真空载台和装载设备的制作方法

1.本实用新型涉及激光加工技术领域，特别涉及一种真空载台和应用该真空载台的装载设备。


背景技术：

2.在激光加工领域中，通常需要用到装载设备对待加工的工件进行承载，装载设备通常包括机座和安装于机座的真空载台，由于工件形态的不同，真空载台也会根据其承载工件的不同而具有不同的形态。在更换真空载台的过程中，由于真空载台的真空回路不兼容，使得真空载台与机座的连接过程较为繁琐。


技术实现要素：

3.本实用新型提供一种真空载台，使载台主体与机座的连接操作简单。
4.本实用新型提出的真空载台，所述真空载台连接于机座，所述真空载台包括：
5.载台主体，所述载台主体具有真空腔，所述载台主体设有连通所述真空腔的吸附孔，以及连通所述真空腔的过气孔，所述真空载台连接于所述机座时，所述机座罩盖所述过气孔；和
6.气路转换器，所述气路转换器连接于所述载台主体，并位于所述机座的外侧，所述气路转换器设有气路通道，以及连通所述气路通道的第一气孔和第二气孔，所述过气孔可连通所述第一气孔。
7.可选地，所述载台主体具有相分隔的至少两个真空腔，所述吸附孔为至少两个，每个所述真空腔连通至少一个所述吸附孔，所述过气孔为至少两个，每个所述真空腔连通至少一所述过气孔；
8.所述气路转换器设有至少两个所述气路通道，以及至少两个所述第一气孔和至少两个所述第二气孔，每个所述气路通道连通至少一所述第一气孔和至少一所述第二气孔。
9.可选地，所述过气孔为至少两个，至少两个所述过气孔于所述载台主体间隔分布，所述第一气孔为至少两个，每个所述过气孔可对应连通一所述第一气孔。
10.可选地，所述载台主体凸设形成支撑部，所述真空载台连接于所述机座时，所述机座由所述支撑部止挡。
11.可选地，所述载台主体包括载台面板和载台底板，所述载台面板连接所述载台底板围合形成所述真空腔；
12.所述载台面板开设有所述吸附孔，所述载台底板连接所述机座，所述载台底板开设有所述过气孔，所述气路转换器连接于所述载台底板。
13.本实用新型还提出一种装载设备，所述装载设备包括机座和真空载台；
14.所述真空载台连接于机座，所述真空载台包括：
15.载台主体，所述载台主体具有真空腔，所述载台主体设有连通所述真空腔的吸附孔，以及连通所述真空腔的过气孔，所述真空载台连接于所述机座时，所述机座罩盖所述过
气孔；和
16.气路转换器，所述气路转换器连接于所述载台主体，并位于所述机座的外侧，所述气路转换器设有气路通道，以及连通所述气路通道的第一气孔和第二气孔，所述过气孔可连通所述第一气孔。
17.可选地，所述机座包括主体座以及设于所述主体座的锁持部和承载部；
18.所述真空载台包括设于所述载台主体的连接件，所述连接件可拆卸地连接所述锁持部，所述载台主体由所述承载部止挡。
19.可选地，所述锁持部包括连接所述主体座的锁持主体，所述锁持主体设有定位孔，所述连接件插接于所述定位孔，并于所述定位孔内由所述锁持主体锁持，所述载台主体由所述锁持主体和所述承载部共同止挡。
20.可选地，所述锁持主体设有气动锁紧机构以及连通所述气动锁紧机构的第一进气管和第二进气管；
21.气体由所述第一进气管进入所述气动锁紧机构，所述气动锁紧机构于所述定位孔内锁持所述连接件；气体由所述第二进气管进入所述气动锁紧机构，所述气动锁紧机构松开所述连接件。
22.可选地，所述主体座包括安装架和安装板，以及连接所述安装架和所述安装板的多个调节件，所述锁持部和所述承载部设于所述安装板。
23.本实用新型技术方案的真空载台设有气路转换器，连通真空腔的过气孔能够连通气路转换器上的第一气孔，且气路转换器上的第二气孔通过气路通道与第一气孔相连通，该气路转换器位于机座的外侧，当需要对真空载台上的真空腔进行抽真空时，可先通过管道或其他方式将过气孔与第一气孔相连通，再将真空载台连接于机座，由于该管道的两端均已连接固定，不会对真空载台与机座的连接造成干扰，使得真空载台与机座的连接操作简单易行。可在真空载台与机座连接后再将抽真空设备通过管道连通第二气孔。真空腔内的空气经过气孔、第一气孔和第二气孔由真空设备抽出，使真空腔处于负压状态，工件能够由吸附孔吸附于载台主体。
附图说明
24.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
25.图1为本实用新型装载设备一实施例的结构示意图；
26.图2为图1中装载设备另一视角的结构示意图；
27.图3为本实用新型真空载台一实施例的结构示意图；
28.图4为图1中装载设备的机座的机构示意图。
29.附图标号说明：
[0030][0031][0032]
本实用新型的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0033]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0034]
需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0035]
另外，在本实用新型中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
[0036]
参见图1和图2，本实用新型提供一种真空载台10以及装载设备100。装载设备100包括该真空载台10和机座30，真空载台10可拆卸地连接于机座30。当真空载台10连接于机座30后，可以将需要加工的工件200连接于真空载台10，以对工件200进行相应地加工。当需要根据不同的工件200对真空载台10进行更换时，可将不使用的真空载台于机座30上拆卸下来，再将需要使用的真空载台10安装于机座30上，将工件200安装于该需要使用的真空载台10上。
[0037]
进一步结合图3，本实用新型实施例中，真空载台10包括载台主体11和气路转换器13。载台主体11具有真空腔(未图示)，载台主体11设有连通真空腔的吸附孔1111，以及连通真空腔的过气孔1131，真空载台10连接于机座30时，机座30罩盖过气孔1131。
[0038]
气路转换器13连接于载台主体11，并位于机座30的外侧，气路转换器13设有气路通道(未图示)，以及连通气路通道的第一气孔133和第二气孔135，过气孔1131可通过气管或其他结构连通第一气孔133。
[0039]
若真空载台10未设置气路转换器13，则需要将通过管道将过气孔1131与抽真空设备相连通，而真空载台10在连接机座30后，真空载台10上的过气孔1131由机座30罩盖，不便于管道与过气孔1131的连接，若在将真空载台10连接于机座30之前，通过管道将过气孔1131与抽真空设备相连接，则该管道会对真空载台10的安装过程造成干扰，对真空设备与机座30的连接带来不便。
[0040]
本实用新型技术方案的真空载台10设有气路转换器13，连通真空腔的过气孔1131能够连通气路转换器13上的第一气孔133，且气路转换器13上的第二气孔135通过气路通道与第一气孔133相连通，该气路转换器13位于机座30的外侧，当需要对真空载台10上的真空腔进行抽真空时，可先通过管道或其他方式将过气孔1131与第一气孔133相连通，再将真空载台10连接于机座30，由于该管道的两端均已连接固定，不会对真空载台10与机座30的连接造成干扰，使得真空载台10与机座30的连接操作简单易行。可在真空载台10与机座30连接后再将抽真空设备通过管道连通第二气孔135。真空腔内的空气经过气孔1131、第一气孔133和第二气孔135由真空设备抽出，使真空腔处于负压状态，工件200能够由吸附孔1111吸附于载台主体11。
[0041]
由于载台主体11上的气路转换器13位于机座30的外侧，在更换真空载台10之前，可通过管道将过气孔1131和第一气孔133相连通，再将真空载台10与机座30相连接，对真空腔进行抽真空的真空回路由气路转换器13转接至机座30的外侧，可以在将真空载台10连接机座30后，再通过管道连接第二气孔135和抽真空设备，该连接抽真空设备的管道不会干扰真空载台10的安装，使得真空载台10与机座30的连接更加方便。
[0042]
针对不同的工件200，真空载台10的结构可以不同，真空载台10的载台主体11可以仅具有一个真空腔，该载台主体11上可以设有一个吸附孔1111、两个或两个以上的多个吸附孔1111，通过该一个、两个或多个吸附孔1111对工件200进行吸附，使得工件200能够有效的连接于真空载台10。
[0043]
除了上述实施例外，载台主体11还可以具有相分隔的至少两个真空腔，吸附孔1111为至少两个，每个真空腔连通至少一个吸附孔1111。可以理解地，当载台主体11具有两个或两个以上的真空腔时，通过与不同的真空腔相连通的吸附孔1111可以对不同的工件200进行吸附，使得该真空载台10可以同时吸附两个或两个以上的工件200，能够同时对两个或两个以上的工件200进行加工。每个真空腔均可以对应连通一个、两个或多个吸附孔1111，以对不同的工件200进行吸附。当利用多个吸附孔1111对同一个工件200进行吸附时，可以使该工件200于载台主体11上连接更加平稳，加工过程中工件200的稳定性更好。
[0044]
当载台主体11具有至少两个真空腔时，过气孔1131为至少两个，每个真空腔连通至少一过气孔1131，通过管道将过气孔1131与抽真空装置相连通，启动抽真空装置，能够对真空腔进行抽真空操作。本实用新型技术方案中通过设置气路转换器13对过气孔1131与抽
真空装置之间进行转接，该气路转换器13设有至少两个气路通道，以及至少两个第一气孔133和至少两个第二气孔135，每个气路通道连通至少一第一气孔133和至少一第二气孔135。当载台主体11具有一个真空腔时，气路转换器13中的气路通道可以仅为一个；当载台主体11具有两个真空腔时，气路转换器13中的气路通道为两个，且该两个气路通道相互隔开；当载台主体11具有两个以上的真空腔时，气路转换器13中的气路通道为两个以上，且该两个以上的气路通道相互隔开。每个气路通道分别具有与其连通的第一气孔133和第二气孔135，每个真空腔所对应连通的过气孔1131可通过管道连通一个气路通道的第一气孔133，每个气路通道的第二气孔135可分别与相应地抽真空装置相连通，通过启动不同的抽真空装置能够对不同的真空腔进行抽真空操作，则可以分别控制不同的真空腔所对应吸附孔1111对不同的工件200进行吸附。
[0045]
当真空载台10具有一个真空腔时，过气孔1131可以为至少两个，至少两个过气孔1131于载台主体11间隔分布，第一气孔133为至少两个，每个过气孔1131可对应连通一第一气孔133。该实施例中，抽真空装置在对该真空腔进行抽真空过程中，至少两个过气孔1131均连通该真空腔，能使得该真空腔内的空气能够经至少两个过气孔1131流出，流动过程更加均匀，使得真空载台10对工件200吸附的过程中吸附过程更加平稳，工件200的平整性更好、连接效果更好，加工过程中工件200的成型质量更好。
[0046]
当真空载台10具有两个或两个以上的真空腔时，每个真空腔所对应的过气孔1131也可以为至少两个，以使每个真空腔所对应吸附的工件200均能达到良好的吸附效果。
[0047]
如图3所示的实施例中，载台主体11具有相分隔的两个真空腔，载台主体11设有六个过气孔1131，其中三个过气孔1131连通一真空腔，且该三个过气孔1131于载台主体11上间隔分布；其中另三个过气孔1131连通另一真空腔，且该三个过气孔1131于载台主体11上间隔分布。相应地，该实施例中，气路转换器13设有两个相分隔的气路通道，每个气路通道具有三个第一气孔133和一个第二气孔135，每个气路通道所对应的三个第一气孔133可分别连通一个真空腔所对应的三个过气孔1131。该实施例中，将抽真空装置通过管道连通气路转换器13的一个第二过气孔1131，能够对一个真空腔进行抽真空处理，将抽真空装置通过管道连通气路转换器13的另一个第二过气孔1131，能够对另一个真空腔进行抽真空处理；或者，通过两个管道将气路转换器13上的两个第二气孔135分别连通两个抽真空设备，两个抽真空设备能够分别对两个真空腔进行抽真空处理。
[0048]
可以理解地，真空载台10还可以包括过气管接头(未标示)，该过气管接头的数量与过气孔1131的数量一致，过气管接头连接载台主体11，一个过气管接头对应连通一过气孔1131。设置该过气管接头可以方便地将管道与该过气管接头相连接，从而使管道与过气孔1131相连通。该过气管接头可以与载台主体11为一体结构，也可以通过密封连接的方式连接于载台主体11。
[0049]
气路转换器13可以包括转换器主体131，转换器主体131连接于载台主体11，该转换器主体131内设有一个或多个相隔开的气路通道，转换器主体131设有连通相应地气路通道的第一气孔133和第二气孔135。可以理解地，该气路转换器13还可以包括第一管接头和第二管接头，第一管接头的数量与第一气孔133的数量一致，第二管接头的数量与第二气孔135的数量一致，第一管接头和第二管接头均连接转换器主体131，每个第一管接头连通一第一气孔133，每个第二管接头连通一第二气孔135。该第一管接头和第二管接头可以与转
换器主体131为一体结构，也可以通过密封连接的方式连接于转换器主体131。设置该第一管接头可以方便地将管道与该第一管接头相连接，从而使管道与第一气孔133相连通，将管道的一端连接过气管接头，另一端连接第一管接头，能够方便、快捷地将过气孔1131和第一气孔133相连通。设置该第二管接头可以方便地将管道与该第二管接头相连接，从而使管道与第二气孔135相连通，将管道的一端连接第二管接头，另一端连接抽真空装置，能够方便、快捷地利用抽真空装置对真空腔进行抽真空处理。
[0050]
本实用新型实施例中，载台主体11上还可以凸设形成支撑部15，真空载台10连接于机座30时，机座30由支撑部15止挡。该支撑部15的设置，使得机座30与载台主体11间可形成空隙，该空隙可以允许连通过气孔1131和第一气孔133的管道经过，而不会影响该管道的通气效果，使得应用该真空载台10的装载设备100可靠性更高。
[0051]
该支撑部15可以为多个，多个支撑部15间隔设置，使得连接于机座30上的真空载台10平稳性更好。开设于载台主体11的过气孔1131可位于相邻两支撑部15之间，该支撑部15为与过气孔1131相连通的管道提供安装空间，载台主体11应用过程中更加可靠。
[0052]
载台主体11可以包括载台面板111和载台底板113，载台面板111连接载台底板113围合形成真空腔；载台面板111开设有吸附孔1111，载台底板113连接机座30，载台底板113开设有过气孔1131，气路转换器13连接于载台底板113。
[0053]
具体地，载台面板111具有背对载台底板113的连接面，吸附孔1111贯穿该连接面，工件200的一表面与该连接面相对接，并由连接面上的吸附孔1111进行吸附。连接面也可以凹设形成连接槽，吸附孔1111可贯穿于该连接槽的槽底壁，工件200可以限位于连接槽内，并由吸附孔1111进行吸附，该结构上的连接槽能够对工件200进行限位，使工件200于真空载台10上对位更加准确。
[0054]
载台底板113具有背对载台面板111的安装面，安装面具有安装区和非安装区，支撑部15和过气孔1131均位于安装区，连接于载台底板113的机座30罩盖于安装区，非安装区位于安装区的外侧，气路转换器13连接于该非安装区，以便对位于安装区的过气孔1131进行转接，便于该过气孔1131与抽真空装置相连通。
[0055]
本实用新型还提出一种装载设备100，装载设备100包括机座30和真空载台10。该真空载台10的具体结构参照上述实施例，由于本装载设备100采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
[0056]
结合图4，机座30可以包括主体座31以及设于主体座31的锁持部33和承载部35；
[0057]
真空载台10包括设于载台主体11的连接件17，连接件17可拆卸地连接锁持部33，载台主体11由承载部35进行止挡。
[0058]
真空载台10连接于机座30的过程中，真空载台10上的连接件17对应连接于机座30上的锁持部33，该过程中，机座30上的锁持部33不仅能够对真空载台10进行定位，还能对真空载台10进行连接，保证真空载台10与机座30对位准确，且在对真空载台10上的工件200进行加工的过程中，真空载台10的位置能够保持不变。
[0059]
机座30上进一步设置有承载部35，在锁持部33对载台主体11进行对位连接的过程中，该承载部35能够对载台主体11进行止挡，不仅能为锁持部33分担一部分载台主体11的重量，还能保证机座30对真空载台10的支撑效果更加平稳，使得真空载台10于机座30上连
接稳固。
[0060]
该锁持部33和承载部35均可以为两个或两个以上，真空载台10上设有的连接件17与锁持部33的数量一致，每个连接件17与一锁持部33对应连接，以使真空载台10与机座30的连接效果更好，真空载台10的平稳性更高。
[0061]
锁持部33与承载部35可以于机座30上间隔均匀分布，即，相邻两锁持部33间设有一承载部35。锁持部33与承载部35还可以沿机座30的周向间隔设置。该锁持部33与承载部35相配合使用，能够在节省锁持部33的数量的情况下，保证真空载台10与机座30的定位和连接的有效性。
[0062]
如图4所示，当机座30用于设置锁持部33和承载部35的表面为方形时，两个锁持部33分别位于该机座30的两个对角，两个承载部35分别位于该机座30的另两个对角，使得真空载台10于机座30连接效果平稳。
[0063]
锁持部33包括连接主体座31的锁持主体333，锁持主体333设有定位孔331，连接件17插接于定位孔331，并于定位孔331内由锁持主体333锁持，载台主体11由锁持主体333和承载部35共同止挡。本实用新型技术方案中，锁持部33不仅能与承载部35共同对真空载台10进行承载，还能提供对连接件17进行对位连接的定位孔331，该锁持部33还能进一步对插接于定位孔331内的连接件17进行锁持，使得真空载台10不仅与机座30对位准确，且连接方便，连接效果牢固。
[0064]
锁持主体333设有气动锁紧机构(未图示)以及连通气动锁紧机构的第一进气管335和第二进气管337；气体由第一进气管335进入气动锁紧机构，气动锁紧机构于定位孔331内锁持连接件17；气体由第二进气管337进入气动锁紧机构，气动锁紧机构松开连接件17。需要说明的是，附图中标记的第一进气管335和第二进气管337位置也可以互换。
[0065]
锁持部33实现的锁持功能可以由气动锁紧机构实现，该气动锁紧机构可以为夹紧气缸，第一进气管335和第二进气管337分别连通夹紧气缸的有杆腔和无杆腔，由第一进气管335通入正压气体时，可驱动夹紧气缸的活塞杆进行运动，对连接件17进行夹持；由第二进气管337通入正压气体时，可驱动夹紧气体的活塞杆反向运动，以松开连接件17。
[0066]
连接件17上还可以进一步设置有卡槽，连接件17插接于定位孔331后，连接件17上的卡槽位于定位孔331内，锁持部33于定位孔331内锁持于连接件17的卡槽处，该卡槽能够防止连接件17反向脱出，进一步保证真空载台10与机座30的连接锁紧效果。
[0067]
本实用新型技术方案中，锁持部33与连接件17可以分别为零点定位系统的夹头和拉钉，该锁持部33和连接件17共同组成零点定位系统。将零点定位系统的夹头固定于机座30，并保证承载部35背离机座30的表面与夹头背离机座30的表面相平齐，两者保持在同一水平面上，连接件17可以设置于载台主体11的支撑部15上，以保证拉钉插接于定位孔331时夹头与相对应的支撑部15相接触或抵接，承载部35与相对应的支撑部15相接触或抵接。采用零点定位系统的装载设备100能够保证真空载台10与机座30连接过程便捷，且真空载台10于机座30定位准确，能够实现对真空载台10的快速更换。
[0068]
该主体座31还可以进一步包括安装架313和安装板311，以及连接安装架313和安装板311的多个调节件37(如图2所示)，锁持部33和承载部35设于安装板311。
[0069]
该调节件37可以固定于安装架313，并可调节地连接安装板311；也可以为，调节件37固定于安装板311，并可调节地连接安装架313；还可以为，调节件37可调节地连接安装板
311，且可调节地连接安装架313。通过对每个调节件37进行调节可以调整安装板311于安装架313上的水平度。该调节件37可以为调节螺钉，多个调节螺钉间隔均匀设置，不仅能起到连接安装板311和安装架313的作用，还能调节安装板311与安装架313之间的间距，当需要对真空载台10的水平度进行调节时，可以对该多个调节螺钉进行调整，使得真空载台10的水平度达到所需要求。
[0070]
本实用新型技术方案中，抽真空装置可以为真空发生器，该真空发生器可以设置于机座30，通过管道连接真空发生器和气路转换器13上的第二气孔135，直接对机座30进行操作，即可控制真空发生器对真空载台10的真空腔进行抽真空处理。
[0071]
机座30上还设有连通真空腔的真空压力表39，该真空压力表39用于监测真空腔的负压值。装载设备100的真空回路包括真空腔、气路转换器13内的气路通道以及连通真空腔和气路转换器13的管道。该真空压力表39可以连通于真空回路的任意位置，该真空压力表39可以连通气路转换器13的气路通道。
[0072]
如图2和图4所示的实施例中，真空载台10设有两个真空腔，则该真空压力表39可以为两个，每个真空压力表39对应监测一真空腔内的负压值，以确保真空载台10上的吸附孔1111对工件200吸附的可靠性。
[0073]
以上所述仅为本实用新型的可选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。