微结构制备装置及方法与流程

技术特征：

1.一种微结构制备装置，其特征在于，所述装置包括压强控制器、密封容器、第一网格和固化器，所述第一网格和所述固化器设置在所述密封容器内，所述压强控制器与所述密封容器连通；

所述第一网格用于使溶液基于液体特性从所述第一网格的网孔中悬垂；

所述压强控制器用于调节所述密封容器中的压强，以基于所述压强和所述液体特性调整所述溶液的悬垂状态；

所述固化器用于在所述网孔上的溶液的悬垂状态构成指定微结构阵列形貌时对所述溶液进行固化，以获得具有指定微结构的柔性衬底。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一网格的网孔的形状为正多边形、菱形、扇形、心形和/或圆形。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括设置在所述密封容器内的第二网格，所述第二网格用于与所述第一网格背对所述溶液悬垂方向的一面贴合后与所述第一网格分离预设距离，以使所述溶液在所述第一网格背对所述溶液悬垂方向形成多个立柱。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述压强控制器包括正压器和负压器，所述正压器与所述密封容器的连通口位于所述密封容器背对所述溶液悬垂方向一侧，所述负压器与所述密封容器的连通口位于所述密封容器正对所述溶液悬垂方向一侧。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述正压器为机械层压器或气压器，所述负压器为抽气器。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述正压器为所述气压器，所述第一网格中每个网孔设置有独立的进气通道和出气通道，所述气压器和所述抽气器分别与每个所述进气通道和每个所述出气通道连通，以使所述气压器和所述抽气器对所述每个网孔处的溶液分别进行压强控制。

7.根据权利要求1－6中任一项所述的装置，其特征在于，所述固化器为温度固化器和/或光固化器。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述温度固化器为加热管、超声加热器或红外加热器。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括微针，所述微针用于插入所述网孔上的溶液的悬垂状态构成的微阵列结构中任一网孔对应的单元进行液体形态调整。

10.一种微结构制备方法，其特征在于，应用于权利要求1－9中任一项所述的微结构制备装置，所述方法包括：

将溶液涂覆在所述第一网格上，使溶液基于液体特性从所述第一网格的网孔中悬垂；

通过所述压强控制器调节所述密封容器中的压强，以基于所述压强和所述液体特性调整所述溶液的悬垂状态；

通过所述固化器在所述网孔上的溶液的悬垂状态构成指定微结构阵列形貌时对所述溶液进行固化，以获得具有指定微结构的柔性衬底。

技术总结
本申请提供一种微结构制备装置及方法，涉及微结构阵列制作工艺技术领域。所述方法包括：所述装置包括压强控制器、密封容器、第一网格和固化器，所述第一网格和所述固化器设置在所述密封容器内，所述压强控制器与所述密封容器连通；所述第一网格用于使溶液基于液体特性从所述第一网格的网孔中悬垂；所述压强控制器用于调节所述密封容器中的压强，以基于所述压强和所述液体特性调整所述溶液的悬垂状态；所述固化器用于在所述网孔上的溶液的悬垂状态构成指定微结构阵列形貌时对所述溶液进行固化，以获得具有指定微结构的柔性衬底。上述装置及方法制备的微结构阵列规则有序可控，且一次成型、工艺简单、成本低。

技术研发人员：林胜钊;张家铭
受保护的技术使用者：香港中文大学(深圳);深圳市人工智能与机器人研究院
技术研发日：2020.06.30
技术公布日：2020.09.29