用于打印头的管芯的制作方法

技术特征：
1.一种用于打印头的管芯，所述管芯包括：多个流体馈送孔，所述多个流体馈送孔布置成平行于所述管芯的纵向轴线的行；多个射流致动器，所述多个射流致动器布置成平行于所述多个流体馈送孔的行；以及裂纹检测器迹线，所述裂纹检测器迹线被布线在所述多个流体馈送孔中的各个流体馈送孔之间。2.如权利要求1所述的管芯，其中，所述多个流体馈送孔被蚀刻穿过所述管芯的硅衬底。3.如权利要求1或2所述的管芯，其中，所述裂纹检测器迹线被布线为围绕所述多个流体馈送孔中的每个流体馈送孔。4.如权利要求1至3中任一项所述的管芯，其中，所述裂纹检测器迹线包括多种导电材料。5.如权利要求1至4中任一项所述的管芯，其中，所述裂纹检测器迹线包括多晶硅层或金属层中的至少一种。6.如权利要求1至5中任一项所述的管芯，其中，所述裂纹检测器迹线通过感测总线导电连接至外感测垫。7.如权利要求1至6中任一项所述的管芯，其中，所述感测总线被热传感器共享。8.如权利要求1至7中任一项所述的管芯，其中，所述裂纹检测器迹线和所述热传感器布置在同一硅管芯上。9.一种用于在用于打印头的管芯上形成裂纹检测器迹线的方法，所述方法包括：蚀刻多个流体馈送孔为平行于衬底的纵向轴线的行；以及在所述衬底上形成多个层，以形成所述裂纹检测器迹线，其中，所述裂纹检测器迹线布线在所述多个流体馈送孔中的各个流体馈送孔之间。10.如权利要求9所述的方法，包括从脆性材料形成所述裂纹检测器迹线。11.如权利要求9或10所述的方法，包括从脆性材料形成所述裂纹检测器迹线在两个流体馈送孔之间并垂直于所述纵向轴线的部分。12.如权利要求9至11中任一项所述的方法，包括从柔性导体形成所述裂纹检测器迹线的平行于所述纵向流体馈送孔的部分。13.如权利要求9至12中任一项所述的方法，包括从金属形成所述裂纹检测器迹线的平行于纵向流体馈送孔的部分，以及从脆性材料形成所述裂纹检测器迹线在任何两个流体馈送孔之间并垂直于所述纵向轴线的部分。14.如权利要求9至13中任一项所述的方法，包括从多晶硅形成所述裂纹检测器迹线的至少一部分。15.如权利要求9至14中任一项所述的方法，包括从金属形成所述裂纹检测器迹线的至少一部分。16.如权利要求9至15中任一项所述的方法，包括形成将所述裂纹检测器迹线导电连接至感测总线的层。

技术总结
本文描述了一种用于打印头的管芯。该管芯包括：多个流体馈送孔，这些流体馈送孔布置成平行于管芯的纵向轴线的行。多个射流致动器布置成平行于流体馈送孔的行。裂纹检测器迹线布线在多个流体馈送孔中的每个之间。线在多个流体馈送孔中的每个之间。线在多个流体馈送孔中的每个之间。


技术研发人员：J
受保护的技术使用者：惠普发展公司，有限责任合伙企业
技术研发日：2019.02.06
技术公布日：2021/9/13