层叠造型用Ni基耐腐蚀合金粉末、使用所述粉末的层叠造型品的制造方法与流程

技术特征：
1.一种层叠造型用ni基耐腐蚀合金粉末，其特征在于包含具有如下成分组成的ni基合金的粉末，所述ni基合金粉末的安息角为48度以下，所述成分组成是以质量％计含有cr：14.5％～24.5％、mo：12.0％～23.0％、fe：0.01％～7.00％、co：0.001％～2.500％、mg：0.010％以下、n：0.040％以下、mn：0.001％～0.50％、si：0.001％～0.200％、al：超过0％～0.50％、ti：0.001％～0.500％、cu：0.250％以下、v：0.001％～0.300％、b：0.0001％～0.0050％、zr：0.0001％～0.0200％、o：0.0010％～0.0300％，剩余部分包含ni和不可避免的杂质，作为所述不可避免的杂质含有的c、s和p分别设为c：小于0.05％、s：小于0.01％和p：小于0.01％。2.根据权利要求1所述的层叠造型用ni基耐腐蚀合金粉末，其特征在于，所述ni基合金粉末中，在通过激光衍射法求出的、表示粒径与来自小粒径侧的体积累计的关系的累计分布曲线中，与所述粉末的累计频率10体积％对应的粒径d10为7μm以上且35μm以下，与所述粉末的累计频率50体积％对应的粒径d50为10μm以上且60μm以下，与所述粉末的累计频率90体积％对应的粒径d90为20μm以上且98μm以下。3.根据权利要求2所述的层叠造型用ni基耐腐蚀合金粉末，其特征在于，在所述累计分布曲线中，由(d90
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d10)/d50所表示的均匀度为1.5以下。4.根据权利要求1至3中任一项所述的层叠造型用ni基耐腐蚀合金粉末，其特征在于，所述ni基合金的所述成分组成还含有ta：2.5％以下。5.根据权利要求1至3中任一项所述的层叠造型用ni基耐腐蚀合金粉末，其特征在于，所述ni基合金的所述成分组成还含有w：5.0％以下。6.一种层叠造型品的制造方法，其特征在于，使用如权利要求1至5中任一项所述的层叠造型用ni基耐腐蚀合金粉末作为原料粉末进行层叠造型。7.根据权利要求6所述的层叠造型品的制造方法，其特征在于，所述层叠造型品为半导体制造装置用构件。8.根据权利要求6或7所述的层叠造型品的制造方法，其特征在于，所述层叠造型是粉末床熔融结合方式。

技术总结
课题在于提供适合用于层叠造型的Ni基耐腐蚀合金粉末、以及使用所述粉末的耐腐蚀性优异且缺陷少的层叠造型品的制造方法，包含具有如下成分组成的Ni基合金的粉末，所述Ni基合金粉末的安息角设为48度以下，所述成分组成是以质量％计含有Cr：14.5％～24.0％、Mo：12.0％～23.0％、Fe：0.01％～7.00％、Co：0.001％～2.500％、Mg：超过0％～0.010％、N：超过0％～0.040％、Mn：0.001％～0.50％、Si：0.001％～0.200％、Al：超过0％～0.50％、Ti：0.001％～0.500％、Cu：超过0％～0.250％、V：0.001％～0.300％、B：0.0001％～0.0050％、Zr：0.0001％～0.0200％、O：0.0010％～0.0300％，剩余部分为Ni和作为不可避免的杂质含有的C：小于0.05％、S：小于0.01％和P：小于0.01％。小于0.01％。小于0.01％。


技术研发人员：太期雄三 菅原克生
受保护的技术使用者：日立金属株式会社
技术研发日：2019.11.28
技术公布日：2021/10/8