存货式生产经图案化的透明导电层的制作方法

1.本公开涉及电化学器件及其形成方法。


背景技术：

2.电化学器件可包括电致变色叠堆，其中透明导电层用于为叠堆运作提供电连接。电致变色(ec)器件利用的材料能够响应于所施加的电位在电化学氧化和还原后可逆地改变其光学性质。光学调制是在电化学材料晶格中同时插入和提取电子及电荷补偿离子的结果。
3.电致变色器件的进步寻求器件具有更快和更均匀的转换速度，同时在制造过程中保持产出量。
4.因此，在制造电致变色器件中，寻求进一步的改善。
附图说明
5.图1是根据一个实施例的电致变色器件的示意性截面图。
6.图2a至图2g是根据本公开的实施方式在制造的各个阶段的电化学法的示意性截面图。
7.图3是描绘根据本公开的实施方式而用于形成电化学器件的程序的流程图。
8.图4a至图4b是根据各种实施例的透明导电层的俯视图的示意图。
9.图5是根据本公开的实施方式的隔热玻璃单元(insulated glazing unit)的示意图。
10.图6是各种样品的保持电压(holding voltage)的图。
11.技术人员理解附图中的元件是为简化和清楚明确而描绘且不一定按比例绘制。例如，附图中的某些元件的尺寸可能相对于其他元件被放大，以帮助改善对本发明的实施方式的理解。
具体实施方式
12.以下说明结合附图，用以辅助理解本文所公开的教导内容。以下讨论将着重于特定实施方式和教导内容的实施。其焦点用于辅助描述教导内容，并且不应将其解释为对本技术中公开教导内容的范围或应用性的限制。
13.如本文中所使用，用语“包含/包括(comprises/comprising/includes/including)”、“具有(has/having)”或其任何其他变体，旨在涵盖非排除性含括(non
‑
exclusive inclusion)。例如，包含一系列特征的程序、方法、制品或装置不一定仅限于这些特征，而是可包括未明确列出或此程序、方法、制品或装置固有的其他特征。进一步地，除非有相反的明确提及，否则“或(or)”是指包含性的或(inclusive
‑
or)而非排他性的或(exclusive
‑
or)。例如，条件a或b满足下列中的任一者：a为真(或存在)且b为假(或不存在)、a为假(或不存在)且b为真(或存在)、以及a和b均为真(或存在)。
[0014]“一(a/an)”用以描述本文中所述的元件和组件。这仅是为方便起见且为给出本发明范围的一般含义。除非是明确意指其他含义，否则此描述应该被理解为包括一者或至少一者及单数也包括复数，或反之亦然。
[0015]
词语“约(about)”、“大约(approximately)”或“实质上(substantially)”的使用是意指参数的数值接近所述的数值或位置。但是，细微的差异可能会导致数值或位置不完全符合所述。
[0016]
包括总线、孔、孔洞等的经图案化的特征可具有宽度、深度或厚度、及长度，其中长度大于宽度及深度或厚度。如在本说明书中所使用，直径是圆的宽度，短轴是椭圆的宽度。
[0017]“阻抗参数(impedance parameter)”是电化学器件的有效电阻(即欧姆电阻和电化学电抗的组合效果)的测量值，是在5x 5cm器件上当5mv至50mv直流偏压施加于所述器件时于
‑
20℃环境中在2log(freq/hz)下测量所得。测量合成电流，并在100hz至6mhz范围内的各频率下计算阻抗和相角。
[0018]
除非另外定义，否则本文使用的所有技术和科学术语的含义与本发明所属领域的普通技术人员理解的含义相同。所述材料、方法和实例仅是说明性的而非限制性的。在本文未描述的范围内，关于特定材料和加工行为的许多细节是常用的，并且可在玻璃、气相沉积及电致变色领域内的教科书和其他来源中找到。
[0019]
根据本公开，图1绘示具有经改善的膜结构的经部分组合的电化学器件100的截面图。为了解释明确的目的，电化学器件100是可变透射器件。在一个实施例中，电化学器件100可为电致变色器件。在另一实施例中，电化学器件100可为薄膜电池。然而，应理解的是，本公开同样地适用于其他类型的经刻划的电活性器件、电化学器件，以及具有不同叠堆或膜结构(例如附加层)的其他电致变色器件。此外，电活性器件可结合在汽车、窗户、建筑物正面、建筑物外部、运输车辆、火车或镜子中。关于图1的电化学器件100，器件100可包括基底110和覆盖基底110的叠堆。叠堆可包括第一透明导体层120、阴极电化学层130、阳极电化学层140和第二透明导体层150。器件100还可包括绝缘层170。在一个实施例中，叠堆还可包括阴极电化学层130与阳极电化学层140之间的离子传导层。
[0020]
在一实施方式中，基底110可包括玻璃基底、蓝宝石基底、氮氧化铝基底或尖晶石基底。在另一实施方式中，基底110可包括透明聚合物，诸如聚丙烯酸化合物、聚烯烃、聚碳酸酯、聚酯、聚醚、聚乙烯、聚酰亚胺、聚砜、多硫化物、聚氨酯、聚乙酸乙烯酯、另一适合的透明聚合物，或前述各项的共聚物。基底110可为或可不为挠性。在一特定实施方式中，基底110可为浮法玻璃或硼硅玻璃，且具有在0.5mm至12mm厚的范围的厚度。基底110可具有不大于16mm，诸如12mm、不大于10mm、不大于8mm、不大于6mm、不大于5mm、不大于3mm、不大于2mm、不大于1.5mm、不大于1mm或不大于0.01mm的厚度。在另一特定实施方式中，基底110可包括超薄玻璃，其为厚度在50微米至300微米范围内的矿物玻璃。在一特定实施方式中，基底110可用于形成许多不同的电化学器件，并且可称为母板。
[0021]
透明导电层120和150可包括导电金属氧化物或导电聚合物。实例可包括氧化锡或氧化锌(任一者均可用三价元素掺杂，诸如al、ga、in等)、氟化氧化锡或磺化聚合物(诸如聚苯胺、聚吡咯)、聚(3,4
‑
伸乙基二氧基噻吩)等。在另一实施方式中，透明导电层120和透明导电层150可包括金、银、铜、镍、铝或其任何组合。透明导电层120和透明导电层150可包括氧化铟、铟锡氧化物、经掺杂的氧化铟、氧化锡、经掺杂的氧化锡、氧化锌、经掺杂的氧化锌、
氧化钌、经掺杂的氧化钌及其任何组合。透明导电层120和透明导电层150可具有相同或不同的组成物。在一个实施方式中，阳极电化学层140上方的透明导电层150可具有第一电阻率和第二电阻率，而不将材料自所述活性叠堆移除。在一个实施方式中，透明导电层150可具有图案，其中图案152的第一部分对应于第一电阻率，且图案154的第二部分对应于第二电阻率。图案152的第一部分和图案154的第二部分可为相同材料。在一个实施方式中，图案152的第一部分已经借由短脉冲激光而改变以增加电阻率。在一个实施方式中，第一电阻率大于第二电阻率。在另一实施方式中，第一电阻率小于第二电阻率。所述图案的第一部分及所述图案的第二部分来自于改变第二透明导电层150，如下文所详述。
[0022]
透明导电层120和透明导电层150可具有介于10nm与600nm之间的厚度。在一个实施方式中，透明导电层120和透明导电层150可具有介于200nm与500nm之间的厚度。在一个实施方式中，透明导电层120和透明导电层150可具有介于320nm与460nm之间的厚度。在一个实施方式中，第一透明导电层120可具有介于10nm与600nm之间的厚度。在一个实施方式中，第二透明导电层150可具有介于80nm与600nm之间的厚度。
[0023]
层130和层140可为电极层，其中所述层中的一者可为阴极电化学层，而所述层中的另一者可为阳极电致变色层(也称为相对电极层)。在一个实施例中，阴极电化学层130是电致变色层。阴极电化学层130可包括无机金属氧化物材料，诸如wo3、v2o5、moo3、nb2o5、tio2、cuo、ni2o3、nio、ir2o3、cr2o3、co2o3、mn2o3、混合氧化物(例如w
‑
mo氧化物、w
‑
v氧化物)或其任何组合，且可具有40nm至600nm范围内的厚度。在一个实施方式中，阴极电化学层130可具有介于100nm至400nm之间的厚度。在一个实施方式中，阴极电化学层130可具有介于350nm至390nm之间的厚度。阴极电化学层130可包括锂、铝、锆、磷、氮、氟、氯、溴、碘、砹、硼；含或不含锂的硼酸盐；含或不含锂的氧化钽；含或不含锂的基于镧系元素的材料；另一种锂基陶瓷材料；或其任何组合。
[0024]
阳极电致变色层140可包括就阴极电致变色层130所列出的任何材料或ta2o5、zro2、hfo2、sb2o3或其任何组合，且可进一步包括氧化镍(nio、ni2o3或两者的组合)及li、na、h或另一离子，且具有40nm至500nm范围内的厚度。在一个实施方式中，阳极电致变色层140可具有介于150nm至300nm之间的厚度。在一个实施方式中，阳极电致变色层140可具有介于250nm至290nm之间的厚度。在某些实施方式中，锂可插入第一电极130或第二电极140中的至少一者中。
[0025]
在另一实施方式中，器件100可包括基底110与第一透明导电层120之间的多个层。在一个实施方式中，抗反射层可在基底110与第一透明导电层120之间。抗反射层可包括sio2、nbo2、nb2o5，且可为介于20nm至100nm之间的厚度。器件100可包括至少两个总线，其中一个总线电连接到第一透明导电层120，而第二总线电连接到第二透明导电层150。
[0026]
图3是描绘根据本公开的实施方式而用于形成电致变色器件的程序300的流程图。图2a至图2e是根据本公开的实施方式在制造的各个阶段的电致变色器件200的示意性截面图。电致变色器件200可与上述电致变色器件100相同。所述过程可包括提供基底210。基底210可与上述基底110类似。在操作310处，第一透明导电层220可沉积在基底210上，如图2a中所示。第一透明导电层220可与上述第一透明导电层120类似。在一个实施方式中，第一透明导电层220的沉积可借由在介于5kw与20kw之间的功率下、在介于200℃与400℃之间的温度下、在包括氧和氩的溅射气体中以介于0.1m/min与0.5m/min之间的速率的溅射沉积来进
行。在一个实施方式中，溅射气体包括介于40％与80％之间的氧及介于20％与60％之间的氩。在一个实施方式中，溅射气体包括50％的氧及50％的氩。在一个实施方式中，溅射沉积的温度可为介于250℃与350℃之间。在一个实施方式中，第一透明导电层220可借由在介于10kw与15kw之间的功率下溅射沉积来进行。
[0027]
在一个实施方式中，中间层可沉积在基底210与第二透明导电层220之间。在一个实施方式中，中间层可包括绝缘层，诸如抗反射层。抗反射层可包括氧化硅、氧化铌，或其任何组合。在一特定实施方式中，中间层可为可用于帮助减少反射的抗反射层。所述抗反射层可具有介于下层(下层的折射率可为大约2.0)与清洁、干燥的空气或惰性气体，诸如ar或n2(许多气体具有大约1.0的折射率)之间的折射率。在一实施方式中，抗反射层可具有范围在1.4至1.6的折射率。抗反射层可包括具有合适折射率的绝缘材料。在一特定实施方式中，抗反射层可包括二氧化硅。抗反射层的厚度可经选择为薄的且提供足够的抗反射性质。抗反射层的厚度可至少部分取决于电致变色层130和相对电极层140的折射率。中间层的厚度可在20nm至100nm的范围内。
[0028]
在操作320处且如图2b所示，电致变色层230可沉积在第一透明导电层220上。电致变色层230可与上述电致变色层130类似。在一个实施方式中，电致变色层230的沉积可借由在介于23℃与400℃之间的温度下、在包括氧和氩的溅射气体中溅射沉积钨来进行。在一个实施方式中，溅射气体包括介于40％与80％之间的氧及介于20％与60％之间的氩。在一个实施方式中，溅射气体包括50％的氧及50％的氩。在一个实施方式中，溅射沉积的温度为介于100℃与350℃之间。在一个实施方式中，溅射沉积的温度为介于200℃与300℃之间。钨的另外沉积可在包括100％氧的溅射气体中进行溅射沉积。
[0029]
在操作330处且如图2c所示，阳极电化学层240可沉积在阴极电化学层230上。在一个实施方式中，阳极电化学层240可为相对电极。阳极电化学层240可与上述的阳极电化学层140类似。在一个实施方式中，阳极电化学层240的沉积可借由在介于20℃与50℃之间的温度下、在包括氧和氩的溅射气体中溅射沉积钨、镍及锂来进行。在一个实施方式中，溅射气体包括介于60％与80％之间的氧及介于20％与40％之间的氩。在一个实施方式中，溅射沉积的温度为介于22℃与32℃之间。
[0030]
在操作340处且如图2d所示，第二透明导电层250可沉积在阳极电化学层240上。第二透明导电层250可与上述第二透明导电层150类似。在一个实施方式中，第二透明导电层250的沉积可借由在介于5kw与20kw之间的功率下、在介于20℃与50℃之间的温度下、在包括氧和氩的溅射气体中溅射沉积来进行。在一个实施方式中，溅射气体包括介于1％与10％之间的氧及介于90％与99％之间的氩。在一个实施方式中，溅射气体包括8％的氧及92％的氩。在一个实施方式中，溅射沉积的温度为介于22℃与32℃之间。在一个实施方式中，在沉积第二透明导电层250之后，基底210、第一透明导电层220、阴极电化学层230、阳极电化学层240和第二透明导电层250可在介于300℃与500℃之间的温度下经加热介于2min与10min之间。
[0031]
在操作350处，附加层可沉积在第二透明导电层250上。在一个实施方式中，附加层270可包括类似于绝缘层170的绝缘层，如图2e中所示。在一个实施方式中，绝缘层可包括二氧化硅(sio2)。在一个实施方式中，附加层270可包括高电阻透明导电层和绝缘层。在沉积绝缘层之后，器件200可被视为层合活性叠堆。
[0032]
在上述的叠堆沉积之后，可确定图案。所述图案可包括第一区域和第二区域。第一区域可具有第一电阻率且第二区域可具有第二电阻率。在操作360处且如图2f所示，第二透明导电层250可经图案化。在一个实施例中，具有介于400nm与700nm之间的波长的短脉冲激光260经导引穿过绝缘层270以图案化第二透明导电层250。在一个实施例中，具有介于500nm与550nm之间的波长的短脉冲激光260经导引穿过叠堆的顶部以图案化第二透明导电层250。激光260的波长和持续时间经选择以防止器件200内热聚集。在一个实施例中，绝缘层270保持不受影响，同时第一透明导电层220可经图案化。在一包括绝缘层270与第二透明导电层250之间的层的实施例中，所述短脉冲激光260可经导引穿过绝缘层270及后续的层直至到达且图案化第二透明导电层250。图案化第二透明导电层250可得以完成同时维持绝缘层270、基底210、阴极电化学层230、阳极电化学层240和第一透明导电层220完整。在另一实施例中，借由导引激光束穿过基底210、第一透明导电层220、阴极电化学层230和阳极电化学层240直至到达第二透明导电层250而未影响任何其他层，激光260可经导引以图案化第二透明导电层250。
[0033]
在一个实施例中，短脉冲激光260可具有介于500nm与550nm之间的波长。在一个实施例中，短脉冲激光260发射介于50飞秒与1秒之间的期间。激光260的波长可经选择使得激光260的能量相较于绝缘层270或活性叠堆中的任何其他层是被第二透明导电层250吸收。在一个实施例中，短脉冲激光260可跨器件200移动以形成图案。在一个实施例中，图案可包括第一电阻率和第二电阻率。短脉冲激光260可在不从叠堆去除任何材料的情况下变换第二透明导电层250的材料以改变电阻率。换句话说，短脉冲激光260靶定与所确定的图案相对应的第一区域，以改变该区域的电阻率，而第一透明导电层的其余部分保持相同。如在图2g中看到的，所得的图案则可包括第一电阻率和第二电阻率。在图案化之前，第二透明导电层250可具有均一的电阻率。在图案化之后，第二透明导电层250可具有包括第一电阻率和第二电阻率的图案。在一个实施例中，第一区域252可具有第一电阻率且第二区域254可具有第二电阻率。在一个实施例中，第一区域252和第二区域254可具有相同的材料组成。在一个实施例中，第一电阻率大于第二电阻率。在一个实施例中，第一电阻率小于第二电阻率。在一个实施例中，第一电阻率可为介于15ω/sq至100ω/sq之间。在一个实施例中，第二透明导电层250可包括第一电阻率和第二电阻率，而第一透明导电层220可包括单一电阻率。在所有层都已经沉积在基底210上之后图案化器件，降低制造成本。在所有层都已沉积在基底上之后图案化透明导电层，在透明导电层中建立高电阻率和低电阻率的区域。激光接触透明导电层的待图案化的区域，并增加该区域的电阻率。这样做时，所使用的图案可帮助确定器件各个点的电阻，以产生更均匀的转换。具体地，当器件从透明态转换到着色态时，观察器件的中心到边缘，经图案化的器件具有更均一、均匀和快速的转换。随着选择性图案减少从中心到边缘的电阻差异，相同的经图案化的透明导电层显示经改善的保持均一性，如下列实例部分所示。随着器件变大或总线之间的距离增加，保持的均一性变得更加明显。
[0034]
图4a至图4b是根据各种实施例的第二透明导电层250的俯视图的示意图。第二透明导电层250可具有包括第一区域422和第二区域424的图案。在一个实施例中，第一区域422可具有第一电阻率且第二区域424可具有第二电阻率。在一个实施方式中，图案可跨第二透明导电层250而变化。在一个实施例中，图案可包括几何形状。在一个实施例中，图案可朝第二透明导电层250的中心减少尺寸且朝第二透明导电层250的相对端增大尺寸。在一个
实施例中，第一区域422可小于第二区域424，如图4a所示。在另一实施例中，第一区域422可大于第二区域424，如图2b所示。在一个实施例中，第一区域422可从第一透明导电层220的一个边缘到第二透明导电层250的相对边缘逐渐增加。第一区域422可为圆形、正方形、矩形、线性、六边形、多边形、三角形，或其中的任何组合。
[0035]
任何电化学器件都可以随后经加工作为隔热玻璃单元的一部分。图5是根据本公开的实施方式的隔热玻璃单元500的示意图。隔热玻璃单元500可包括第一面板505、联接至第一面板505的电化学器件520、第二面板510以及在第一面板505与第二面板510之间的间隔件515。第一面板505可为玻璃面板、蓝宝石面板、氮氧化铝面板或尖晶石面板。在另一实施方式中，第一面板可包括透明聚合物，诸如聚丙烯酸化合物、聚烯烃、聚碳酸酯、聚酯、聚醚、聚乙烯、聚酰亚胺、聚砜、多硫化物、聚氨酯、聚乙酸乙烯酯、另一适合的透明聚合物，或前述各项的共聚物。第一面板505可为或可不为挠性。在一特定实施方式中，第一面板505可为浮法玻璃或硼硅玻璃，且具有在2mm至20mm厚的范围的厚度。第一面板505可为经热处理、经热强化或经回火的面板。在一个实施例中，电化学器件520联接至第一面板505。在另一实施方式中，电化学器件520在基底525上，且基底525联接至第一面板505。在一个实施方式中，层合中间层530可设置在第一面板505与电化学器件520之间。在一个实施方式中，层合中间层530可设置在第一面板505与含有电化学器件520的基底525之间。电化学器件520可在基底525的第一侧521上，且层合中间层530可联接至所述基底的第二侧522。第一侧521可为平行且相对于第二侧522。
[0036]
第二面板510可为玻璃面板、蓝宝石面板、氮氧化铝面板或尖晶石面板。在另一实施方式中，第二面板可包括透明聚合物，诸如聚丙烯酸化合物、聚烯烃、聚碳酸酯、聚酯、聚醚、聚乙烯、聚酰亚胺、聚砜、多硫化物、聚氨酯、聚乙酸乙烯酯、另一适合的透明聚合物，或前述各项的共聚物。第二面板可为或可不为挠性。在一特定实施方式中，第二面板510可为浮法玻璃或硼硅玻璃，且具有在5mm至30mm厚的范围的厚度。第二面板510可为经热处理、经热强化或经回火的面板。在一个实施例中，间隔件515可在第一面板505与第二面板510之间。在另一实施例中，间隔件515在基底525与第二面板510之间。在又一实施例中，间隔件515在电化学器件520与第二面板510之间。
[0037]
在另一实施方式中，隔热玻璃单元500可进一步包括附加层。隔热玻璃单元500可包括第一面板、联接至第一面板505的电化学器件520、第二面板510、第一面板505与第二面板510之间的间隔件515、第三面板以及第一面板505与第二面板510之间的第二间隔件。在一个实施方式中，电化学器件可在基底上。可使用层合中间层将基底联接至第一面板。第一间隔件可在基底与第三面板之间。在一个实施方式中，基底在一侧上联接至第一面板且在另一侧上与第三面板间隔开。换句话说，第一间隔件可在电化学器件与第三面板之间。第二间隔件可在第三面板与第二面板之间。在此种实施例中，第三面板在第一间隔件与第二间隔件之间。易言之，第三面板在第一侧上联接至第一间隔件，且在与第一侧相对的第二侧上联接至第二间隔件。
[0038]
上述和在附图中所绘示的实施方式不限于矩形器件。相反地，描述和附图仅意在说明器件的横截面图，而不旨在以任何方式限定这种器件的形状。例如，器件可形成为矩形以外的形状(例如三角形、圆形、弓形结构等)。对于进一步的实例，器件可三维成形(例如凸形、凹形等)。
[0039]
许多不同方面及实施方式是可行的。一些此类方面及实施方式于下文描述。在阅读本说明书之后，技术人员将理解此类方面及实施方式仅是说明性的，且并不限制本发明的范围。例示性实施方式可根据如下列实施方式中的任何一者或多者。
[0040]
实施方式1.一种形成电化学器件的方法，所述方法可包括提供基底及覆盖所述基底的叠堆。所述叠堆可包括所述基底上方的第一透明导电层、所述第一透明导电层上方的阴极电化学层、所述电化学层上方的阳极电化学层，以及覆盖所述阳极电化学层的第二透明导电层。所述方法还可包括将绝缘层沉积在所述叠堆上方以及确定用于所述第二透明导电层的第一图案。所述第一图案可包括第一区域和第二区域。所述第一区域和所述第二区域可为相同材料。所述方法还可包括将所述第二透明导电层的所述第一区域图案化而不将所述材料自所述第一区域移除。在图案化后，所述第一区域可具有第一电阻率且所述第二区域可具有第二电阻率。
[0041]
实施方式2.根据实施方式1所述的方法，其中将所述第二透明导电层图案化以形成所述第一电阻率和所述第二电阻率可穿过所述基底进行图案化。
[0042]
实施方式3.根据实施方式1所述的方法，其中将所述第二透明导电层图案化以形成所述第一电阻率和所述第二电阻率可在形成所述活性叠堆后进行图案化。
[0043]
实施方式4.根据实施方式1所述的方法，其中将所述第二透明导电层图案化包括使用具有介于400nm与700nm之间的波长的短脉冲激光。
[0044]
实施方式5.根据实施方式1所述的方法，其中所述短脉冲激光具有介于500nm与550nm之间的波长。
[0045]
实施方式6.根据实施方式1所述的方法，其中所述短脉冲激光发射介于50飞秒与1秒之间的期间。
[0046]
实施方式7.根据实施方式1所述的方法，其中所述第一电阻率大于所述第二电阻率。
[0047]
实施方式8.根据实施方式1所述的方法，其中所述第一电阻率介于15ω/sq至100ω/sq之间。
[0048]
实施方式9.根据实施方式1所述的方法，其中所述基底包含玻璃、蓝宝石、氮氧化铝、尖晶石、聚丙烯酸化合物、聚烯烃、聚碳酸酯、聚酯、聚醚、聚乙烯、聚酰亚胺、聚砜、多硫化物、聚氨酯、聚乙酸乙烯酯、另一适合的透明聚合物、前述聚合物的共聚物、浮法玻璃、硼硅玻璃，或其任何组合。
[0049]
实施方式10.根据实施方式1所述的方法，其中所述叠堆进一步包括所述阴极电化学层与所述阳极电化学层之间的离子传导层。
[0050]
实施方式11.根据实施方式1所述的方法，其中所述离子传导层包含锂、钠、氢、氘、钾、钙、钡、锶、镁、经氧化的锂、li2wo4、钨、镍、碳酸锂、氢氧化锂、过氧化锂，或其任何组合。
[0051]
实施方式12.根据实施方式1所述的方法，其中所述阴极电化学层包含电致变色材料。
[0052]
实施方式13.根据实施方式12所述的方法，其中所述电致变色材料包含wo3、v2o5、moo3、nb2o5、tio2、cuo、ni2o3、nio、ir2o3、cr2o3、co2o3、mn2o3、混合氧化物(例如w
‑
mo氧化物、w
‑
v氧化物)、锂、铝、锆、磷、氮、氟、氯、溴、碘、砹、硼、含或不含锂的硼酸盐、含或不含锂的氧化钽、含或不含锂的基于镧系元素的材料、另一种锂基陶瓷材料，或其任何组合。
[0053]
实施方式14.根据实施方式1所述的方法，其中所述第一透明导电层包含氧化铟、铟锡氧化物、经掺杂的氧化铟、氧化锡、经掺杂的氧化锡、氧化锌、经掺杂的氧化锌、氧化钌、经掺杂的氧化钌、银、金、铜、铝及其任何组合。
[0054]
实施方式15.根据实施方式1所述的方法，其中所述第二透明导电层包含氧化铟、铟锡氧化物、经掺杂的氧化铟、氧化锡、经掺杂的氧化锡、氧化锌、经掺杂的氧化锌、氧化钌、经掺杂的氧化钌及其任何组合。
[0055]
实施方式16.根据实施方式1所述的方法，其中所述阳极电化学层包含无机金属氧化物材料，诸如wo3、v2o5、moo3、nb2o5、tio2、cuo、ir2o3、cr2o3、co2o3、mn2o3、ta2o5、zro2、hfo2、sb2o3、含或不含锂的基于镧系元素的材料、另一种锂基陶瓷材料、氧化镍(nio、ni2o3或两者的组合)、及li、氮、na、h或另一离子、任何卤素，或其任何组合。
[0056]
实施方式17.根据实施方式1所述的方法，其中将所述第二透明导电层图案化以形成所述第一电阻率和所述第二电阻率是穿过所述基底、所述第一透明导电层、所述阴极电化学层和所述阳极电化学层进行图案化。
[0057]
实施方式18.一种电化学器件，其包括基底和在所述基底上方的第一透明导电层以及第二透明导电层。所述第二透明导电层包含材料，且所述材料具有第一电阻率和第二电阻率。所述电化学器件还可包括所述第一透明导电层与所述第二透明导电层之间的阳极电化学层；以及所述第一透明导电层与所述第二透明导电层之间的阴极电化学层。
[0058]
实施方式19.根据实施方式18所述的电化学器件，其中没有材料从所述第二透明导电层去除。
[0059]
实施方式20.一种隔热玻璃单元，其可包括第一面板和联接至第一面板的电化学器件。所述电化学器件可包括基底和设置在所述基底上的第一透明导电层。所述电化学器件还可包括覆盖所述第一透明导电层的阴极电化学层、覆盖所述阴极电化学层的阳极电化学层，以及第二透明导电层。所述第二透明导电层包含材料且所述材料具有第一电阻率和第二电阻率。所述隔热玻璃单元还可包括第二面板、以及设置在所述第一面板与所述第二面板之间的间隔件框架。
[0060]
实施方式21.根据实施方式20所述的电隔热玻璃单元，其中所述电化学器件在所述第一面板与所述第二面板之间。
[0061]
实例
[0062]
实例经提供以证实具有经图案化的透明导电层的电化学器件相较于没有经图案化的层的其他电化学器件的性能。针对下列各种实例，样品1(s1)是根据上述各种实施例而形成。比较样品，样品2(s2)应理解为是没有经图案化的透明导电层的实施例。
[0063]
图6是各种样品s1和s2的保持电压的图。图6中的绘示显示当样品从无色转变为有色时在保持电压下的样品。从图6可看出，s1具有均匀的图案，而s2具有变化的图案。对于s1样品，保持期间中心到边缘的差异已减少了>80％。s2样品具有变化的透射态。s1样品具有均匀的透射态。
[0064]
请注意，并非上文一般说明或实例中所述的所有行为均是所需要的，可能并不需要特定行为的一部分，并且除了所述者之外的一种或多种进一步行为可得以执行。又进一步地，所列出的行为的顺序不一定是它们的执行顺序。
[0065]
为清楚起见，本文在单独的实施方式的上下文中描述的某些特征，也可以在单一
实施方式中组合提供。相反，为简洁起见，在单一实施方式的上下文中描述的各种特征也可单独提供或以任何次组合来提供。进一步地，引用范围中所述的值包括该范围内的各个及每个值。
[0066]
益处、其他优点及解决问题的技术手段已于上文针对特定实施方式而描述。然而，益处、优点、解决问题的技术手段以及可使得任何益处、优点、解决问题的技术手段发生或变得更加显著的任何特征不应被解释为任何或所有权利要求的关键、所需或必要特征。
[0067]
说明书及本文中所述的实施方式的描绘旨在提供各种实施方式的结构的一般理解。说明书和描绘并非旨在用作使用本文中所述的结构或方法的装置和系统的所有元件和特征的详尽和全面的描述。单独的实施方式也可在单一实施方式中组合提供，并且相反地，为了简洁起见，在单一实施方式的上下文中所述的各种特征也可单独提供或以任何次组合来提供。进一步地，引用范围中所述的值包括该范围内的各个及每个值。只有在阅读本说明书之后，许多其他实施方式对于本领域技术人员才是清楚易见的。其他实施方式可得以使用并衍生自本公开，使得结构取代、逻辑性取代，或另外的改变可在不脱离本公开的范围下进行。因此，本公开应被视为说明性的而非限制性的。