一种激光器低温测试装置的制作方法

1.本实用新型涉及激光器技术领域，具体涉及一种激光器低温测试装置。


背景技术：

2.对激光器的性能参数测试是判断激光器好坏的重要依据，将激光器的测试温度降低，有利于打破激光器的物理限制，提高输出功率、电光转化效率等关键性能指标。半导体激光领域的研究人员一般采用液氮或者液氦等惰性气体作为一级冷源，pid电路控制温度，将被测激光器的温度控制在要求的测试温度从而实现激光器的低温测试。
3.对激光器常见的测试包括低温老化测试。低温老化测试花费的时间较长，激光器发出的光持续照射在腔体侧壁的平面透镜时会产生较多的热能，这样导致腔体侧壁的平面透镜烧焦，导致激光器低温测试装置的可靠性较差。


技术实现要素：

4.因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中激光器低温测试装置可靠性较差的问题，从而提供一种激光器低温测试装置。
5.本实用新型提供一种激光器低温测试装置，包括：腔体，所述腔体内部适于放置激光器；与所述腔体连通的支撑筒，所述支撑筒具有相对的第一端口和第二端口，所述第一端口与所述腔体的侧壁固定；吸光组件，覆盖所述第二端口且与所述第二端口的边缘固定连接；所述激光器在老化测试过程中发出的光适于通过第一端口射向吸光组件。
6.可选的，所述吸光组件包括吸光盘和冷却件，所述吸光盘覆盖所述第二端口且与所述第二端口的边缘固定，所述冷却件设置于所述吸光盘背向所述腔体的一侧表面。
7.可选的，所述吸光盘朝向所述腔体的一侧表面设置有若干凹槽。
8.可选的，所述凹槽的纵截面形状包括三角形。
9.可选的，所述吸光盘包括铝吸光盘。
10.可选的，所述冷却件为冷却管，所述冷却管中适于通入冷却液。
11.可选的，所述腔体为手套箱，所述腔体的侧部设有用于操作更换待测试激光器的手套。
12.可选的，还包括：传递仓，所述传递仓设置在所述腔体侧部，所述传递仓用于向所述腔体内传输激光器；第一阀门，所述第一阀门设置在所述传递仓与所述腔体之间；第二阀门，所述第二阀门设置在所述传递仓上用于隔离所述传递仓与大气环境；与所述传递仓连接的抽气装置；与所述传递仓连接的充气装置；真空检测装置，位于所述传递仓中。
13.可选的，还包括：位于所述腔体内的制冷夹具，所述制冷夹具适于固定所述激光器；设于所述制冷夹具中的冷媒流道，所述冷媒流道设有进液口和出液口；制冷装置，所述制冷装置用于对所述制冷夹具提供冷媒，所述制冷装置的一端通过第一管道与所述进液口连通，所述制冷装置的另一端通过第二管道与所述出液口连通。
14.可选的，所述腔体的侧壁还开设有开口，所述开口内嵌有平面镀膜透镜。
15.本实用新型的技术方案具有以下有益效果：
16.1.本实用新型技术方案提供的激光器低温测试装置，包括：腔体，所述腔体内部适于放置激光器；与所述腔体连通的支撑筒，所述支撑筒具有相对的第一端口和第二端口，所述第一端口与所述腔体的侧壁固定；吸光组件，覆盖所述第二端口且与所述第二端口的边缘固定连接；由于所述激光器在老化测试过程中发出的光适于通过第一端口射向吸光组件，吸光组件吸收了激光并转化为热量散发出去。支撑筒位于吸光组件和腔体之间，即使激光器老化测试时间较长，也能够避免激光照射在腔体的侧壁而烧灼腔体的侧壁的部件，从而提高了激光器低温测试装置的可靠性。
17.2.进一步，所述吸光组件包括吸光盘和冷却件。冷却件带走了吸光盘吸收的激光产生的热量，避免热量聚集在吸光盘上。
18.3.进一步，所述吸光盘朝向所述腔体的一侧表面设置有若干凹槽。激光限制在凹槽内，激光在凹槽内经过多次反射被吸光盘吸收。
19.4.进一步，激光射向吸光盘时，激光被纵截面形状为三角形的凹槽折射到不同方向上，使得吸光盘更好的吸收热量。
20.4.进一步，所述吸光盘包括铝吸光盘。铝吸光盘具有成本较低和导热良好的特点。
21.5.进一步，所述腔体为手套箱。在更换待测激光器时可以通过手套更换，无需打开腔体导致凝露现象和反复抽真空问题，提高了激光器测试的效率。
附图说明
22.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1为本实用新型一实施例提供的激光器低温测试装置的结构示意图；
24.图2为本实用新型一实施例提供的吸光组件的结构示意图。
具体实施方式
25.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
27.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，
还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
29.本实施例提供一种激光器低温测试装置，请结合参考图1和图2，包括：腔体1，所述腔体1内部适于放置激光器；与所述腔体1连通的支撑筒2，所述支撑筒2具有相对的第一端口201和第二端口202，所述第一端口201与所述腔体1的侧壁固定；吸光组件3，覆盖所述第二端口202且与所述第二端口202的边缘固定连接；所述激光器在老化测试过程中发出的光适于通过第一端口201射向吸光组件3。
30.本实施例中，所述腔体1为手套箱，所述腔体1的侧部设有用于操作更换待测试激光器的手套。
31.在更换待测激光器时可以通过手套更换，避免打开腔体1导致凝露现象和反复抽真空问题，提高了激光器测试的效率。
32.支撑筒2包括不锈钢支撑筒。
33.支撑筒2的第一端口201和第二端口202之间的距离为250
㎜
～350
㎜
，例如，250
㎜
、280
㎜
、300
㎜
、330
㎜
或者350
㎜
。如果第一端口201和第二端口202之间的距离过长，会导致激光器低温测试装置占用空间大且浪费制作支撑筒2的材料；如果第一端口201和第二端口202之间的距离过短，容易把吸光组件3上的热量传递至腔体1。
34.所述激光器在老化测试过程中发出的光适于通过第一端口射向吸光组件3，吸光组件3吸收了激光并转化为热量散发出去。并且支撑筒2位于吸光组件3和腔体1之间，即使激光器老化测试时间较长，也能够避免激光照射在腔体的侧壁而烧灼腔体1的侧壁的部件，从而提高了激光器低温测试装置的可靠性。
35.第一端口201与所述腔体1的侧壁密封连接。第二端口202与吸光组件3密封连接。
36.请参考图2，图2为本实用新型一实施例提供的吸光组件的结构示意图，需要说明的是，为了更好的说明吸光组件3，图2为吸光组件3的剖开的示意图，实际上吸光组件3本身是完整的结构。所述吸光组件3包括吸光盘302和冷却件301，所述吸光盘302覆盖所述第二端口202且与所述第二端口202的边缘固定，所述冷却件301设置于所述吸光盘302背向所述腔体1的一侧表面。
37.所述吸光盘302包括铝吸光盘。
38.铝吸光盘具有成本较低和导热良好的特点。
39.请继续参考图2，所述吸光盘302朝向所述腔体1的一侧表面设置有若干凹槽303。激光限制在凹槽303内，激光在凹槽303内经过多次反射被吸光盘302吸收。
40.请继续参考图2，所述凹槽303在吸光盘302朝向所述腔体1的一侧表面上的分布呈圆环状。若干圆环状的凹槽303具有相同的圆心。
41.所述凹槽303的纵截面形状包括三角形。
42.激光射向吸光盘302时，激光被纵截面形状为三角形的凹槽303折射到不同方向上，使得吸光盘302更好的吸收热量。
43.请继续参考图2，所述冷却件301为冷却管，所述冷却管中适于通入冷却液。优选地，冷却管的形状为具有多个弯折部的弯折管，这样使得冷却管的有效长度增大，冷却能力
提高。
44.冷却件301具有进液口和出液口，冷却液从供液装置进入进液口流经冷却件301并从出液口流出以带走吸光组件3上的热量。
45.请继续参考图1，激光器低温测试装置还包括：传递仓4，所述传递仓4设置在所述腔体1侧部，所述传递仓4用于向所述腔体1内传输激光器。
46.激光器低温测试装置还包括：第一阀门(图中未示出)，所述第一阀门设置在所述传递仓4与所述腔体1之间。
47.请继续参考图1，激光器低温测试装置还包括：第二阀门7，所述第二阀门7设置在所述传递仓4上用于隔离所述传递仓4与大气环境。
48.请继续参考图1，激光器低温测试装置还包括：与所述传递仓4连接的抽气装置5。
49.抽气装置5包括真空泵，抽气装置5通过真空管连接传递仓4。
50.激光器低温测试装置还包括：与所述传递仓4连接的充气装置(图中未示出)。
51.激光器低温测试装置还包括：真空检测装置(图中未示出)，位于所述传递仓中，优选地，真空检测装置位于真空管与传递仓4连接处的真空口中。
52.激光器低温测试装置还包括：位于所述腔体1内的制冷夹具(图中未示出)，所述制冷夹具适于固定所述激光器。
53.激光器低温测试装置还包括：设于所述制冷夹具中的冷媒流道，所述冷媒流道设有进液口和出液口。
54.激光器低温测试装置还包括：制冷装置，所述制冷装置用于对所述制冷夹具提供冷媒，所述制冷装置的一端通过第一管道与所述进液口连通，所述制冷装置的另一端通过第二管道与所述出液口连通，冷媒通过第一管道从所述制冷装置进入所述进液口流经所述制冷夹具并流经制冷夹具上的激光器的内部之后从所述出液口流出并通过所述第二管道进入所述制冷装置中，如此循环以带走激光器自身产生的热量。
55.请继续参考图1，所述腔体1的侧壁还开设有开口，所述开口内嵌有平面镀膜透镜6。
56.平面镀膜透镜6包括镀有增透膜的石英玻璃。
57.激光器测试过程中，当需要更换待测激光器时，只需要停止对制冷夹具中通冷媒，待制冷夹具中的冷媒排出后，通过手套将已经测试好的激光器取出放置于腔体1中的托盘(图中未示出)上，并将托盘上放置的待测激光器移至制冷夹具上，将待测激光器固定，对制冷夹具通冷媒以对待测激光器制冷达到测试温度。
58.当需要通过传递仓4从外部传递待测激光器至腔体1时，关闭第一阀门，关闭第一阀门之后，打开第二阀门7，把待测激光器放入传递仓4中，关闭第二阀门7，关闭第二阀门7之后，通过抽气装置5对传递仓4内进行抽真空，然后打开第一阀门，把待测激光器传递至腔体1内，再关闭第一阀门。
59.当需要通过传递仓4从腔体1内传递已测激光器至外部时，打开第一阀门，把已测激光器放置在传递仓4内，关闭第一阀门，关闭第一阀门之后，对传递仓4内充放气体，然后打开第二阀门7，把已测激光器从传递仓4传递至为外部。
60.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或
变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。