静电键合设备的制作方法

2021-10-26 15:16:49 来源：中国专利 TAG：静电水汽洁净特别环境

技术总结
本实用新型涉及一种静电键合设备，该设备包括手套箱设备(0000)和静电键合发生设备(1000)，静电键合发生设备(1000)内部设置有静电键合室，手套箱设备(0000)内部设置有手套箱；静电键合室与手套箱之间设立连接通道(0002)，连接通道(0002)用于实现操作对象的内部转移。本实用新型利用连接通道使手套箱和静电键合室连接在一起，保证了整个操作环境的洁净度，保证了操作环境与氧气、水汽隔绝，避免了厌氧、怕水汽的对象在操运过程中接触氧气和水汽的问题。

技术研发人员：汤亮;张忠山;季磊;支萌辉;齐敏;孙泉;乔东海;张倩
受保护的技术使用者：中国科学院声学研究所
文档号码：201620795392
技术研发日：2016.07.26
技术公布日：2017.03.22

再多了解一些