静电键合设备的制作方法

技术特征：

1.一种静电键合设备，包括手套箱设备(0000)和静电键合发生设备(1000)；其特征在于，所述静电键合发生设备(1000)内部设置有静电键合室，所述手套箱设备(0000)内部设置有手套箱；所述静电键合室与所述手套箱之间设立连接通道(0002)，所述连接通道(0002)用于实现操作对象的内部转移。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述连接通道(0002)设置有机械锁(0020)和机械门(0021)；

当所述操作对象转移之前，开启所述机械锁(0020)和所述机械门(0021)；

当所述操作对象转移之后，关闭所述机械门(0021)和所述机械锁(0020)。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，还包括手套箱设备电脑控制终端(0017)和静电键合发生设备电脑控制终端(1007)。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述静电键合室包括第一电极(1015)、第一电极操作杆(1014)和加热装置(1017)；

所述静电键合发生设备电脑控制终端(1007)控制所述第一电极操作杆(1014)对所述操作对象施加作用力，使所述第一电极操作杆与所述操作对象接触；

所述静电键合发生设备电脑控制终端(1007)控制所述加热装置(1017)对所述操作对象进行加热；

所述静电键合发生设备电脑控制终端(1007)控制所述第一电极(1015)给所述操作对象提供电压。

5.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述手套箱包括：探头、气体输入孔和气体输出孔；

所述手套箱设备电脑控制终端(0017)控制所述探头对所述手套箱内的氧气和水汽含量进行测量；

通过所述手套箱设备电脑控制终端(0017)控制开启所述手套箱的置换功能，直到所述手套箱设备电脑控制终端(0017)显示所述氧气含量低于0.3ppm、水汽含量低于1.0ppm时，停止所述置换功能。

6.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，还包括位于所述静电键合发生设备(1000)内部的高真空显示器(1003)和低真空显示器(1004)；

所述高真空显示器(1003)用于在所述电脑控制终端(1007)对所述静电键合室进行真空处理时，显示所述静电键合室内高真空数值；

所述低真空显示器(1004)用于在停止所述真空处理后对所述静电键合室充入氩气时，显示所述静电键合室内低真空数值。

7.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，还包括：大操作对象传送通道(0016)；

所述大操作对象传送通道(0016)用于在手套箱设备电脑控制终端(0017)控制所述大操作对象传送通道(0016)内气压和所述手套箱设备(0000)内气压平衡后，将所述操作对象从所述大操作对象传送通道(0016)转移到所述手套箱设备(0000)内。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，还包括支撑架；所述支撑架用于支撑所述手套箱设备(0000)和所述静电键合发生设备(1000)。