液体喷出头、液体喷出装置以及致动器的制作方法

1.本公开涉及一种液体喷出头、液体喷出装置以及致动器。


背景技术：

2.关于液体喷出头，在专利文献1中公开了具有振动板、压电元件、并列设置的多个压力室和与压力室连通的喷嘴的液体喷出头。该液体喷出头例如被设置在打印机等液体喷出装置上，且通过利用压电元件的变形使振动板进行振动从而使压力室的容积发生变化，进而将被供给至压力室的油墨等液体从喷嘴喷出。
3.本技术发明人发现了如下的情况，即，在如专利文献1那样的液体喷射头中，通过在多个压力室的并列设置方向上且在振动板的、靠近压力室的端部的部分与远离压力室的端部的中央部分之间设置阶梯部，有可能提高压力室的容积的变化效率和振动体的耐久性。另一方面，本技术发明人进一步发现了如下的情况，即，通过设置上述的阶梯部，会在各个压力室的长边方向的端部附近处在振动板上产生阶梯部，因振动引起的应力会集中在该端部附近处产生的阶梯部上，从而可能会使裂纹等损伤易于产生。
4.专利文献1：日本特开2016
‑
58467号公报


技术实现要素：

5.根据本公开的第一方式，提供一种液体喷出头，该液体喷出头具有压电元件；压力室基板，其形成有与所述压电元件相对应的压力室；振动板，其被设置在所述压电元件与所述压力室基板之间。在该液体喷出头中，在将多个所述压力室进行排列的方向设为第一方向，将多个所述压力室各自延伸的方向设为第二方向，将所述第二方向上的所述压力室内的特定的位置设为第一位置，将所述第二方向上的所述压力室内的特定的位置且在所述第二方向上与所述第一位置相比更靠近所述压力室的端部的位置设为第二位置时，所述振动板在所述第一位置以及所述第二位置处，具有第一部分和第二部分，该第二部分在所述第一方向上与所述第一部分相比离所述压力室的端部更远，且具有与所述第一部分不同的厚度。在所述第一位置处，所述第二部分的所述第一方向上的宽度为第一宽度，在所述第二位置处，所述第二部分的所述第一方向上的宽度为与所述第一宽度相比较小的第二宽度。
6.根据本公开的第二方式，提供一种液体喷出头。该液体喷出头具有：上述第一方式中的液体喷出头；和控制部，该控制部对所述液体喷出头的喷出动作进行控制。
7.根据本公开的第三方式，提供一种致动器，该致动器具有：压电元件；和振动板，其被设置在与所述压电元件相对应的压力室和所述压电元件之间。在该致动器中，在将多个所述压力室进行排列的方向设为第一方向，将多个所述压力室各自延伸的方向设为第二方向，将所述第二方向上的所述压力室内的特定的位置设为第一位置，将所述第二方向上的所述压力室内的特定的位置且在所述第二方向上与所述第一位置相比更靠近所述压力室的端部的位置设为第二位置时，所述振动板在所述第一位置以及所述第二位置处，具有第一部分和第二部分，该第二部分在所述第一方向上与所述第一部分相比离所述压力室的端
部更远，且具有与所述第一部分不同的厚度。在所述第一位置处，所述第二部分的所述第一方向上的宽度为第一宽度，在所述第二位置处，所述第二部分的所述第一方向上的宽度为与所述第一宽度相比较小的第二宽度。
附图说明
8.图1为表示具备作为第一实施方式的液体喷出头的液体喷出装置的概要结构的说明图。
9.图2为表示本实施方式的液体喷出头的结构的分解立体图。
10.图3为表示液体喷出头的主要部分的截面的示意图。
11.图4为对压电部的概要结构进行说明的图。
12.图5为表示第一实施方式的第一位置处的压电部以及压力室基板的截面的图。
13.图6为表示第一实施方式的第二位处的压电部以及压力室基板的截面的图。
14.图7为表示图4所示的压电部的
ⅶ‑ⅶ
截面的图。
15.图8为表示第二实施方式中的压电部以及压力室基板的截面的图。
16.图9为表示第二实施方式的第一位置处的压电部以及压力室基板的截面的图。
17.图10为表示第二实施方式的第二位置处的压电部以及压力室基板的截面的图。
18.图11为对第三实施方式中的压电部的概要结构进行说明的图。
19.图12为对第四实施方式中的压电部的概要结构进行说明的图。
20.图13为表示第四实施方式的第一位置处的压电部以及压力室基板的截面的图。
21.图14为对第五实施方式中的压电部的概要结构进行说明的图。
22.图15为表示第六实施方式的第一位置处的压电部以及压力室基板的截面的图。
23.图16为表示第六实施方式的第二位置处的压电部以及压力室基板的截面的图。
具体实施方式
24.a.第一实施方式：
25.图1为表示具备作为第一实施方式的液体喷出头200的液体喷出装置100的概要结构的说明图。在图1中，示出了沿着互相正交的x、y、z方向的箭头标记。x、y、z方向为沿着互相正交的三个空间轴即x轴、y轴、z轴的方向，且分别包括沿着x轴、y轴、z轴的一侧的方向和其相反方向双方。具体而言，沿着所述x轴、y轴、z轴的正的方向分别为 x方向、 y方向、 z方向，沿着所述x轴、y轴、z轴的负的方向分别为
‑
x方向、
‑
y方向、
‑
z方向。有时将沿着x方向以及y方向的平面称为xy平面，将沿着x方向以及z方向的平面称为xz平面，将沿着y方向以及z方向的平面称为yz平面。另外，在图1中，x轴以及y轴为沿着水平面的轴，z轴为沿着铅直线的轴。因此，在本实施方式中，
‑
z方向为重力方向。在其他的图中也适当地示出了沿着x、y、z方向的箭头标记。图1中的x、y、z方向和其他的图中的x、y、z方向表示相同的方向。此外，在本说明书中，正交包括90
°±
10
°
的范围。
26.本实施方式的液体喷出装置100为，通过喷出作为液体的油墨，从而在印刷介质p上印刷图像的喷墨打印机。液体喷出装置100通过基于表示在印刷介质p上的点的on(形成)、off(不形成)的印刷数据而向纸张等印刷介质p上喷射油墨，并在印刷介质p上的各位置形成点，从而在印刷介质p上印刷图像。另外，作为印刷介质p，除了纸张之外，还能够使用
例如塑料、薄膜、纤维、布帛、皮革、金属、玻璃、木材、陶瓷等可对液体进行保持的材质。
27.液体喷出装置100具备：液体喷出头200，其喷射液体；滑架40，其对液体喷出头200进行保持；驱动电机46，其使滑架40驱动；输送电机51，其对印刷介质p进行输送；墨盒80，其对作为液体的油墨进行贮存；以及控制部110。
28.控制部110由具备一个以上的处理器、主存储装置、与外部实施信号的输入输出的输入输出接口的计算机构成。控制部110通过依据印刷数据对设置于液体喷出装置100上的各机构进行控制，从而从液体喷出头200向印刷介质p上喷出油墨而在印刷介质p上印刷图像。即，控制部110对液体喷出头200的、喷出液体的喷出动作进行控制。另外，控制部110例如能够对从未图示的外部的计算机等接收到的图像数据进行转换，而生成印刷数据。
29.墨盒80对向液体喷出头200供给的油墨进行贮存。在本实施方式中，对分别具有不同的颜色的油墨进行贮存的四个墨盒80以可装拆的方式被安装在滑架40上。墨盒80通过被安装在滑架40上而与液体喷出头200连接，从而能够从墨盒80向液体喷出头200供给油墨。另外，墨盒80也可以例如，不被安装在滑架40上，而被安装在液体喷出装置100的主体上。此外，墨盒80也可以例如，经由可挠性的管等流道、加压泵等压送单元与液体喷出头200进行连接。此外，作为对油墨进行贮存的机构，液体喷出装置100也可以例如不具备墨盒80，而具备油墨罐或由可挠性薄膜形成的袋状的液体袋等。
30.在本实施方式中，在四个墨盒80内分别贮存有具有黑色、蓝绿色、品红色、黄色的颜色的、不同的四个种类的油墨。贮存于墨盒80或油墨罐中的油墨的种类和数量并未被特别地限定。例如，在其他的实施方式中，油墨的种类既可以为三种以下，又可以为五种以上。液体喷出装置100也可以例如，除了上述四色之外，还具备例如对淡蓝绿色、淡品红色、白色等任意颜色的油墨进行贮存的墨盒80。此外，油墨的种类的数量与墨盒80或油墨罐的数量既可以相对应，又可以不相对应。
31.液体喷出头200向印刷介质p上以液滴状的形态喷出从墨盒80供给的油墨。液体喷出头200经由柔性电缆41与控制部110电连接。对于液体喷出头200的详细在下文中进行记叙。另外，液体喷出装置100也可以具备两个以上的多个液体喷出头200。
32.滑架40如上所述那样对液体喷出头200进行保持。滑架40通过驱动电机46的驱动，从而沿着主扫描方向往复移动。在本实施方式中，主扫描方向为沿着x方向的方向。滑架40通过从驱动电机46经由驱动带47被传递的驱动力，沿着沿x方向设置的未图示的滑架引导件进行移动。随着滑架40的移动，被保持于滑架40上的液体喷出头200以及安装于滑架40上的墨盒80也沿着x方向往复移动。
33.印刷介质p通过从输送电机51经由未图示的输送辊被传递的驱动力，在压印板55上沿着与主扫描方向交叉的副扫描方向被输送。在本实施方式中，副扫描方向为沿着y方向的方向。另外，虽然在本实施方式中，主扫描方向和副扫描方向为互相正交的方向，但是在其他的实施方式中，主扫描方向和副扫描方向也可以不互相正交。
34.图2为表示本实施方式的液体喷出头200的结构的分解立体图。本实施方式中的液体喷出头200通过对喷嘴板210、压力室基板220、压电部230和密封部250在z方向上进行层压从而被构成。
35.喷嘴板210为薄板状的部件。在本实施方式中，喷嘴板210沿着xy平面进行配置，且构成位于液体喷出头200的最
‑
z方向的部分。在喷嘴板210上，多个喷嘴211被形成为沿着x
轴方向排列成一列。喷嘴211作为将喷嘴板210在厚度方向即z轴方向上贯穿的贯穿孔而被形成。液体喷出头200从该喷嘴211喷射液体。有时也将喷嘴211称为喷出口。另外，在其他的实施方式中，喷嘴211的列的数量可以不是一列，也可以为在喷嘴板210上形成两列以上的喷嘴211。
36.在本实施方式中，喷嘴板210由不锈钢(sus)形成。另外，喷嘴板210并不限于不锈钢，也可以例如由镍(ni)合金等其他的种类的金属、或者聚酰亚胺或干膜抗蚀剂等树脂材料、硅(si)的单晶基板或玻璃陶瓷等无机材料等形成。
37.压力室基板220为对压力室221进行划分的板状的部件。如图2所示，压力室基板220被层压在喷嘴板210上。具体而言，压力室基板220的
‑
z方向的面经由粘合剂与喷嘴板210的 z方向的面接合。在其他的实施方式中，在压力室基板220与喷嘴板210的接合中也可以不使用粘合剂。也可以例如，压力室基板220经由热熔膜与喷嘴板210接合。
38.在本实施方式中，压力室基板220由si的单晶基板形成。在其他的实施方式中，压力室基板220并不限于si的单晶基板，也可以为例如由以si为主成分的其他的材料、其他的陶瓷材料、玻璃材料等所形成的基板。
39.如图2所示，在压力室基板220上形成有用于形成成为液体的流道的压力室221、油墨供给通道223以及连通部225的、将压力室基板220在z方向上贯穿的孔hl。通过将压力室基板220层压在喷嘴板210上且将后述的振动板231层压在压力室基板220上，从而划分出上述的压力室221、油墨供给通道223和连通部225。另外，也可以例如，在将振动板231层压在压力室基板220上后，形成孔hl的一部分或全部。
40.如图2所示，压力室基板220对多个压力室221进行划分。在本实施方式中，多个压力室221沿着x方向进行排列。通过压力室基板220被层压在喷嘴板210上，多个压力室221分别与喷嘴211连通。在本实施方式中，多个压力室221以与多个喷嘴211的排列相对应的方式在x方向上进行排列。另外，有时也将多个压力室221进行排列的方向称为第一方向。在本实施方式中，第一方向为x方向。
41.如图2所示，多个压力室221分别在从z方向进行观察时具有将y方向设为长边方向的大致平行四边形形状。即，多个压力室221分别沿着y方向延伸。另外，有时也将多个压力室分别延伸的方向称为第二方向。在本实施方式中，第二方向为y方向。
42.连通部225为多个压力室221的每一个共用的空部。连通部225经由油墨供给通道223与多个压力室221的每一个连通。油墨供给通道223以与压力室221相比更窄的宽度而被形成，从而对于从连通部225流入至压力室221的油墨形成流道阻力。
43.如图2所示，压电部230通过在压力室基板220上层压有振动板231以及压电元件240而被构成。
44.振动板231被设置在压电元件240与压力室基板220之间。本实施方式的振动板231具有被形成于压力室基板220上的可挠层232和被形成于可挠层232上的保护层233。可挠层232例如由二氧化硅形成，保护层233例如由氧化锆形成。
45.压电部230通过压电元件240的变形，而使振动板231挠曲，从而能够使压力室221的容积发生变化。有时也将因压电元件240的变形而引起的振动板231的挠曲称为振动或简称为变形。另外，有时也将压电部230称为致动器。此外，对于压电部230的结构和压电元件240的详细在下文中进行记叙。
46.密封部250经由粘合剂而被接合在压电部230上。密封部250具有压电元件保持部251和歧管部252。此外，在密封部250的 z方向侧的面上设置有驱动电路90。
47.在本实施方式中，密封部250使用si单晶基板形成。另外，密封部250也可以由其他的陶瓷材料或玻璃材料等构成。在该情况下，作为密封部250，优选为使用具有与压力室基板220的热膨胀率大致相同的热膨胀率的材料。
48.压电元件保持部251作为密封部250的与压电元件240对置的部分而被设置。压电元件保持部251具有不妨碍压电元件240的运动的程度的空间。压电元件240被保持在该压电元件保持部251的空间内。歧管部252跨密封部250的x方向以及z方向而被形成。歧管部252与压力室基板220的连通部225连通。
49.驱动电路90将用于驱动压电元件240的驱动信号供给至压电元件240。作为驱动电路90，例如，能够使用电路基板或半导体集成电路(ic)等。驱动电路90和压电元件240经由引线电极280以及未图示的电气配线而被电连接。此外，驱动电路90和控制部110经由未图示的电气配线而被电连接。
50.图3为表示液体喷出头200的主要部分的沿着yz平面的截面的示意图。如图3所示，通过对上述的各部件进行层压，从而歧管部252和连通部225连通，而形成成为多个压力室221的每一个共用的液体室的歧管270。另外，喷嘴211、压力室221、油墨供给通道223以及歧管270连通，从而形成油墨的流道。液体喷出头200通过利用压电部230使压力室221的容积发生变化，从而将经由上述的流道被供给至压力室221的液体从喷嘴211喷出。另外，有时也将歧管270称为共用液室或贮液器。
51.图4为对压电部230的概要结构进行说明的图。在图4中，在xy平面中形成有压力室221的部分通过单点划线进行表示。在图4中，第一位置ps1和第二位置ps2通过虚线进行表示。第一位置ps1以及第二位置ps2均表示y方向上的压力室221内的特定的位置。第二位置ps2为，在y方向上与第一位置ps1相比更靠近压力室221的端部的位置。
52.图5为表示第一位置ps1处的压电部230以及压力室基板220的沿着xz平面的截面的图。如上所述，压电部230具备振动板231和压电元件240。
53.本实施方式的压电元件240通过对压电体245、第一电极246、第二电极247进行层压而被构成。
54.在本实施方式中，压电体245由锆钛酸铅(pzt)形成。另外，压电体245代替pzt，也可以由具有以abo3型表示的所谓的钙钛矿结构的其他的种类的陶瓷材料例如钛酸钡、钛酸铅、铌酸钾、铌酸锂、钽酸锂、钨酸钠、氧化锌、钛酸锶钡(bst)、钽酸锶铋(sbt)、偏铌酸铅、铌酸铅锌、铌酸钪铅等形成。此外，压电体245并不限于陶瓷材料，也可以由偏二氟乙烯、水晶等具有压电效果的任意的材料形成。
55.第一电极246是指对于多个压力室221共用地设置的电极。第二电极247是指相对于多个压力室221而单独地设置的电极。有时也将第一电极246称为共用电极，将第二电极247称为单独电极。另外，在图4中，为了易于结构的理解，并未图示出压电体245以及第一电极246。本实施方式的第一电极246被设置为，跨多个压力室221而在x方向上延伸。在图4所示的范围中，第一电极246以跨xy平面的整个面的方式进行设置。此外，在图4中，在压电部230中的、在xy平面中与设置有第二电极247的部分相对应的部分加上了右上的阴影线。更加详细而言，在图4中，加上了右上的深印影线的部分和加上了浅阴影线的部分双方为，与
设置有第二电极247的部分相对应的部分。
56.在本实施方式中，第二电极247被设置在压电体245与振动板231之间。即，第二电极247被设置在压电体245的下部，有时也被称为下部电极。本实施方式的第二电极247沿着作为压力室221的长边方向的y方向延伸。另一方面，第一电极246被设置为，在与第二电极247之间夹着压电体245。即，第一电极246被设置在压电体245的上部，有时也被称为上部电极。第一电极246和第二电极247例如由白金、铱、钛、钨、钽等各种金属、镍酸镧(lanio3)等导电性金属氧化物等形成。
57.在图5中示出了能动区域ac。能动区域ac为，在xy平面中与压电体245的能动部相对应的部分。压电体245的能动部是指，压电体245在z方向上被第一电极246和第二电极247夹着的部分。在压电体245的能动部中，在经由第一电极246以及第二电极247而向压电体245施加电压时，会发生压电变形。压电元件240通过因该压电变形引起的变形，使振动板231发生变形。另外，在图4中，能动区域ac与在xy平面中和设置有第二电极247的部分相对应的部分一致。
58.如图4以及图5所示，振动板231具有第一部分234以及第二部分235。第二部分235为，在x方向上，与第一部分234相比离压力室221的端部更远的部分。第二部分235具有与第一部分234不同的厚度。因此，如图5所示，振动板231在第一部分234与第二部分235的边界处具有阶梯部st。具体而言，本实施方式的第二部分235的厚度与第一部分234的厚度相比较厚。在图4中，在压电部230中的、在xy平面中与振动板231的第二部分235相对应的部分加上了右上的深阴影线。如图4所示，第二部分235沿着y方向延伸，并且在y方向上具有x方向的宽度进行变化的部分。另外，如图4以及图5所示，在xy平面中，有时也将与第一部分234相对应的区域称为第一区域r1，将与第二部分235相对应的区域称为第二区域r2。
59.如图5所示，振动板231在z方向上具有离压力室221较远的第一面236和第一面236的相反侧的第二面237。第一面236为振动板231的 z方向的一面，第二面237为振动板231的
‑
z方向的一面。如图5所示，本实施方式的振动板231的第二部分235具有朝向 z方向突出的形状。第二部分235中的第一面236在作为振动板231的厚度方向的z方向上，相对于第一部分234中的第一面236，位于压力室221的相反侧。z方向上的第二面237的位置在第一部分234以及第二部分235中为相同的位置。另外，在本实施方式中，第一面236由保护层233构成，第二面237由可挠层232构成。此外，厚度方向包括沿着相同的轴的一侧的方向和其相反的方向双方。
60.具有阶梯部st的振动板231例如通过在压力室基板220上形成振动板231并且将所形成的振动板231的一部分去除从而被制作。在本实施方式中，例如，通过利用了光刻胶的掩膜的蚀刻而将在形成压力室221前的压力室基板220上所形成的可挠层232的相当于第一部分234的部分的一部分去除。然后，在可挠层232上形成保护层233。由此，相当于第二部分235的部分由与第一部分234相比被较厚地形成的振动板231制作。在其他的实施方式中，也可以在第一部分234与第二部分235处使保护层233的厚度不同。在振动板231的制作中，也可以实施用于使振动板231的表面平滑的蚀刻等。另外，可挠层232例如通过热氧化或cvd法等被形成在压力室基板220上。保护层233例如通过cvd法等被形成在可挠层232上。此外，在本实施方式中，压力室221例如在振动板231被制作后，通过利用蚀刻等去除压力室基板220的相当于压力室221的部分从而被形成。
61.在压电体245、第一电极246和第二电极247的制作中，也能够通过使用利用了光刻胶的掩膜的蚀刻，对设置各部件的位置、各部件的位置的各自的厚度进行调整。另外，第一电极246和第二电极247例如通过将白金等材料作为靶材料的溅射而被形成。压电元件240例如通过溶胶凝胶法被制作，且被涂敷在振动板231上、第二电极247上。另外，作为涂敷方法，能够使用旋涂法等。
62.如本实施方式那样，通过在第一部分234与第二部分235处使厚度不同，能够使压电部230的中立轴的位置在第一区域r1与第二区域r2处不同。压电部230的中立轴相当于，在沿着压电部230的yz平面的任意的截面中与中立面交叉的轴状的部分。压电部230的中立面是指，在压电部230产生了弯矩时不发生压缩变形以及拉伸变形的面。在本实施方式中，由于压电部230沿着z方向进行挠曲变形，因此中立面为与z方向交叉的面，中立轴为沿着x方向的轴。例如，在压电元件240的能动部以收缩的方式而发生了变形的情况下，在图5所示的第一位置ps1处的截面中，在位于与压电部230的中立轴相比更靠 z方向处的部分中发生压缩变形，且在位于与中立轴相比更靠
‑
z方向处的部分中发生伸拉变形。
63.例如，在本实施方式中，由于第二部分235与第一部分234相比较厚，因此在y方向的各位置，第二区域r2中的中立轴位于与第一区域r1中的中立轴相比更靠 z方向。由此，在第二区域r2中，与第一区域r1中的情况进行比较，压电元件240中的位于与中立轴相比更靠 z方向的部分的比例更大。因此，在第二区域r2中，压电元件240能够通过自身的变形而使振动板231高效地变形。在另一方面，在第一区域r1中，与在第二区域r2中的情况进行比较，压电元件240中的位于与中立轴相比更靠
‑
z方向的部分的比例更大。因此，在第一区域r1中，压电元件240的变形被抑制，从而可以抑制振动板231的过度变形。由于该第一区域r1在x方向上与第二区域r2相比更靠近压力室221的端部，因此压电部230中的第一区域r1所包括的部分容易因振动板231的过度变形而破损。因此，通过第一部分234薄于第二部分235，可以有效地抑制压电部230的破损。
64.图6为表示第二位置ps2处的压电部230以及压力室基板220的截面的图。如图4至图6所示，第二位置ps2处的第二部分235的x方向的宽度即第二宽度w2与第一位置ps1处的第二部分235的x方向的宽度即第一宽度w1相比较小。
65.在本实施方式中，由于第二部分235延伸至第二位置ps2，因此与第二部分235未延伸至第二位置ps2的情况比较，压电元件240能够更加有效地使振动板231发生变形。
66.此外，通过第二宽度w2小于第一宽度w1，从而第二位置ps2处的第一区域r1与第二区域r2的边界位于和第一位置ps1处的第一区域r1与第二区域r2的边界相比在x方向上离压力室221的端部更远的位置。由于该第一区域r1与第二区域r2的边界为在振动板231中产生阶梯部st的部分，因此应力易于集中。另外，由于第二位置ps2处的、在x方向上靠近压力室221的端部的部分为在x方向以及y方向上靠近压力室221的端部的部分，因此为更加易于破损的部分。因此，通过第二宽度w2小于第一宽度w1，能够使在x方向以及y方向上靠近压力室221的端部的部分中的应力的集中得以缓和，因而可以有效地抑制压电部230的破损。
67.图7为表示图4所示的压电部230的
ⅶ‑ⅶ
截面的图。在图4以及图7中，除了上述的第一位置ps1和第二位置ps2以外，还示出了第三位置ps3。第三位置ps3是指在y方向上压力室221延伸的范围外的位置。在本实施方式中，如图4以及图7所示，振动板231的第一部分234以及第二部分235延伸至第三位置ps3。如图4所示，在第三位置ps3处，第二部分235的x
方向的第三宽度w3与第二宽度w2相等。在本实施方式中，第三位置ps3处的压电部230以及压力室基板220的截面的形状与图6所示的第二位置ps2处的形状相同。另外，第三宽度w3只要为第二宽度w2以下即可，在其他的实施方式中，也可以为例如第三宽度w3小于第二宽度w2。
68.通过第二部分235延伸至第三位置ps3，从而与第二部分235未延伸至第三位置ps3的情况进行比较，即使在更靠近压力室221的y方向的端部的部分，也能够获得振动板231的阶梯部st所带来的效果。例如，在本实施方式中，压电元件240在更靠近压力室221的y方向的端部的部分，能够更加有效地使振动板231变形。此外，通过第三宽度w3为第二宽度w2以下，从而即使在第二部分235延伸至第三位置ps3的情况下，也能够抑制压力室221的x方向以及y方向的端部附近处的压电部230的损伤。
69.在本实施方式中，如图4以及图6所示，第二电极247的第二位置ps2处的x方向的宽度we2大于第二宽度w2。另外，本实施方式的第二电极247在第二位置ps2处对第二部分235进行覆盖。另外，在本实施方式中，第二电极247的第一位置ps1处的x方向的宽度以及第三位置ps3处的x方向的宽度与宽度we2相等。此外，宽度we2大于第一宽度w1。另外，在本实施方式中，第二电极247在第一位置ps1、第三位置ps3也对第二部分235进行覆盖。
70.如图6所示，通过第二电极247的宽度we2大于第二部分235的第二宽度w2，从而在第二位置ps2处，第一区域r1的一部分以及第二区域r2包含在能动区域ac内。如上所述，在本实施方式中，由于第二区域r2中的中立轴位于与第一区域r1中的中立轴相比更靠 z方向的位置，因此在将电压施加在压电元件240上时，能够在使第一部分234变形的同时，使该变形与第二部分235的变形相比较小。因此，在第二位置ps2处，第一部分234与第二部分235的x方向的边界附近处的应力的集中被进一步缓和。
71.根据以上所说明的第一实施方式的液体喷出头200，振动板231的第二部分235的、在第二方向上与第一位置ps1相比更靠近压力室221的端部的第二位置ps2处的第二宽度w2小于第一位置ps1处的第一宽度w1。因此，在第一方向上，在靠近振动板231的端部的部分与远离端部的中央部分之间设置阶梯部st的情况下，即使在压力室221的第二方向的端部附近处，也能够获得振动板231的阶梯部st的效果，并且，能够抑制压力室221的第二方向的端部附近处的振动板231和压电元件240的损伤。
72.此外，在本实施方式中，振动板231的第二部分235在第二方向上延伸至压力室221延伸的范围外的第三位置ps3，且第二部分235的第三位置ps3处的第三宽度w3为第二宽度w2以下。因此，即使在与压力室221的第二方向的端部相比更靠近部分处也能够获得振动板231的阶梯部st的效果，并且，能够抑制在压力室221的第二方向的端部附近处振动板231和压电元件240的损伤。
73.此外，在本实施方式中，第二部分235的厚度厚于第一部分234的厚度。因此，振动板231的耐久性在第一部分234中得以提高。此外，在压力室221的与第二部分235相对应的部分中，提高了压力室221的容积变化量，从而提高了液体喷出头200的喷出液体的效率。
74.此外，在本实施方式中，在z方向上，第二部分235中的第一面236相对于第一部分234中的第一面236位于压力室221的相反侧，第一部分234中的第二面237的位置为与第二部分235中的第二面237的位置相同的位置。因此，能够通过简易的结构，使第二部分235厚于第一部分234。
75.此外，在本实施方式中，压电元件240由压电体245、对于多个压电体245共用地设置的第一电极246和相对于多个压电体245独立地设置的第二电极247层压而被构成。即使为这样的方式，在第一方向上，在靠近振动板231的端部的部分与远离端部的中央部分之间设置阶梯部st的情况下，也能够抑制压力室221的第二方向的端部附近处的振动板231和压电元件240的损伤。
76.此外，在本实施方式中，第二电极247被设置在压电体245与振动板231之间，第一电极246被设置为，在与所述第二电极247之间夹着压电体245。因此，即使在第一电极246为所谓的上部电极、第二电极247为所谓的下部电极的情况下，也能够抑制压力室221的第二方向的端部附近处的振动板231和压电元件240的损伤。
77.此外，在本实施方式中，第二电极247的第二位置ps2处的第一方向的宽度we2大于第二宽度w2。由此，通过在第二位置ps2处使第二电极247和对应于第一部分234与第二部分235的边界附近的部分重叠，从而可以抑制振动板231和压电元件240的、对应于第一部分234与第二部分235的边界附近的部分的损伤。
78.此外，在本实施方式中，第二电极247在第二位置ps2对第二部分235进行覆盖。因此，在第二位置ps2处，第一部分234与第二部分235的边界附近被第二电极247直接支承，从而可以抑制振动板231和压电元件240的、对应于第一部分234与第二部分235的边界附近的部分的损伤。
79.b.第二实施方式：
80.图8为表示第二实施方式中的压电部230b以及压力室基板220的、沿着yz平面的截面的图。在本实施方式中，与第一实施方式不同，作为压电元件240b的共用电极的第一电极246b被设置在压电体245与振动板231之间。另一方面，作为单独电极的第二电极247b被设置为，在与第一电极246b之间夹着压电体245。即，在本实施方式中，第一电极246b相当于下部电极，第二电极247b相当于上部电极。另外，关于第二实施方式的液体喷出装置100以及液体喷出头200的结构中的未特别地说明的部分，与第一实施方式相同。
81.图9为表示第一位置ps1处的压电部230b以及压力室基板220的截面的图。图10为表示第二位置ps2处的压电部230b以及压力室基板220的截面的图。如图9以及图10所示，本实施方式的振动板231与第一实施方式同样地具有第一部分234以及第二部分235。此外，第二部分235具有与第一部分234不同的厚度。另外，与第一实施方式同样地，第二部分235为与第一部分234相比较厚的部分。
82.通过以上说明的第二方式的液体喷出头200，也能够在第一方向上在靠近振动板231的端部的部分与远离端部的中央部分之间设置阶梯部st的情况下，抑制压力室221的第二方向的端部附近处的振动板231和压电元件240的损伤。特别是，在本实施方式中，由于即使在第一电极246b为所谓的下部电极且第二电极247b为所谓的上部电极的情况下也可以获得效果，因此提高了压电元件240的结构的自由度。
83.c.第三实施方式：
84.图11为对第三实施方式中的压电部230c的概要结构进行说明的图。在本实施方式中，与第一实施方式不同，第二电极247c的第一位置ps1处的x方向的宽度we1小于振动板231的第一宽度w1。另外，在图11中，在与第二部分235相对应的部分加上了右上的阴影线，在与第二电极247c相对应的部分加上了右下的阴影线。在图11中加上了两方的阴影线的部
分为第二部分235，并且，与设置有第二电极247c的部分相对应。此外，关于第三实施方式的液体喷出装置100以及液体喷出头200的结构中的未特别地说明的部分，与第一实施方式相同。
85.本实施方式的第二电极247c也在第一位置ps1以及第三位置ps3处具有宽度we1。宽度we1大于第二宽度w2以及第三宽度w3。
86.如图11所示，通过第二电极247的宽度we1小于第二部分235的第一宽度w1，从而在第一位置ps1处，在第二部分235与第一部分234的边界附近处产生了能动区域ac内与能动区域ac外的边界。因此，在第一位置ps1处，振动板231的变形在第二部分235的端部附近处未被阻碍，因此压电元件240能够在第一位置ps1处使振动板231有效地进行变形。
87.通过以上说明的第二方式的液体喷出头200，也能够在第一方向上在靠近振动板231的端部的部分与远离端部的中央部分之间设置阶梯部st的情况下，抑制压力室221的第二方向的端部附近处的振动板231和压电元件240的损伤。特别是，在本实施方式中，提高了第一位置ps1中的压力室221的容积变化量，从而提高了液体喷出头200的喷出液体的效率。
88.d.第四实施方式：
89.图12为对第四实施方式中的压电部230d的概要结构进行说明的图。本实施方式的振动板231与第一实施方式不同，在第一位置ps1处，与第二部分235在x方向上隔着第一部分234而具有第三部分238。在xy平面中，在与该第三部分238重叠的位置未设置有压电体245d。另外，在图12中，压电部230d中的、与第三部分238相对应的部分通过双点划线和右下的阴影线来表示。此外，关于第四实施方式的液体喷出装置100以及液体喷出头200的结构中的未特别地说明的部分，与第一实施方式相同。
90.图13为表示第一位置ps1处的压电部230d以及压力室基板220的截面的图。如上所述，本实施方式的振动板231在第一位置ps1处具有第三部分238，该第三部分238与第二部分235在x方向上隔着第一部分234。另外，如图12以及图13所示，在xy方向上，有时也将与第三部分238相对应的区域称为第三区域r3。此外，如图12所示，振动板231在第二位置ps2处不具有第三部分238。
91.如图13所示，在本实施方式中，在第一位置ps1处，在第三区域r3中设置有第一电极246d，而未设置有压电体245d。另外，如本实施方式那样的压电元件240d例如能够通过在利用蚀刻去除了第三区域r3的压电体245后层压第一电极246d来形成。
92.另外，在本实施方式中，振动板231只要在至少第一位置ps1处具有第三部分238即可。因此，振动板231也可以例如在第二位置ps2、第三位置ps3处也具有第三部分238。
93.通过以上说明的第四实施方式的液体喷出头200，也能够在第一方向上在靠近振动板231的端部的部分与远离端部的中央部分之间设置阶梯部st的情况下，抑制压力室221的第二方向的端部附处的振动板231和压电元件240d的损伤。特别是，在本实施方式中，振动板231至少在所述第一位置ps1处具有第三部分238，在第一方向以及第二方向上，在与第三部分238重叠的位置未设置有压电体245d。因此，振动板231的变形在第一位置ps1处的压力室221的第一方向的端部附近处不容易被压电体245d阻碍，因此提高了压力室221的容积变化量，从而提高了液体喷出头200的喷出液体的效率。
94.e.第五实施方式：
95.图14为对第五实施方式中的压电部230e的概要结构进行说明的图。本实施方式的
压电部230e与第一实施方式不同，具备被层压在压电元件240上的金属层260。在图14中，设置于压电部230e的金属层260通过双点划线和网点状的阴影线来表示。另外，关于第五实施方式的液体喷出装置100以及液体喷出头200的结构中的未特别地说明的部分，与第一实施方式相同。
96.在本实施方式中，金属层260被层压在第一电极246上。金属层260例如由金(au)等形成。金属层260例如在形成图2以及图3所示的引线电极280之际，被一起形成。在这种情况下，例如，通过溅射法、真空蒸镀法或者cvd法等而形成au薄膜，且利用蚀刻等去除所形成的au薄膜的一部分，从而能够形成金属层260以及引线电极280。另外，金属层260也可以例如，在与第一电极246之间夹着紧贴层而进行层压。在这种情况下，紧贴层例如由钛、镍、铬以及它们的合金等形成。
97.如图14所示，金属层260在x方向以及y方向上，延伸至压力室221所延伸的范围外。具体而言，金属层260在x方向以及y方向上，以从压力室221所延伸的范围内跨至压力室221所延伸的范围外的方式延伸。另外，金属层260在y方向上，和第二部分235的具有与第一宽度w1相比较小的宽度的部分重叠。因此，在y方向上，以和第一部分234与第二部分235的边界重叠的方式而设置有金属层260，因此在第一部分234与第二部分235的边界附近处，可以通过金属层260抑制振动板231的过度变形。
98.根据以上说明的第五实施方式的液体喷出头200，也能够在第一方向上在靠近振动板231的端部的部分与远离端部的中央部分之间设置阶梯部st的情况下，抑制压力室221的第二方向的端部附近处的振动板231和压电元件240的损伤。特别是，在本实施方式中，由于在第二方向上，以与第一部分234和第二部分235的边界重叠的方式而设置有金属层260，因此在第一部分234和第二部分235的边界附近处，可以通过金属层260抑制振动板231的过度变形。
99.f.第六实施方式：
100.图15为表示第一位置ps1处的、第六实施方式的压电部230f以及压力室基板220的截面的图。图16为表示第二位置ps2处的、第六实施方式的压电部230f以及压力室基板220的截面的图。在本实施方式中，与第一实施方式不同，振动板231f的第二部分235f的厚度薄于第一部分234f的厚度。关于第六实施方式的液体喷出装置100以及液体喷出头200的结构中的未特别说明的部分，与第一实施方式相同。
101.如图15所示，在本实施方式中，与第三实施方式同样地，在第一位置ps1处，压电元件240f的第二电极247f的宽度we1小于第二部分235f的第一宽度w1。另外，第二电极247f也在第一位置ps1、第三位置ps3处具有宽度we1。此外，振动板231f与第四实施方式同样地，具有第三部分238f。在xy平面中在与第三部分238f重叠的位置，未设置有压电体245f，而设置有第一电极246f。另外，在其他实施方式中，振动板231f也可以不具有第三部分238f。
102.如图15以及图16所示，本实施方式的第二部分235f的第二宽度w2与第一实施方式同样地小于第一宽度w1。
103.如上所述，本实施方式的第二部分235f的厚度薄于第一部分234f的厚度。如图5所示，本实施方式的振动板231f的第二部分235f具有朝向 z方向凹陷的形状。第二部分235f中的第一面236的位置在作为振动板231的厚度方向的z方向上为与第一部分234f中的第一面236f的位置相同的位置。相对于此，第二部分235f中的第二面237f在z方向上，相对于第
一部分234f中的第二面237f，位于压力室221的相反侧。另外，在本实施方式中，与第一实施方式同样地，第一面236f由保护层233f构成，第二面237f由可挠层232f构成。
104.在本实施方式中，由于第一部分234f的厚度厚于第二部分235f的厚度，因此能够在第一位置ps1、第二位置ps2处抑制压力室221的x方向的端部附近处的振动板231f的损伤。
105.即使通过以上说明的第六实施方式的液体喷出头200，也能够在第一方向上在靠近振动板231f的端部的部分与远离端部的中央部分之间设置阶梯部st的情况下，抑制压力室221的第二方向的端部附近处的振动板231f和压电元件240f的损伤。
106.g.其他的实施方式：
107.(g
‑
1)在上述实施方式中，第二部分235在第二方向上延伸至作为压力室221延伸的范围外的位置的第三位置ps3。相对于此，第二部分235也可以在第二方向上不延伸至第三位置ps3。例如，第二部分235也可以在第二方向上延伸至第二位置ps2，而不延伸至第三位置ps3。
108.(g
‑
2)在上述实施方式中，第二电极247的第二位置ps2处的第一方向的宽度we2大于第二部分235的第二位置ps2处的第二宽度w2。相对于此，宽度we2既可以小于第二宽度w2，又可以为与第二宽度w2相同的大小。
109.(g
‑
3)在上述的第三实施方式至第六实施方式中，第二电极247被设置在压电体245与振动板231之间，第一电极246被设置为，在与所述第二电极247之间夹着压电体245。相对于此，在第三实施方式至第六实施方式中，也可以与第二实施方式同样地，第一电极246被设置在压电体245与振动板231之间，第二电极247被设置为，在与第一电极246之间夹着压电体245。另外，在与第二实施方式相同的方式中，另外，与第五实施方式同样地，在第三区域r3中未设置压电体245的情况下，也可以在第一电极246上形成保护膜等。
110.h.其他的方式：
111.本公开并不限于上述的实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够通过各种方式来实现。例如，本公开也能够通过以下方式来实现。为了解决本公开的课题的一部分或者全部，或者，达成本公开的效果的一部分或者全部，与在下文中记载的各方式中的技术性的特征相对应的上述实施方式中的技术性特征能够适当地进行替换或组合。此外，该技术性的特征在本说明书中如果未作为必要技术特征被说明，则能够适当地删除。
112.(1)根据本公开的第一方式，提供一种液体喷出头，该液体喷出头具有压电元件；压力室基板，其对与所述压电元件相对应的压力室进行划分；振动板，其被设置在所述压电元件与所述压力室基板之间。在该液体喷出头中，在将多个所述压力室进行排列的方向设为第一方向，将多个所述压力室各自延伸的方向设为第二方向，将所述第二方向上的所述压力室内的特定的位置设为第一位置，将所述第二方向上的所述压力室内的特定的位置且在所述第二方向上与所述第一位置相比更靠近所述压力室的端部的位置设为第二位置时，所述振动板在所述第一位置以及所述第二位置处，具有第一部分和第二部分，该第二部分在所述第一方向上与所述第一部分相比离所述压力室的端部更远，且具有与所述第一部分不同的厚度。在所述第一位置处，所述第二部分的所述第一方向上的宽度为第一宽度，在所述第二位置处，所述第二部分的所述第一方向上的宽度为，与所述第一宽度相比较小的第二宽度。
113.根据这样的方式，在第一方向上，在靠近振动板的端部的部分与远离端部的中央部分之间设置阶梯部的情况下，即使在压力室的第二方向的端部附近处也能够获得振动板的阶梯部的效果，并且，能够抑制压力室的第二方向的端部附近处的振动板和压电元件的损伤。
114.(2)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述第一部分以及所述第二部分在所述第二方向上延伸至作为所述压力室延伸的范围外的位置的第三位置，在所述第三位置处，所述第二部分的所述第一方向上的宽度为所述第二宽度以下。根据这样的方式，即使在更靠近压力室的第二方向的端部的部分处也能够获得振动板的阶梯部的效果，并且，能够抑制在压力室的第二方向的端部附近处振动板和压电元件的损伤。
115.(3)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述第二部分的厚度大于所述第一部分的厚度。根据这样的方式，振动板的耐久性在第一部分中得以提高，从而在压力室的与第二部分相对应的部分中提高了压力室的容积变化量，因此提高了液体喷出头的喷出液体的效率。
116.(4)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述振动板在厚度方向上具有作为离所述压力室较远的一面的第一面和所述第一面的相反侧的第二面，在所述厚度方向上，所述第二部分中的所述第一面相对于所述第一部分中的所述第一面，位于所述压力室的相反侧，在所述厚度方向上，所述第一部分中的所述第二面的位置为，与所述第二部分中的所述第二面的位置相同的位置。根据这样的方式，能够通过简易的结构，使第二部分厚于第一部分。
117.(5)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述第二部分的厚度小于所述第一部分的厚度。根据这样的方式，即使在第二部分的厚度薄于第一部分的厚度的情况下，也能够抑制压力室的第二方向的端部附近处的振动板和压电元件的损伤。
118.(6)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述振动板在厚度方向上具有作为离所述压力室较远的一面的第一面和所述第一面的相反侧的第二面，在所述厚度方向上，所述第一部分中的所述第一面的位置为，与所述第二部分中的所述第一面的位置相同的位置，在所述厚度方向上，所述第二部分中的所述第二面相对于所述第一部分中的所述第二面，位于所述压力室的相反侧。根据这样的方式，能够通过简易的结构，使第二部分薄于第一部分。
119.(7)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述压电元件由压电体、第一电极和第二电极层压而构成，所述第一电极对于多个所述压力室被共用地设置，所述第二电极对于多个所述压力室被单独地设置。
120.(8)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述第一电极被设置在所述压电体与所述振动板之间，所述第二电极被设置为，在与所述第一电极之间夹着所述压电体。根据这样的方式，即使在第一电极246为所谓的下部电极、第二电极247为所谓的上部电极的情况下，也能够抑制压力室的第二方向的端部附近处的振动板和压电元件的损伤。因此，提高了压电元件的结构的自由度。
121.(9)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述第二电极被设置在所述压电体与所述振动板之间，所述第一电极被设置为，在与所述第二电极之间夹着所述压电体。根据这样的方式，即使在第一电极为所谓的上部电极、第二电极为所谓的下部
电极的情况下，也能够抑制压力室的第二方向的端部附近处的振动板和压电元件的损伤。因此，提高了压电元件的结构的自由度。
122.(10)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述第二电极的所述第二位置处的所述第一方向上的宽度大于所述第二宽度。根据这样的方式，通过在第二位置处使第二电极与对应于第一部分与第二部分的边界附近的部分重叠，从而可以抑制振动板和压电元件的、对应于第一部分与第二部分的边界附近的部分的损伤。
123.(11)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述第二电极在所述第二位置处对所述第二部分进行覆盖。根据这样的方式，通过在第二位置处第一部分与第二部分的边界附近被第二电极直接支承，从而可以抑制振动板和压电元件的、对应于第一部分与第二部分的边界附近的部分的损伤。
124.(12)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述第二电极的所述第一位置处的所述第一方向上的宽度小于所述第一宽度。根据这样的方式，提高了第一位置处的压力室的容积变化量，从而提高了液体喷出头的喷出液体的效率。
125.(13)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，所述振动板至少在所述第一位置处具有第三部分，该第三部分与所述第二部分在所述第一方向上隔着所述第一部分，在所述第一方向以及所述第二方向上，在与所述第三部分重叠的位置未设置有所述压电体。根据这样的方式，振动板的变形在第一位置处的压力室的第一方向的端部附近处不容易被压电体阻碍，因此提高了压力室的容积变化量，从而提高了液体喷出头的喷出液体的效率。
126.(14)在上述方式的液体喷出头中，也可以设为如下的方式，即，具备金属层，该金属层被层压在所述压电元件上，所述金属层在所述第一方向以及第二方向上，和所述第二部分的具有与所述第一宽度相比较小的宽度的部分重叠，并且，延伸至所述压力室延伸的范围外。根据这样的方式，在第二方向上，以和第一部分与第二部分的边界重叠的方式而设置有金属层，因此可以在第一部分与第二部分的边界附近处抑制振动板的过度变形。
127.(15)根据本公开的第二方式，提供一种液体喷出装置。该液体喷出装置具备上述第一方式中的液体喷出头；控制部，其对所述液体喷出头的喷出动作进行控制。
128.根据这样的方式，压电元件在第二方向上的压力室的端部附近处，在第一方向上在靠近振动板的端部的部分与远离端部的中央部分之间设置阶梯部的情况下，即使在压力室的第二方向的端部附近处也能够获得振动板的阶梯部的效果，并且，能够抑制压力室的第二方向的端部附近处的振动板和压电元件的损伤。
129.(16)根据本公开的第三方式，提供一种致动器，该致动器具有压电元件和振动板，该振动板被设置在与所述压电元件相对应的压力室和所述压电元件之间。在该致动器中，其特征在于，在将多个所述压力室进行排列的方向设为第一方向，将多个所述压力室各自延伸的方向设为第二方向，将所述第二方向上的所述压力室内的特定的位置设为第一位置，将所述第二方向上的所述压力室内的特定的位置且在所述第二方向上与所述第一位置相比更靠近所述压力室的端部的位置设为第二位置时，所述振动板在所述第一位置以及所述第二位置处，具有第一部分和第二部分，该第二部分在所述第一方向上与所述第一部分相比离所述压力室的端部更远，且具有与所述第一部分不同的厚度。在所述第一位置处，所述第二部分的所述第一方向上的宽度为第一宽度，在所述第二位置处，所述第二部分的所
述第一方向上的宽度为，与所述第一宽度相比较小的第二宽度。
130.根据这样的方式，在第一方向上在靠近振动板的端部的部分与远离端部的中央部分之间设置阶梯部的情况下，即使在压力室的第二方向的端部附近处也能够获得振动板的阶梯部的效果，并且，能够抑制压力室的第二方向的端部附近处的振动板和压电元件的损伤。
131.本公开并不限于设为上述的液体喷出头、液体喷出装置或致动器的方式，能够通过液体喷出系统、具备液体喷出装置的复合机等各种方式来实现。
132.符号说明
133.40
…
滑架；41
…
柔性电缆；46
…
驱动电机；47
…
驱动带；51
…
输送电机；55
…
压印板；80
…
墨盒；90
…
驱动电路；100
…
液体喷出装置；110
…
控制部；200
…
液体喷出头；210
…
喷嘴板；211
…
喷嘴；220
…
压力室基板；221
…
压力室；223
…
油墨供给通道；225
…
连通部；230、230b、230c、230d、230e、230f
…
压电部；231、231f
…
振动板；232、232f
…
可挠层；233、233f
…
保护层；234、234f
…
第一部分；235、235f
…
第二部分；236、236f
…
第一面；237、237f
…
第二面；238、238f
…
第三部分；240、240b、240d、240f
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压电元件；245、245d、245f
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压电体；246、246b、246d、246f
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第一电极；247、247b、247c、247f
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第二电极；250
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密封部；251
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压电元件保持部；252
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歧管部；260
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金属层；270
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歧管；280
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引线电极。