气体流速测量装置及系统的制作方法

技术特征：
1.一种气体流速测量装置，其特征在于，所述装置包括：光源、光纤、气体腔、石墨烯薄膜、金属颗粒层和光探测器，所述光纤的两侧分别设置有所述光源和所述气体腔，且所述光源产生的光信号通过所述光纤达到所述气体腔的内部，所述气体腔内部与所述光纤相对的面设置为石墨烯薄膜，所述石墨烯薄膜靠近所述光纤的一侧设置有金属颗粒层，所述气体腔的两个相对的面上分别设置有进气口和出气口，所述光探测器设置在所述气体腔远离所述光纤的一侧，用于检测所述气体腔出射的光信号的共振波长。2.根据权利要求1所述的气体流速测量装置，其特征在于，所述装置还包括第一弹性部和第二弹性部，所述第一弹性部和所述第二弹性部分别设置在所述石墨烯薄膜的两端，用于将所述石墨烯薄膜进行固定，且所述第一弹性部靠近所述进气口，所述第二弹性部靠近所述出气口。3.根据权利要求2所述的气体流速测量装置，其特征在于，所述第一弹性部的弹性系数小于所述第二弹性部的弹性系数。4.根据权利要求3所述的气体流速测量装置，其特征在于，所述装置还包括：第一阀门和第二阀门，所述第一阀门设置在所述进气口，所述第二阀门设置在所述出气口，所述第一阀门和所述第二阀门分别用于控制所述进气口和所述出气口的打开和闭合。5.根据权利要求4所述的气体流速测量装置，其特征在于，所述出气口和所述进气口不对称设置，且所述进气口靠近所述光纤设置，所述出气口远离所述光纤设置。6.根据权利要求5所述的气体流速测量装置，其特征在于，所述金属颗粒层的金属颗粒靠近所述进气口的一侧金属颗粒的数量大于靠近所述出气口一侧的金属颗粒的数量。7.根据权利要求6所述的气体流速测量装置，其特征在于，所述金属颗粒层的材料为贵金属材料。8.一种气体流速测量系统，其特征在于，所述系统包括：处理器、显示器和权利要求1
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7任意一项所述的气体流速测量装置，所述显示器和所述处理器依次与所述气体流速测量装置的光探测器电连接，所述处理器用于根据气体腔出射的共振波长与待测气体流速的关系，得到气体流速，所述显示器用于将得到的气体流速进行显示。

技术总结
本申请涉及气体流速测量装置及系统，具体而言，涉及气体流速检测领域。本申请提供的气体流速测量装置；当需要对待测气体流速进行检测时，将待测气体通入到该气体流速测量装置的气体腔中，在气体的压强作用下，石墨烯薄膜的形状发生改变，进而改变金属颗粒层中金属颗粒的间距，从而改变金属颗粒层中的金属颗粒与光信号的共振情况，光源产生的光信号在气体腔中与金属颗粒发生共振，由于金属颗粒层中的金属颗粒与光信号的共振情况发生改变，则到达光探测器的光信号的量发生改变，通过光探测器检测气体腔出射的光信号的共振波长的变化，并通过气体腔出射的共振波长的变化与待测气体流速的关系，得到气体流速。得到气体流速。得到气体流速。


技术研发人员：吉鹏勃 范鸿
受保护的技术使用者：西安柯莱特信息科技有限公司
技术研发日：2021.07.27
技术公布日：2021/10/23