技术特征：
技术总结
本发明涉及适合表面贴装工艺的压阻式加速度传感器及其制造方法。使用的晶圆结构包括衬底层、顶层、绝缘层及在衬底层内与绝缘层界面位置设有空腔；顶层和衬底层为反相掺杂；衬底层上设有电隔离沟槽；被电隔离沟槽包围的衬底层下面的绝缘层上设有金属引脚；在顶层上形成有加速度传感器的压阻条、电学引线区；电学引线区与压阻条部分及电隔离沟槽包围的衬底部分重合；在电学引线区和电隔离沟槽包围的衬底部分重合区设有电连接通道；顶层表面的绝缘层、顶层及绝缘层设有释放槽，形成加速度传感器的可动结构，键合保护盖板，形成密封空腔。本发明的压阻式加速度传感器便于后续与相应控制电路(IC)实现三维(3D)封装，工艺简单，加工工艺先后顺序灵活，成本低。
技术研发人员：周志健;朱二辉;于洋;陈磊;杨力建;邝国华
受保护的技术使用者：广东合微集成电路技术有限公司
技术研发日：2017.06.08
技术公布日：2017.10.20
再多了解一些
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