一种低横向灵敏度的MEMS弹簧质量结构的制作方法

技术特征：

1.一种低横向灵敏度的mems弹簧质量结构，其特征在于：采用mems体硅工艺加工而成，包括基座(1)、第一mems弹簧(2)、横向稳定质量块(3)、第二mems弹簧(4)和中心检测质量块(5)，基座(1)通过第一mems弹簧(2)与横向稳定质量块(3)的外侧连接，横向稳定质量块(3)的内侧通过第二mems弹簧(4)与中心检测质量块(5)相接。

2.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的mems弹簧质量结构，其特征在于：所述的第一mems弹簧(2)采用分体梁式结构，由八段同样规格短梁呈中心对称分布构成，短梁的外侧分别以锚点2-1、锚点2-2、锚点2-3、锚点2-4、锚点2-5、锚点2-6、锚点2-7、锚点2-8内接于基座(1)，短梁的外侧分别以锚点2-9、锚点2-10、锚点2-11、锚点2-12、锚点2-13、锚点2-14、锚点2-15、锚点2-16外接于横向稳定质量块(3)。

3.根据权利要求2所述的一种低横向灵敏度的mems弹簧质量结构，其特征在于：所述的短梁的长度l1＝1000μm，梁宽w1＝25μm，梁厚t1＝20μm。

4.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的mems弹簧质量结构，其特征在于：所述的横向稳定质量块(3)为分体式块状结构，由四个l型分质量块呈中心对称分布构成，每个l型分质量块上加工有两个矩形缺口(3-1)，l型分质量块的纵向跨度尺寸l2与横向跨度尺寸l3相等，l2＝l3＝3275μm，l型分质量块拐角顶点到矩形缺口(3-1)的距离l4＝1500μm。

5.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的mems弹簧质量结构，其特征在于：所述的第二mems弹簧(4)为联通一体梁式结构，其外侧以锚点4-1、锚点4-2、锚点4-3、锚点4-4、锚点4-5、锚点4-6、锚点4-7、锚点4-8内接于横向稳定质量块(3)，内侧以锚点4-9、锚点4-10、锚点4-11、锚点4-12外接于中心检测质量块(5)；第二mems弹簧(4)到横向稳定质量块(3)的距离l5＝246μm，第二mems弹簧(4)对向分段梁之间的距离l6＝3492μm，第二mems弹簧(4)到中心检测质量块(5)的距离l7＝271.5μm，梁宽w2＝25μm，梁厚t2＝20μm。

6.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的mems弹簧质量结构，其特征在于：所述的低横向灵敏度的mems弹簧质量结构中的基座(1)与第一mems弹簧(2)，第一mems弹簧(2)与横向稳定质量块(3)，横向稳定质量块(3)与第二mems弹簧(4)，第二mems弹簧(4)与中心检测质量块(5)以及第二mems弹簧(4)内部各分段梁的连接处均采用圆弧倒角(6)过渡，以降低应力集中，圆弧倒角(6)的圆弧半径为r＝25μm。

7.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的mems弹簧质量结构，其特征在于：所述的中心检测质量块(5)形状为正方形，其边长为l8＝2495μm。