一种磁控溅射真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种磁控溅射真空镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、mbe分子束外延和pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
3.目前现有的磁控溅射真空镀膜机一般存在着不便于使用的缺点，传统的磁控溅射真空镀膜机其自动化程度较低，一般为固定式夹具，在固定好零件后，无法灵活进行旋转，导致喷涂效率低下，效果也不够理想，不能更好的满足人们的使用需求，故而提出一种磁控溅射真空镀膜机来解决上述所提出的问题。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种磁控溅射真空镀膜机，具备便于使用等优点，解决了目前现有的磁控溅射真空镀膜机一般存在着不便于使用的缺点，传统的磁控溅射真空镀膜机其自动化程度较低，一般为固定式夹具，在固定好零件后，无法灵活进行旋转，导致喷涂效率低下，效果也不够理想，不能更好的满足人们使用需求的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述便于使用的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种磁控溅射真空镀膜机，包括底座，所述底座的顶部固定安装有设备外壳，所述底座顶部的右侧固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴固定安装有蜗杆，所述设备外壳的右侧壁活动安装有转杆，所述转杆的外侧固定安装有一端与蜗杆相啮合的蜗轮，所述转杆的左侧固定安装有转动架，所述设备外壳的左侧活动安装有拉杆，所述拉杆的右侧固定安装有推环，所述拉杆的外侧固定安装有挤压弹簧，所述推环的右侧活动安装有限位架，所述设备外壳右侧的顶部固定安装有第二电机，所述第二电机的输出轴固定安装有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧活动安装有移动块，所述移动块的底部固定安装有磁控喷射头，所述移动块的顶部固定安装有滑动板，所述设备外壳的内顶壁固定安装有滑轨，所述设备外壳左侧的底部固定安装有电推杆，所述电推杆的输出轴固定安装有推板。
8.优选的，所述推环的右侧固定安装有连接轴承，且推环通过连接轴承与限位架活动连接，所述拉杆的左侧固定安装有把手。
9.优选的，所述推板呈l字型，所述移动块的右侧开设有螺纹孔，且螺纹孔与螺纹杆
相适配。
10.优选的，所述滑轨的底部开设有滑槽，且滑槽与滑动板相适配，所述推板的底部固定安装有毛刷。
11.优选的，所述拉杆与推环呈九十度垂直安装，所述第二电机与第一电机的外侧均固定安装有连接座。
12.优选的，所述设备外壳的左侧开设有穿孔，且穿孔与拉杆相适配，所述设备外壳的右侧活动安装有转动套轴，且设备外壳通过转动套轴与转杆活动连接。
13.(三)有益效果
14.与现有技术相比，本实用新型提供了一种磁控溅射真空镀膜机，具备以下有益效果：
15.该磁控溅射真空镀膜机，通过设置拉杆，当需要进行镀膜喷涂时，首先将杆状零件置于限位架和转动架之间，通过左拉拉杆，由推环推动挤压弹簧被压缩，通过挤压弹簧所产生的挤压回弹，使得零件被固定，接着将第二电机打开，使螺纹杆转动，由于在移动块内开设有与之相适配的螺纹孔，并通过滑动板和滑轨的配合使得移动块无法转动，在螺纹杆的推动下，移动块左右移动，带动磁控喷射头左右移动，即可对下端的零件喷涂，在喷涂过程中，将第一电机启动，使蜗杆转动，通过啮合带动蜗轮旋转，使得转杆转动，从而带动转动架转动，使得零件可以旋转，配合控喷射头的左右移动喷涂，使得零件的表面可以快速覆盖，不仅喷涂效率非常高，同时，其喷涂效果也得到了有效的提高，使得装置可以更好的满足人们的使用需求。
附图说明
16.图1为本实用新型结构示意图；
17.图2为本实用新型图1中a处放大图。
18.图中：1拉杆、2电推杆、3推板、4底座、5转动架、6转杆、7第一电机、8蜗轮、9蜗杆、10第二电机、11设备外壳、12滑轨、13螺纹杆、14磁控喷射头、15滑动板、16移动块、17推环、18限位架、19挤压弹簧。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1
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2，一种磁控溅射真空镀膜机，包括底座4，底座4的顶部固定安装有设备外壳11，设备外壳11的左侧开设有穿孔，且穿孔与拉杆1相适配，设备外壳11的右侧活动安装有转动套轴，且设备外壳11通过转动套轴与转杆6活动连接，底座4顶部的右侧固定安装有第一电机7，第一电机7的输出轴固定安装有蜗杆9，设备外壳11的右侧壁活动安装有转杆6，转杆6的外侧固定安装有一端与蜗杆9相啮合的蜗轮8，转杆6的左侧固定安装有转动架5，设备外壳11的左侧活动安装有拉杆1，通过设置拉杆1，当需要进行镀膜喷涂时，首先将杆状零件置于限位架18和转动架5之间，通过左拉拉杆1，由推环17推动挤压弹簧19被压缩，通
过挤压弹簧19所产生的挤压回弹，使得零件被固定，接着将第二电机10打开，使螺纹杆13转动，由于在移动块16内开设有与之相适配的螺纹孔，并通过滑动板15和滑轨12的配合使得移动块16无法转动，在螺纹杆13的推动下，移动块16左右移动，带动磁控喷射头14左右移动，即可对下端的零件喷涂，在喷涂过程中，将第一电机7启动，使蜗杆9转动，通过啮合带动蜗轮8旋转，使得转杆6转动，从而带动转动架5转动，使得零件可以旋转，配合控喷射头14的左右移动喷涂，使得零件的表面可以快速覆盖，不仅喷涂效率非常高，同时，其喷涂效果也得到了有效的提高，使得装置可以更好的满足人们的使用需求，拉杆1与推环17呈九十度垂直安装，第二电机10与第一电机7的外侧均固定安装有连接座，拉杆1的右侧固定安装有推环17，推环17的右侧固定安装有连接轴承，且推环17通过连接轴承与限位架18活动连接，拉杆1的左侧固定安装有把手，拉杆1的外侧固定安装有挤压弹簧19，推环17的右侧活动安装有限位架18，设备外壳11右侧的顶部固定安装有第二电机10，第二电机10的输出轴固定安装有螺纹杆13，螺纹杆13的外侧活动安装有移动块16，移动块16的底部固定安装有磁控喷射头14，移动块16的顶部固定安装有滑动板15，设备外壳11的内顶壁固定安装有滑轨12，滑轨12的底部开设有滑槽，且滑槽与滑动板15相适配，推板3的底部固定安装有毛刷，通过设置毛刷，将电推杆2启动，使推板3左右滑动，即可推动毛刷对设备外壳11下端进行清理，使得装置使用更加方便，设备外壳11左侧的底部固定安装有电推杆2，电推杆2的输出轴固定安装有推板3，推板3呈l字型，移动块16的右侧开设有螺纹孔，且螺纹孔与螺纹杆13相适配。
21.综上所述，该磁控溅射真空镀膜机，通过设置拉杆1，当需要进行镀膜喷涂时，首先将杆状零件置于限位架18和转动架5之间，通过左拉拉杆1，由推环17推动挤压弹簧19被压缩，通过挤压弹簧19所产生的挤压回弹，使得零件被固定，接着将第二电机10打开，使螺纹杆13转动，由于在移动块16内开设有与之相适配的螺纹孔，并通过滑动板15和滑轨12的配合使得移动块16无法转动，在螺纹杆13的推动下，移动块16左右移动，带动磁控喷射头14左右移动，即可对下端的零件喷涂，在喷涂过程中，将第一电机7启动，使蜗杆9转动，通过啮合带动蜗轮8旋转，使得转杆6转动，从而带动转动架5转动，使得零件可以旋转，配合控喷射头14的左右移动喷涂，使得零件的表面可以快速覆盖，不仅喷涂效率非常高，同时，其喷涂效果也得到了有效的提高，使得装置可以更好的满足人们的使用需求，解决了目前现有的磁控溅射真空镀膜机一般存在着不便于使用的缺点，传统的磁控溅射真空镀膜机其自动化程度较低，一般为固定式夹具，在固定好零件后，无法灵活进行旋转，导致喷涂效率低下，效果也不够理想，不能更好的满足人们使用需求的问题。
22.需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。