的一种耐事故包壳cr/crn复合涂层的制备方法，其特征在于，所述的cr靶纯度为99.95％，尺寸为8.根据权利要求1所述的一种耐事故包壳cr/crn复合涂层的制备方法，其特征在于，所述的溅射气ar纯度为99.99％，溅射气n2纯度为99.99％。9.根据权利要求1所述的一种在锆包壳上制备具有高温抗氧化性能的铬涂层的方法，其特征在于，所述的基底为zr
‑
4合金板材。

技术总结
本发明公开了一种耐事故包壳Cr/CrN复合涂层的制备方法，属于功能材料制备技术领域。本发明利用梯度反应磁控溅射技术，首先在Zr


技术研发人员：李杨 李召峰 洪杨 吴晓宏 卢松涛
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
技术研发日：2021.07.30
技术公布日：2021/11/23