技术特征：
1.一种微型静电电动机，包括:
具有第一面和第二面的主体，该主体具有由内壁限定的圆形腔室；
中心构件；
设置在圆形腔室中的盘，该盘与腔室的内壁物理间隔开；
一组三个的相互电隔离的电极，其支撑在所述盘的第一表面上，每个电极具有凸片部分，并且电极与中心构件电隔离；
在主体的第一面上方的第一隔膜；
在主体的第二面上方的第二隔膜；和
在第二隔膜的一些部分上方的一对间隔开的电极，该一对间隔开的电极通过间隙隔离。
2.根据权利要求1所述的微型静电电动机，其中一对第二电极中的每一个在第二对电极中的每一个的一部分中均具有第一孔洞，以容纳导电通孔，以形成外部电连接。
3.根据权利要求1所述的微型静电电动机，其中支撑一对第二电极的所述第二隔膜在所述第二隔膜的一些部分中具有一对孔洞，所述孔洞位于所述凸片由于所述盘构件的旋转而行进的路径上。
4.根据权利要求1所述的微型静电电动机，进一步包括:
在第一隔膜上方的第一密封层和在第二隔膜上方的第二密封层。
5.根据权利要求1所述的微型静电电动机，其中，所述中心构件是固定在所述第一隔膜和所述第二隔膜之间的固定构件，并且所述中心构件通过环形间隙与所述盘间隔开。
6.根据权利要求5所述的微型静电电动机，其特征在于，所述中心构件附接到所述盘。
7.根据权利要求1所述的微型静电电动机，其特征在于，所述中心构件与所述盘隔开环形间隙；该电动机还包括:
隔膜层，其具有粘接到中心构件的中心区域，并且具有与盘和中心构件之间的环形间隙对准的第一环形间隙和围绕第一环形间隙的外周的第二环形间隙；和
间隔层，其具有粘接到隔膜层的中心区域的中心区域，并且具有与盘和中心构件之间的环形间隙以及隔膜的第一环形间隙对准的第一环形间隙。
8.根据权利要求1所述的微型静电电动机，进一步包括:
设置在第一隔膜上的接地面。
9.根据权利要求1所述的微型静电电动机，其中所述主体构件具有一对端口，以允许流体流过所述腔室。
10.根据权利要求1所述的微型静电电动机，其中所述盘和所述中心构件由也包括所述主体框架的材料构成。
11.一种微型静电电动机，包括:
具有第一面和第二面的主体，该主体至少具有外壁和内壁，该内壁限定圆形腔室；
布置在圆形腔室中的盘，该盘与腔室的内壁物理间隔开，该盘具有
中心构件部分；
一组三个的相互电隔离的电极，其支撑在盘的第一表面上，每个电极具有凸片部分并且与中心构件部分是电隔离的；
在主体的第一面上方的第一隔膜，第一隔膜与主体的限定在至少外壁和内壁与中心构件部分的表面之间的一些表面部分接触，第一隔膜具有
围绕与中心构件接触的第一隔膜部分限定的环形空隙；
第二隔膜，与主体的限定在至少外壁和内壁之间的相对表面部分接触；和
在第一或第二隔膜的部分上的一对隔开的电极，该一对隔开的电极通过间隙隔离。
12.根据权利要求11所述的微型静电电动机，其中所述一对第二电极中的每一个在所述第二对电极中的每一个的一部分中均具有第一孔洞，以容纳导电通孔，从而形成外部电连接。
13.根据权利要求11所述的微型静电电动机，其中所述第一隔膜支撑所述一对第二电极，并且在所述第一隔膜的部分中、在所述凸片由于所述圆盘构件的旋转而行进的路径上具有孔洞。
14.根据权利要求11所述的微型静电电动机，其中围绕所述第一隔膜的与所述中心构件接触的部分限定的所述环形空隙使得所述中心构件与所述盘一起旋转，以限定一转轴，该转轴作为所述第一隔膜的与所述中心构件接触的部分和所述环形空隙的组合。
15.根据权利要求11所述的微型静电电动机，其中所述第二隔膜进一步与所述中心构件的相对表面接触，所述第二隔膜具有环形空隙，该环形空隙由围绕所述第二隔膜与所述中心构件的相对表面接触的部分限定。
16.一种微型静电电动机，包括:
具有第一面和第二面的主体，该主体至少具有外壁和内壁，该内壁限定圆形腔室；
布置在圆形腔室中的盘，该盘与腔室的内壁物理间隔开，该盘具有
第一隔膜层，其具有粘接到中心构件部分的中心区域，并且具有与环形间隙对准的第一环形间隙，以及围绕第一环形间隙的外周的第二环形间隙，所述第一环形空间将中心构件部分与盘部分隔开；和
间隔层，其具有粘接到隔膜层的中心区域的中心区域，并且具有与环形间隙对准的第一环形间隙，所述环形间隙将中心构件部分与盘间隔开并且进一步与隔膜中的第一环形间隙对准；
第二隔膜，与主体的限定在至少外壁和内壁之间的相对表面部分接触；和
在第一或第二隔膜的一些部分上的一对间隔开的电极，该一对间隔开的电极通过间隙绝缘。
17.根据权利要求16所述的微型静电电动机，其中，所述一对第二电极中的每一个在所述第二对电极中的每一个的一部分中均具有第一孔洞，以容纳导电通孔，以形成外部电连接。
18.根据权利要求17所述的微型静电电动机，其中所述第一隔膜支撑所述一对第二电极，并且在所述第一隔膜的部分中、在所述凸片由于所述盘构件的旋转而行进的路径上具有孔洞。
19.根据权利要求16所述的微型静电电动机，其中围绕所述第一隔膜的与所述中心构件接触的部分限定的所述第一环形空隙固定所述中心构件，以抑制所述中心构件的旋转，以限定一固定轴，该固定轴作为所述第一隔膜的与所述中心构件接触的部分和所述第一环形空隙的组合；并且限定在第一和第二环形空隙之间的环形区域限定一轴环，以传递所述盘绕固定轴的旋转。
20.根据权利要求16所述的微型静电电动机，其中所述盘的表面是第一表面，并且所述第二隔膜进一步与所述中心构件的相对表面接触，所述第二隔膜具有第一环形空隙，该第一环形空隙被围绕所述第二隔膜的与所述中心构件接触的部分而限定，并且具有第二环形空隙，该第二环形空隙被围绕所述第一环形空隙限定并与所述第一环形空隙间隔开，所述第一和第二环形空隙限定所述第一隔膜的与所述盘的第二表面接触的环形区域。
21.一种微型静电电动机，包括:
第一电动机堆叠结构，包括:
具有第一腔室的第一主体；
在第一主体的第一面上方的第一隔膜；和
可旋转地设置在第一腔室中的第一盘，在第一盘的第一表面上具有三个相互电隔离组成的第一组电极，每个电极具有凸片部分；
第二电动机堆叠结构包括:
具有第二腔室的第二主体；
在第二主体的第一面上方的第二隔膜；和
可旋转地设置在第二腔室中的第二盘，在第二盘的第一表面上具有三个相互电隔离组成的第二组电极，每个电极具有凸片部分；和
在第一电动机堆叠结构和第二电动机堆叠结构之间的接口。
22.一种制造具有可旋转元件的微型静电装置的方法，该方法包括:
图案化具有导电层的材料片体，以由该片体提供具有壁的框架，该框架具有限定腔室的内壁、在腔室中的盘、以及中心构件，所述盘具有至少三个电极层，每个电极层具有形成转子元件的凸片；
将支撑一对间隔开的电极的第一隔膜粘接在第一隔膜上，以形成隔开的定子电极；
图案化所述第一隔膜，以提供第一环形空隙，该第一环形空隙被围绕所述第一隔膜的与所述中心构件接触的部分而限定；和
在片体和隔膜中形成用于电连接的通孔。
23.根据权利要求22所述的方法，其中图案化所述片体进一步包括:
图案化所述片体以提供图案化的盘和附接到盘的中心构件。
24.根据权利要求23所述的方法，其中被围绕所述第一隔膜的部分限定的所述环形空隙与所述中心构件接触，并使所述中心构件与所述盘一起旋转，以限定一转轴，该转轴作为所述第一隔膜的与所述中心构件接触的部分和所述环形空隙的组合。
25.根据权利要求22所述的方法，其中图案化所述片体进一步包括:
图案化所述片体以提供与中心构件物理间隔开的图案化盘。
26.根据权利要求25所述的方法，其中围绕所述第一隔膜的与所述中心构件接触的部分限定的所述第一环形空隙固定所述中心构件，以抑制所述中心构件的旋转，从而限定一转轴，该转轴作为所述第一隔膜的与所述中心构件接触的部分和所述第一环形空隙的组合。
27.根据权利要求26所述的方法，其中图案化所述隔膜进一步包括:
图案化所述隔膜以限定第二环形空隙，该第二环形空隙被围绕所述第一环形空隙限定并与所述第一环形空隙间隔开，所述第一和第二环形空隙限定所述第一隔膜的与所述盘的表面接触的环形区域；并且其中限定在第一和第二环形空隙之间的环形区域限定一轴环，以用于传递所述盘绕固定轴的旋转。
技术总结
公开了一种微型静电电动机，其包括具有第一面和第二面并且具有腔室的主体。第一隔膜设置在主体的第一面上方，并且可旋转的盘围绕一构件设置在圆形腔室中。盘设置在圆形腔室中，并可绕所述构件自由旋转。该盘在其第一表面上具有一组三个的相互电隔离的电极，每个电极具有一个凸片部分并与该部件电隔离。第二隔膜设置在主体的第二面上方，并且一对间隔开的电极设置在第二隔膜的部分上，该一对间隔开的电极通过该对电极之间的间隙绝缘。圆柱形构件设置在腔室中，与盘上的三个相互电隔离的电极电隔离。
技术研发人员：S.A.马什
受保护的技术使用者：恩赛特有限责任公司
技术研发日：2019.06.05
技术公布日：2021.05.28
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