一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置的制作方法

1.本技术涉及真空传感器校准技术领域,具体涉及一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置。


背景技术：

2.目前，真空传感器广泛应用于航天、航空等多领域，且多数情况使用于高低温条件下，而真空传感器常规的校准均是在常温下进行，与实际的使用工况并不相符。真空传感器在使用过程中数据的准确与稳定，往往对整个系统或机器起着至关重要的作用，因此，在高低温工况下对真空传感器进行校准是十分必要的。


技术实现要素：

3.鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置。
4.本技术提供一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，包括浴油控温箱、真空标准室和标准真空规；浴油控温箱分别与第一真空组件和温控组件连接，用于安装被校准真空规；被校准真空规和标准真空规的探测头分别位于真空标准室内；真空标准室分别与第二真空组件和调压组件连接。
5.进一步的，第一真空组件包括第一机械泵和手阀；手阀安装在第一机械泵与浴油控温箱之间。
6.进一步的，第二真空组件包括第二机械泵、插板阀和稳压室；第二机械泵与稳压室连接；插板阀连接在稳压室与第二机械泵之间；稳压室与真空标准室连接，对接处设有带孔的隔板。
7.进一步的，还包括分子泵；分子泵串联在插板阀与第二机械泵之间；第二机械泵与分子泵之间还串联有电磁阀。
8.进一步的，浴油控温箱包括设有中空夹层的筒体；筒体的两端分别安装有上法兰和下法兰；上法兰上安装有穿舱电连接器；下法兰上安装有工装连接件。
9.进一步的，温控组件包括浴油机组；筒体的侧壁上对应浴油机组分别设有浴油进口和浴油出口。
10.进一步的，上法兰上对应第一真空组件设有匹配的抽气接口。
11.进一步的，调压组件包括针阀；针阀安装在真空标准室上，用于调节真空标准室内的压力。
12.本技术具有的优点和积极效果是：
13.本技术方案通过第一真空组件和温控组件可在浴油温控箱内模拟出真空高低温环境，确保被校准真空规处于相应的应用环境中，再通过与标准真空规同时测量真空标准室的压力，即可根据标准真空规的测量值进行对被校准真空规进行校准。
附图说明
14.图1为本技术实施例提供的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置的结构示意图；
15.图2为本技术实施例提供的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置的浴油控温箱的结构示意图。
16.图中所述文字标注表示为：100
‑
浴油控温箱；110
‑
被校准真空规；120
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第一机械泵；130
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手阀；140
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浴油机组；150
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筒体；151
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浴油进口；152
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浴油出口；160
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上法兰；161
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穿舱电连接器；162
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抽气接口；170
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下法兰；171
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工装连接件；200
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真空标准室；210
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标准真空规；220
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第二机械泵；230
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插板阀；240
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稳压室；241
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隔板；250
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分子泵；260
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电磁阀；270
‑
针阀。
具体实施方式
17.为了使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本技术的保护范围有任何的限制作用。
18.请参考图1
‑
2，本实施例提供一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，包括浴油控温箱100、真空标准室200和标准真空规210；浴油温控箱100用于安装被校准真空规110，可模拟出真空高低温环境；真空标准室200的真空度可调，被校准真空规110和标准真空规210通过同时对真空标准室200进行测量，根据差值即可对被校准真空规110进行校准。
19.在一优选实施例中，浴油控温箱100分别与第一机械泵120和浴油机组140连接；第一机械泵120用于对浴油控温箱100进行抽真空，可任意控制浴油控温箱100内的压力处于1个大气压至10
‑
6pa之间；浴油机组140用于调控浴油温控箱100内的温度，可有效控制浴油控温箱100内的温度处于
‑
70℃～ 150℃之间。
20.优选的，第一机械泵120与浴油控温箱100之间还设有手阀130；手阀130用于控制第一机械泵120与浴油控温箱100之间的通断，浴油控温箱100内的压力达到指定压力后，通过手阀130切断第一机械泵120与浴油控温箱100可进行有效保压。
21.在一优选实施例中，浴油机组140通过油管与浴油控温箱100内的中空夹层连接；浴油控温箱100包括设有中空夹层的筒体150；筒体150的两端分别安装有上法兰160和下法兰170，且与上法兰160和下法兰170之间还分别设有密封圈。
22.优选的，上法兰160上分别设有穿舱电连接器161和抽气接口162；穿舱电连接器161可将被校准真空规110的测量数据以及温度数据传至浴油控温箱100的外部，从而进行外部采集和记录；抽气接口162用于和第一机械泵120连接。
23.优选的，下法兰170上安装有工装连接件171；被校准真空规110通过工件连接件171与浴油控温箱(100)固定连接。
24.优选的，筒体150的侧壁上还分别设有浴油进口151和浴油出口152；浴油机组140通过油管分别与浴油进口151和浴油出口152连接，形成环路，油介质通过在环路内流动从而控制浴油控温箱(100)内的温度。
25.在一优选实施例中，真空标准室200分别与第二机械泵220和针阀270；第二机械泵
220用于对真空标准室200进行抽真空；针阀270通过控制进气量从而调节真空标准室200内的压力。
26.优选的，真空标准室200与第二机械泵220之间还设有稳压室240；稳压室240与真空标准室200的对接处设有隔板241，隔板241上设有均匀排布的通气孔。
27.优选的，稳压室240与第二机械泵220之间还设有分子泵250；分子泵250串联在第二机械泵220与稳压室240之间，当真空度小于20pa后，通过分子泵250继续抽真空。
28.优选的，第二机械泵220与分子泵250之间还设有电磁阀260；分子泵250与稳压室240之间还设有插板阀230。
29.操作步骤：
30.s100，将被校准真空规110安装在浴油控温箱100内的工装连接件171上，并在被校准真空规110上安装温度传感器；
31.s200，启动第一机械泵120，将浴油温控箱100内部抽至真空状态；
32.s210，启动浴油机组140，设定被校准真空规110所需温度值，待被校准真空规110表面达到温度时，保持1.5小时，确保被校准真空规110冷透/热透；
33.s300，启动第二机械泵220，当真空标准室200内的真空度小于20pa后，再启动分子泵250，至真空标准室200内的真空度小于1
×
10
‑6pa；
34.s310，手动调节针阀270，对真空标准室200内的压力进行阶段调节，同时，标准真空规210和被校验真空规110对每个阶段分别进行测量，并记录数据；
35.s320，根据多组测量结果对被校验真空规110进行校验。
36.本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本技术的保护范围。