一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置的制作方法

1.本发明涉及匀胶显影机技术领域，具体是涉及一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置。


背景技术：

2.匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等。
3.如中国实用新型专利cn208796024u所公开的一种匀胶显影机的冷却装置，包括冷板，每个冷板均与独立的冷却液供应系统连通，每个冷却液供应系统均包括冷却液供应箱、热交换器、供液泵，供液泵的进液管伸入到冷却液供应箱内，供液泵的出液管与热交换器的第一换热通道的入口连通，第一换热通道的出口与冷板上的冷却通道的入口连通，冷却通道的出口通过回流管道与冷却液供应箱的内腔连通，冷却装置还包括补液箱和补液泵，补液泵的出液口分别通过补液管与各冷却液供应箱连通，冷却液供应箱的内壁上设置有补液传感器、补液停止传感器和温度传感器，该结构匀胶显影机的冷却装置散热效果不佳，无法持续带走热处理单元模块热辐射的热量，并且无法将匀胶显影机加热处理单元模块产生的多余热量抽走，影响匀胶显影机加热处理单元模块工作，因此，我们提出了一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，以便于解决上述提出的问题。


技术实现要素：

4.一、要解决的技术问题
5.本发明是针对现有技术所存在的上述缺陷，提供一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，解决现有冷却装置功能单一，散热效率较低的问题。
6.二、技术方案
7.为解决上述技术问题，本发明提供一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，包括匀胶显影机机箱，匀胶显影机机箱内由三个竖向柜组成，每个竖向柜的内部均设有沿着每个竖向柜竖直方向等间距分布的热处理单元模块；
8.水冷却机构，其数量与热处理单元模块的数量相同且一一对应的设置在每个热处理单元模块的底部，每个水冷却机构均包括与热处理单元模块底部固定的水冷板底板，用以将热处理单元模块进行水冷降温处理；
9.通风机构，其数量与热处理单元模块的数量相同且一一对应的设置在每个热处理单元模块的上方，每个通风机构均包括进风通道和排风通道，进风通道与排风通道左右对称的设置在热处理单元模块的上方两侧；
10.恒温器，设置在匀胶显影机机箱的后侧，恒温器通过导向水管与每个水冷却机构的内部连通；
11.总进风管道，设置在匀胶显影机机箱的顶部，总进风管道通过第一竖直管道与每个进风管道的内部连通；
12.鼓风机，设置在匀胶显影机机箱的侧壁上，鼓风机的工作端与总进风管道的一端连通；
13.总出风管道，设置在匀胶显影机机箱的顶部，，总出风管道通过第二竖直管道与每个出风管道内部连通。
14.优选地，每个竖向柜均包括有左侧板和右侧板，左侧板与右侧板均中空结构，右侧板的内部设置有与每个进风通道一一对应的导风通道，第一竖直管道竖直位于右侧板内部一侧，第一竖直管道通过延伸管与每个导风通道的内部连通，第一竖直管的顶部与总进风通道的内部连通。
15.优选地，每个进风通道均包括：
16.矩形通道，贴合设置在竖向柜的内侧壁上，矩形通道的内部开设有与导风通道内部连通的进风通口，矩形通道靠近热处理模块的一面为敞开结构。
17.叶片，具有若干个，所有叶片沿着矩形通道的竖直方向能够翻转的均布设置在矩形通道的敞开端，每个叶片的两端均通过第一转杆与矩形通道的内部两侧轴接。
18.优选地，每个进风通道还均包括：
19.齿条，呈竖直位于矩形通道的一侧，齿条能够沿着矩形通道的竖直方向上下移动；
20.齿轮，其数量与每个叶片的数量相同且一一对应的位于每个叶片的一侧，每个齿轮的中心处均通过第二转杆与对应的叶片的第一转杆传动连接，每个齿轮均与齿条啮合设置，用以驱动每个叶片作翻转动作。
21.优选地，每个进风通道还均包括：
22.滑轨，竖直位于齿条的一侧，滑轨的侧壁与矩形通道的侧壁相连接；
23.轴承座，具有一对，分别设置在滑轨的上下端；
24.螺杆，竖直位于两个轴承座之间，螺杆的两端分别与每个轴承座的内圈轴接；
25.丝杆滑套，设置在螺杆上，丝杆滑套与螺杆螺纹连接，丝杆滑套远离滑轨的一侧与齿条的一侧相连接；
26.限位滑块，设置在丝杆滑套靠近滑轨的一侧，限位滑块能够在滑轨内限位滑动；
27.驱动电机，设置在两个轴承座其中一个轴承座的外壁上，驱动电机的输出端与螺杆的一端传动连接。
28.优选地，每个排风通道均包括：
29.风筒，呈水平设置在左侧板的内部，风筒靠近热处理单元模块的一端穿过左侧板的一侧向外延伸，第二竖直管道与风筒的内部连通；
30.排风扇，设置在风筒的延伸端。
31.优选地，每个水冷却机构还均包括：
32.水冷盖板，水冷盖板与水冷板底板互相贴合，水冷盖板与水冷板底板固定连接，水冷板底板和水冷板盖板之间夹设有金属管，水冷板底板和水冷板盖板相对的两侧壁分别对应开有用于容纳金属管的固定槽；
33.导向罩，设置在水冷板盖板背向水冷板底板的一侧，导向罩的一端固定连接有挡风罩，导向罩与挡风罩相互连通，挡风罩背向导向罩的一端设置有散热风扇；
34.水冷板盖板背向水冷板底板的一侧固定连接有若干个散热板，散热板垂直于水冷板盖板设置；
35.金属管的一端连通有散热管，散热管固定穿设在散热板上。
36.优选地，每个水冷却机构内设置的若干个散热板互相平行设置，相邻的两个散热板之间具有间距，每个散热板沿其长度方向呈波浪形设置。
37.优选地，每个水冷却机构内设置的金属管与散热管之间均设有温控阀，温控阀分别金属管与散热管连通，温控阀一侧设置有进出液管，进出液管通过导向水管与恒温器连通。
38.优选地，每个散热板之间的散热管的管身上均转动套设有转动套筒，转动套筒竖向设置，所述转动套筒的外侧壁上周向固定连接有若干个散热叶片。
39.三、有益效果
40.与现有技术相比，本发明通过每个水冷却机构将对应的热处理模块进行冷却，再通过进风管道与排风管道之间的配合使热处理模块产生的热气排出，解决了高效的将每个热处理单元模块进行持续冷却以及热气排出的技术问题。
41.具体通过每个第一竖直管上的延伸管以及与每个热处理模块进风通道对应的导风通道之间的相互想通，使鼓风机吹出的风均匀的进入到每个进风通道内；通过矩形通道内设置的每个能够翻转的叶片，使吹向热处理模块方向的风气改变朝向，能够多方位进行吹风，实现更加均匀的将热处理模块产生的热气吹散。
42.通过水冷板底板、水冷板盖板和金属管进行冷热置换，实现对水冷板底板的水冷，再通过散热风扇吹出空气流至散热板上，带走了散热板上的热量，通过对散热板的散热实现对水冷板的风冷，使水冷更加稳定，进一步的水冷热处理模块；通过每个呈波浪形的散热板增加了与空气的接触面积，能够带走散热板上更多的热量，解决了提高水冷板底板风冷的散热效果的技术问题。
43.通过温控阀可实时检测温度，进而快速进行更换冷却液，使散热管持续工作，同时带动水冷板底板持续水冷工作，通过散热风扇的风力带动所有转动套筒，通过转动套筒均匀散热。
附图说明
44.图1为本发明的立体图一；
45.图2为本发明的立体图二；
46.图3为本发明的立体图三；
47.图4为本发明的主视图；
48.图5为本发明的图4中沿a
‑
a处的剖视图；
49.图6为本发明的图4中沿b
‑
b处的剖视图；
50.图7为本发明的竖向柜的局部俯视图；
51.图8为本发明的局部立体图；
52.图9为本发明的进风通道的局部立体图；
53.图10为本发明的图9中c处放大图；
54.图11为本发明的水冷却机构的局部立体图一；
55.图12为本发明的水冷却机构的局部分解图；
56.图13为本发明的水冷却机构的局部立体图二；
57.图14为本发明的水冷却机构的局部立体图三；
58.图15为本发明的图14中d处放大图。
59.图中：
60.1为匀胶显影机机箱；2为竖向柜；3为热处理单元模块；4为水冷却机构；5为水冷板底板；6为通风机构；7为进风通道；8为排风通道；9为恒温器；10为总进风管道；11为第一竖直管道；12为鼓风机；13为总出风管道；14为第二竖直管道；15为左侧板；16为右侧板；17为导风通道；18为延伸管；19为矩形通道；20为进风通口；21为叶片；22为齿条；23为齿轮；24为滑轨；25为轴承座；26为螺杆；27为丝杆滑套；28为限位滑块；29为驱动电机；30为风筒；31为排风扇；32为水冷盖板；33为金属管；34为导向罩；35为挡风罩；36为散热风扇；37为散热板；38为散热管；39为进出液管；40为转动套筒；41为散热叶片；42为温控阀。
具体实施方式
61.下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
62.实施例1：
63.如图1至图6所示，本实施例的用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，包括匀胶显影机机箱1，匀胶显影机机箱1内由三个竖向柜2组成，每个竖向柜2的内部均设有沿着每个竖向柜2竖直方向等间距分布的热处理单元模块3；
64.水冷却机构4，其数量与热处理单元模块3的数量相同且一一对应的设置在每个热处理单元模块3的底部，每个水冷却机构4均包括与热处理单元模块3底部固定的水冷板底板5，用以将热处理单元模块3进行水冷降温处理；
65.通风机构6，其数量与热处理单元模块3的数量相同且一一对应的设置在每个热处理单元模块3的上方，每个通风机构6均包括进风通道7和排风通道8，进风通道7与排风通道8左右对称的设置在热处理单元模块3的上方两侧；
66.恒温器9，设置在匀胶显影机机箱1的后侧，恒温器9通过导向水管与每个水冷却机构4的内部连通；
67.总进风管道10，设置在匀胶显影机机箱1的顶部，总进风管道10通过第一竖直管道11与每个进风管道的内部连通；
68.鼓风机12，设置在匀胶显影机机箱1的侧壁上，鼓风机12的工作端与总进风管道10的一端连通；
69.总出风管道13，设置在匀胶显影机机箱1的顶部，，总出风管道13通过第二竖直管道14与每个出风管道内部连通。
70.具体的，在每个热处理模块工作时，每个热处理模块均产生热气，通过每个水冷却机构4内设置的的水冷板底板5向对应的热处理模块进行冷却处理，将对应的热处理模块进行降温，同时启动鼓风机12，通过鼓风机12向总进风管道10内吹风，风气通过总进风管道10和第一竖直管道11分别向进入每个进风通道7，通过每个进风通道7向对应的热处理模块导入风气，将对应的热处理模块上的热气吹向与进风通道7对应的排风通道8内，排风通道8通过第二竖直管道14分别将热气流排向总出风管道13内，再由总出风管道13将热气排出。
71.进一步，每个竖向柜2均包括有左侧板15和右侧板16，左侧板15与右侧板16均中空
结构，右侧板16的内部设置有与每个进风通道7一一对应的导风通道17，第一竖直管道11竖直位于右侧板16内部一侧，第一竖直管道11通过延伸管18与每个导风通道17的内部连通，第一竖直管的顶部与总进风通道7的内部连通。
72.具体的，鼓风机12工作时，将风气吹入总进风管道10内，再由总进风管道10分别导入到每个第一竖直管道11内，通过每个第一竖直管道11上设置的延伸管18与每个导风通道17连通，将风气导入每个导风通道17内，每个导风通道17均与对应的进风通道7连通，再将风气导入进风通道7，再由每个进风通道7将风气分别向对应的热处理模块上吹风，将热处理模块产生的热气吹散。
73.如图7至图9所示，每个进风通道7均包括：
74.矩形通道19，贴合设置在竖向柜2的内侧壁上，矩形通道19的内部开设有与导风通道17内部连通的进风通口20，矩形通道19靠近热处理模块的一面为敞开结构。
75.叶片21，具有若干个，所有叶片21沿着矩形通道19的竖直方向能够翻转的均布设置在矩形通道19的敞开端，每个叶片21的两端均通过第一转杆与矩形通道19的内部两侧轴接。
76.具体的，当风气进入到矩形通道19内后，设置的每个叶片21均能够进行翻转，通过翻转能够改变风气的朝向，使风气能够更加均匀的将热处理模块产生的热气吹散。
77.如图9至图10所示，每个进风通道7还均包括：
78.齿条22，呈竖直位于矩形通道19的一侧，齿条22能够沿着矩形通道19的竖直方向上下移动；
79.齿轮23，其数量与每个叶片21的数量相同且一一对应的位于每个叶片21的一侧，每个齿轮23的中心处均通过第二转杆与对应的叶片21的第一转杆传动连接，每个齿轮23均与齿条22啮合设置，用以驱动每个叶片21作翻转动作。
80.具体的，在需要翻转每个叶片21时，通过能够沿着矩形通道19的竖直方向上下往复移动的齿条22带动每个齿轮23顺时钟和逆时钟旋转，继而带动叶片21翻转摆动。
81.每个进风通道7还均包括：
82.滑轨24，竖直位于齿条22的一侧，滑轨24的侧壁与矩形通道19的侧壁相连接；
83.轴承座25，具有一对，分别设置在滑轨24的上下端；
84.螺杆26，竖直位于两个轴承座25之间，螺杆26的两端分别与每个轴承座25的内圈轴接；
85.丝杆滑套27，设置在螺杆26上，丝杆滑套27与螺杆26螺纹连接，丝杆滑套27远离滑轨24的一侧与齿条22的一侧相连接；
86.限位滑块28，设置在丝杆滑套27靠近滑轨24的一侧，限位滑块28能够在滑轨24内限位滑动；
87.驱动电机29，设置在两个轴承座25其中一个轴承座25的外壁上，驱动电机29的输出端与螺杆26的一端传动连接。
88.具体的，当需要带动齿条22上下移动时，启动驱动电机29，通过驱动电机29驱动螺杆26旋转，螺杆26通过螺纹啮合的方式带动丝杆滑套27沿着螺杆26移动，通过丝杆滑套27上的限位滑块28沿着滑轨24限位移动，丝杆滑套27带动齿条22同时移动，驱动电机29可进行顺时钟旋转以及逆时钟旋转，进而带动丝杆滑套27和齿条22上下移动。
89.如图6至图7所示，每个排风通道8均包括：
90.风筒30，呈水平设置在左侧板15的内部，风筒30靠近热处理单元模块3的一端穿过左侧板15的一侧向外延伸，第二竖直管道14与风筒30的内部连通；
91.排风扇31，设置在风筒30的延伸端。
92.具体的，通过进风管道将热处理模块产生的热气吹散，吹散的热气通过风筒30延伸端设置的排风扇31将吹散的热气吸入至风筒30内，再由第二竖直管道14将风筒30内的热气导向总出风管道13内，再由总出风管道13将热气排出。
93.如图11至图15所示，每个水冷却机构4还均包括：
94.水冷盖板32，水冷盖板32与水冷板底板5互相贴合，水冷盖板32与水冷板底板5固定连接，水冷板底板5和水冷板盖板之间夹设有金属管33，水冷板底板5和水冷板盖板相对的两侧壁分别对应开有用于容纳金属管33的固定槽；
95.导向罩34，设置在水冷板盖板背向水冷板底板5的一侧，导向罩34的一端固定连接有挡风罩35，导向罩34与挡风罩35相互连通，挡风罩35背向导向罩34的一端设置有散热风扇36；
96.水冷板盖板背向水冷板底板5的一侧固定连接有若干个散热板37，散热板37垂直于水冷板盖板设置；
97.金属管33的一端连通有散热管38，散热管38固定穿设在散热板37上。
98.具体的，通过恒温器9产生的冷却液通入金属管33内，在金属管33内的流动过程中，与水冷板底板5、水冷板盖板进行冷热置换，实现对水冷板底板5的水冷，通过水冷板底板5将热处理模块进行持续降温，热量首先传递到水冷板底板5上，再传递到水冷板盖板上。由于散热板37与水冷板盖板焊接固定，因此，热量能够传递到散热板37上，散热板37的设置增加了水冷板的散热面积，提高了水冷板风冷的散热效果，散热风扇36工作，吹出空气流至散热板37上，带走了散热板37上的热量，通过对散热板37的散热实现对水冷板的风冷。
99.实施例2：
100.如图14所示，相较于实施例1，本实施例中，每个水冷却机构4内设置的若干个散热板37互相平行设置，相邻的两个散热板37之间具有间距，每个散热板37沿其长度方向呈波浪形设置。
101.具体的，散热板37呈波浪形设置进一步增加了与空气的接触面积，通过空气流动，能够带走散热板37上更多的热量，提高了水冷板底板5风冷的散热效果，解决了提高水冷板底板5风冷的散热效果的技术问题。
102.如图14至图15所示，每个水冷却机构4内设置的金属管33与散热管38之间均设有温控阀42，温控阀42分别金属管33与散热管38连通，温控阀42一侧设置有进出液管39，进出液管39通过导向水管与恒温器9连通。
103.具体的，通过温控阀42与恒温器9连通，并且温控阀42能够对金属管33流出的冷却液的温度进行检测，当冷却液的温度较低时，冷却液直接从出液管流向恒温器9，此时散热风扇36关闭，当冷却液的温度较高时，散热风扇36开启，冷却液再通过温控阀42流入散热管38内，通过散热风扇36散热，继而持续对水冷板底板5进行水冷。
104.进一步的：为了解决如何利于提高散热叶片41的散热效果的技术问题，如图14至图15所示，提供以下技术方案：
105.每个散热板37之间的散热管38的管身上均转动套设有转动套筒40，转动套筒40竖向设置，所述转动套筒40的外侧壁上周向固定连接有若干个散热叶片41。
106.具体的，在散热风扇36吹风时，同时，转动套筒40能够在散热风扇36风力的作用下转动，使得散热叶片41能够均匀散热，有利于提高散热叶片41的散热效果。
107.本技术通过每个水冷却机构4将对应的热处理模块进行冷却，再通过进风管道与排风管道之间的配合使热处理模块产生的热气排出，解决了高效的将每个热处理单元模块3进行持续冷却以及热气排出的技术问题，通过水冷板底板5、水冷板盖板和金属管33进行冷热置换，实现对水冷板底板5的水冷，再通过散热风扇36吹出空气流至散热板37上，带走了散热板37上的热量，通过对散热板37的散热实现对水冷板的风冷，使水冷更加稳定，进一步的水冷热处理模块，解决了稳定的将热处理模块持续水冷的技术问题。
108.以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。