一体化吸气型陶瓷封装管壳的制造方法与工艺

技术总结
本发明提供一种一体化吸气型陶瓷封装管壳，还包括与陶瓷封装管壳一体化设计的吸气剂模块，所述吸气剂模块包括金属区和吸气剂材料层，所述金属区直接生长在陶瓷封装管壳内表面上，所述吸气剂材料层生长在金属区上，在陶瓷封装管壳内预留有连接到金属区的引线框架，所述金属区通过引线框架连通到管壳外部的激活释放引脚。本发明可实现陶瓷封装管壳自带吸气功能，简化了传统MEMS器件的封装工艺步骤，提高生产效率，还可以增强吸气剂可靠性，使其具备优良的抗机械冲击能力；另外，金属区电阻可控，可以实现较大的金属区电阻，在吸气剂材料层释放过程中准确控制金属区温度，保证吸气剂材料层的充分激活和释放，提高生产良率，延长MEMS器件的使用寿命。

技术研发人员：赵照
受保护的技术使用者：合肥芯福传感器技术有限公司
文档号码：201610279952
技术研发日：2016.04.29
技术公布日：2017.09.05