一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置的制作方法

1.本实用新型涉及外延膜生长设备技术领域，具体为一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置。


背景技术：

2.外延生长技术发展于50年代末60年代初。当时，为了制造高频大功率器件，需要减小集电极串联电阻，又要求材料能耐高压和大电流，因此需要在低阻值衬底上生长一层薄的高阻外延层，这时外延设备便应运而生。针对现有外延设备的基座水平调节装置现状，是通过调整基座水平仪的两个水平调节螺丝来调节基座水平，而基座是与电机固定杆同轴心固定连接在一起的，因此通过调节电机固定杆的位置来间接调整基座的水平位置。
3.现有的外延膜生长设备的基座水平调节装置在使用的过程中存在以下的问题：(1)由于在调节外延基座的水平位置时，两个调节螺丝没有顶紧螺丝一来固定，在基座旋转一段时间后，会有少许位移问题，这样会导致基座左右、前后位置偏移，晶圆的膜厚以及电阻率都会发生变化，进而降低了产品良率；(2)此外，在锁紧两个调节螺丝时，螺丝的尾部是与电机固定杆尾部顶紧在一起的，由于金属之间的磨损会导致调节螺丝与固定杆的间隙扩大，从而降低了基座水平调整的稳定性，间接影响晶圆膜厚、电阻率，降低产品良率。为此，需要设计相应的技术方案解决存在的技术问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置，解决了由于在调节外延基座的水平位置时，两个调节螺丝没有顶紧螺丝一来固定，在基座旋转一段时间后，会有少许位移问题，这样会导致基座左右、前后位置偏移，晶圆的膜厚以及电阻率都会发生变化，进而降低了产品良率，这一技术问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置，包括基座水平调节装置，所述基座水平调节装置由水平仪本体、空心金属球、电机固定杆、水平调节螺丝一、水平调节螺丝二、顶紧螺丝一和顶紧螺丝二组成，所述水平仪本体中部开设有安装口且外侧开设有两组螺纹导向槽，所述安装口与两组螺纹导向槽相连通，所述空心金属球活动设置于安装口内，所述空心金属球的中部垂直安装有对接槽口，所述电机固定杆的尾部固定于对接槽口内，所述水平调节螺丝一和水平调节螺丝二分别螺纹穿插于螺纹导向槽内且内端与空心金属球相接触，所述顶紧螺丝一分设有两组且螺纹固定于水平调节螺丝一、水平调节螺丝二上，所述顶紧螺丝二螺纹固定于顶紧螺丝一的外侧。
6.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述水平仪本体呈十字状结构且形成有两组短板和两组长板，两组所述长板呈90度设置。
7.作为本实用新型的一种优选实施方式，两组所述螺纹导向槽分别开设于两组长板内，所述螺纹导向槽的深度小于水平调节螺丝一、水平调节螺丝二的长度。
8.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述空心金属球的底部呈实体球面结构且上表面对接槽口的开口处呈水平状设置。
9.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述安装口的内壁呈球面结构且与空心金属球的表面相吻合。
10.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述对接槽口的内部呈弧面结构且规格与电机固定杆的尾部规格相同。
11.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述顶紧螺丝一和顶紧螺丝二均呈六面体螺丝帽结构且内表面采用磁性材料。
12.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述水平调节螺丝一外端加工成型有环形卡槽，所述环形卡槽内固定有限位环，所述限位环的外围呈放射状均匀固定有若干组限位弹片，所述限位弹片的内端与顶紧螺丝二相抵触，所述水平调节螺丝二与水平调节螺丝一结构相同。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
14.1.本实用新型在于未改变基座水平仪大体结构的情况下，增加了顶紧螺丝一和空心圆球体，加装顶紧螺丝一，可以防止水平调节螺丝的滑动位移，造成基座的不稳定性。增加一个空心圆球体，套装在固定杆尾部，可以避免水平调节螺丝尾部与电机固定杆直接接触而产生磨损。
15.2.此外，由于空心圆球体是可以左右、前后转动的，无论固定杆如何动作，空心圆球体都能保障固定杆稳定在中心位置不动，进而提高了基座水平位置的稳定性，从而提升晶圆膜厚、电阻率的稳定性，提高产品良率。
附图说明
16.图1为本实用新型的整体结构图；
17.图2为本实用新型所述空心金属球结构图；
18.图3为本实用新型所述电机固定杆安装示意图。
19.图中:1、水平仪本体；2、空心金属球；3、电机固定杆；4、水平调节螺丝一；5、水平调节螺丝二；6、顶紧螺丝一；7、安装口；8、螺纹导向槽；9、对接槽口；10、短板；11、长板；12、顶紧螺丝二；13、环形卡槽；14、限位环；15、限位弹片。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1
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3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置，包括基座水平调节装置，基座水平调节装置由水平仪本体1、空心金属球2、电机固定杆3、水平调节螺丝一4、水平调节螺丝二5、顶紧螺丝一6和顶紧螺丝二12组成，水平仪本体1中部开设有安装口7且外侧开设有两组螺纹导向槽8，安装口7与两组螺纹导向槽8相连通，空心金属球2活动设置于安装口7内，空心金属球2的中部垂直安装有对接槽口9，电
机固定杆3的尾部固定于对接槽口9内，水平调节螺丝一4和水平调节螺丝二5分别螺纹穿插于螺纹导向槽8内且内端与空心金属球2相接触，顶紧螺丝一6分设有两组且螺纹固定于水平调节螺丝一4、水平调节螺丝二5上，顶紧螺丝二12螺纹固定于顶紧螺丝一6的外侧，可以看出顶紧螺丝一6为六面体螺丝帽结构，且与水平调节螺丝杆相连接，用于固定水平螺丝，空心金属球2则套装在电机固定杆3尾部，用于隔开水平调节螺丝的尾部，避免其与电机固定杆3接触而产生磨损，且空心金属球2可以保障电机固定杆3保持中心位置不变，从而提高了基座水平位置的稳定性。
22.附注：电机固定杆3固定于基座的底部，如图3所示。
23.进一步改进地，如图1所示：水平仪本体1呈十字状结构且形成有两组短板10和两组长板11，两组长板11呈90度设置。
24.进一步改进地，如图1所示：两组螺纹导向槽8分别开设于两组长板11内，螺纹导向槽8的深度小于水平调节螺丝一4、水平调节螺丝二5的长度。
25.进一步改进地，如图2所示：空心金属球2的底部呈实体球面结构且上表面对接槽口9的开口处呈水平状设置，方便与电机固定杆3进行对接安装。
26.进一步改进地，如图1所示：安装口7的内壁呈球面结构且与空心金属球2的表面相吻合，便于空心金属球2收纳于安装口7内。
27.进一步改进地，如图1所示：对接槽口9的内部呈弧面结构且规格与电机固定杆3的尾部规格相同，便于空心金属球2与电机固定杆3的尾部进行对接安装。
28.进一步改进地，如图1所示：顶紧螺丝一6和顶紧螺丝二12均呈六面体螺丝帽结构且内表面采用磁性材料，通过顶紧螺丝一6和顶紧螺丝二12可以防止水平调节螺丝的滑动位移，提高稳定性。
29.具体地，水平调节螺丝一4外端加工成型有环形卡槽13，环形卡槽13内固定有限位环14，限位环14的外围呈放射状均匀固定有若干组限位弹片15，限位弹片15的内端与顶紧螺丝二12相抵触，水平调节螺丝二5与水平调节螺丝一4结构相同，通过外侧的限位弹片15可以达到对顶紧螺丝二12加固限位的目的，当需要对顶紧螺丝进行拆卸时，可以将限位弹片15向内侧按压，然后将顶紧螺丝拧出即可。
30.在使用时：本实用新型要将空心金属球2套装在电机固定杆3的底部，且必须要将球体的空心面垂直放置，将两个水平调节螺丝锁上，并同时把顶紧螺丝一6锁紧，以防止水平调节螺丝滑动，测试基座旋转时，观察晶圆与基座是否同心圆旋转，如果呈现椭圆形轨迹，则可以通过调整水平调节螺丝的松紧来实现晶圆与基座的同心圆转动。这样便提高了基座水平位置的稳定性，从而提升晶圆膜厚、电阻率的稳定性，提高产品良率。
31.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。