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一种带有排气阀的化学镀装置的制作方法

2021-11-17 19:12:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及一种化学镀装置,尤其是一种带有排气阀的化学镀装置。


背景技术:

2.现有化学镀装置为了实现镀液搅拌均匀目的,采用在化学镀槽底部通入氮气的方法,当氮气在镀液中排出的时候带动镀液翻动形成搅拌。虽然这种方法成功实现了搅拌,但是由于槽底铺设的气体管路出口少,且出气量大,形成很大的气泡,气泡在接近镀件表面通过的机会较大。当气泡在镀件表面通过时对镀件表面附近的镀液扰动剧烈,沉积反应受到影响,可能会造成镀膜不均匀,产品质量不合格。


技术实现要素:

3.本实用新型目的就是提供一种可以实现均匀搅拌镀液,而不会造成镀膜不均匀的化学镀装置。
4.为实现上述目的,本实用新型采用下述技术方案:
5.一种带有排气阀的化学镀装置,所述装置包括加热槽、化学镀槽、筛板、排气阀、下盖板、气阀、通气管路,所述加热槽内盛加热介质,用于给化学镀槽加热,所述化学镀槽内有支撑结构用于支撑筛板,筛板下方有固定隔板,固定隔板将镀槽分成上下两部分,镀槽底部与下盖板密封联接形成镀槽下部的气室,所述固定隔板上开分布均匀的小孔,小孔内固定排气阀,气室与通气管路连接,所述通气管路上安装气阀控制气体通断。
6.所述的一种带有排气阀的化学镀装置,进一步的,所述筛板与固定隔板的距离为 1~10cm。
7.所述的一种带有排气阀的化学镀装置,进一步的,所述固定隔板与下盖板的距离为 1~10cm。
8.所述的一种带有排气阀的化学镀装置,进一步的,所述排气阀的高度为2~10cm,排气阀的分布密度为每平方分米1~4个。
9.所述的一种带有排气阀的化学镀装置,进一步的,所述下盖板与镀槽用固定件联接密封,可拆卸清理。
10.本实用新型提供的一种带有排气阀的化学镀装置,将镀件放置在筛板上进行化学镀,反应时用通气管路通入惰性气体,气体进入气室,当气室气压达到一定程度后压开排气阀排气,排气阀分布密集,所排气体在镀液中形成小气泡,对镀件表面镀液扰动较小且均匀流动,沉积材料可在镀件表面形成均匀镀膜。
附图说明
11.图1是本实用新型提供的一种带有排气阀的化学镀装置结构示意图。
12.图2是本实用新型提供的一种带有排气阀的化学镀装置剖视图。
13.图中:
14.1、加热槽,2、化学镀槽,3、筛板,4、排气阀,5、下盖板,6、气阀,7、通气管路
具体实施方式
15.下面结合附图给出的实施例对本实用新型作进一步说明。
16.参见图1、图2,带有排气阀的化学镀装置包括加热槽1、化学镀槽2、筛板3、排气阀 4、下盖板5、气阀6、通气管路7,加热槽1内盛加热介质,用于给化学镀槽2加热,化学镀槽2内有支撑结构用于支撑筛板3,化学镀时镀件放置在筛板3上,筛板3下方有固定隔板,两者之间的距离为5cm,固定隔板将镀槽分成上下两部分,镀槽底部与下盖板5用固定件密封联接形成镀槽下部的气室,下盖板5可拆卸清理,固定隔板与下盖板5的距离为 5cm,固定隔板上开分布均匀的小孔,开孔密度为每平方分米1个,小孔内固定排气阀4,排气阀4的高度为5cm,所述排气阀4在气室气压较大时向上排气,气室气压较小时排气阀关闭并阻止镀液通过,气室与通气管路7连接,通气管路7上安装气阀6控制气体通断。
17.最后应说明的是,以上实施例仅用于说明本实用新型的技术方案而非限制,凡对本实用新型的技术方案所做的等效修改或者等同替换,只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围,均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。


技术特征:
1.一种带有排气阀的化学镀装置,所述装置包括加热槽、化学镀槽、筛板、排气阀、下盖板、气阀、通气管路,所述加热槽内盛加热介质,用于给化学镀槽加热,其特征在于:所述化学镀槽内有支撑结构用于支撑筛板,筛板下方有固定隔板,固定隔板将镀槽分成上下两部分,镀槽底部与下盖板密封联接形成镀槽下部的气室,所述固定隔板上开分布均匀的小孔,小孔内固定排气阀,气室与通气管路连接,所述通气管路上安装气阀控制气体通断。2.根据权利要求1所述的一种带有排气阀的化学镀装置,其特征在于:所述筛板与固定隔板的距离为1~10cm。3.根据权利要求1所述的一种带有排气阀的化学镀装置,其特征在于:所述固定隔板与下盖板的距离为1~10cm。4.根据权利要求1所述的一种带有排气阀的化学镀装置,其特征在于:所述排气阀的高度为2~10cm,排气阀的分布密度为每平方分米1~4个。5.根据权利要求1所述的一种带有排气阀的化学镀装置,其特征在于:所述下盖板与镀槽用固定件联接密封,可拆卸清理。

技术总结
本实用新型公开了一种带有排气阀的化学镀装置,包括加热槽、化学镀槽、筛板、排气阀、下盖板、气阀、通气管路,所述加热槽内盛加热介质,用于给化学镀槽加热,所述化学镀槽内有支撑结构用于支撑筛板,筛板下方有固定隔板,固定隔板将镀槽分成上下两部分,镀槽底部与下盖板密封联接形成镀槽下部的气室,所述固定隔板上开分布均匀的小孔,小孔内固定排气阀。本实用新型结构简单,操作方便,排气阀分布密集,所排气体在镀液中形成小气泡,对镀件表面镀液扰动较小,有益于化学镀的镀膜均匀性。有益于化学镀的镀膜均匀性。有益于化学镀的镀膜均匀性。


技术研发人员:金会义 徐晓萍 卜路霞 张淑娟 石军
受保护的技术使用者:天津农学院
技术研发日:2021.01.11
技术公布日:2021/11/16
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