自动解键合机的制作方法

技术特征：

1.一种自动解键合机，包括机壳，其特征是：在所述机壳内设置能吸附键合衬底组的衬底吸附固定顶片装置（16）以及能对键合衬底组进行加热的衬底吸附加热装置（19），所述衬底吸附加热装置（19）位于机壳内的上部，衬底吸附固定顶片装置（16）通过机械手（15）安装于机壳内的下部，衬底吸附固定顶片装置（16）通过机械手（15）在机壳内能运动至衬底吸附加热装置（19）的正下方；

所述衬底吸附加热装置包括上连接板（34）、设置于所述上连接板（34）下侧面的上真空吸盘（21）以及设置于所述上连接板（34）上侧面的焊接波纹管（23），向焊接波纹管（23）内充气后，通过焊接波纹管（23）的伸长能驱动上真空吸盘（21）向靠近正下方的衬底吸附固定顶片装置（16）运动，上真空吸盘（21）与衬底吸附固定顶片装置（16）上的键合衬底组接触后，通过上真空吸盘（21）能对键合衬底组加热直至使得键合衬底组解键合，解键合后得到的下衬底（38）能吸附在衬底吸附固定顶片装置（16）上，解键合后得到的上衬底（39）能吸附在上真空吸盘（21）上。

2.根据权利要求1所述的自动解键合机，其特征是：还包括能对焊接波纹管（23）运动进行导向的波纹管导向柱（22），波纹管导向柱（22）的一端与机壳内的顶端连接，波纹管导向柱（22）的另一端穿过上连接板（34），波纹管导向柱（22）位于上连接板（34）下方的端部设置导向柱限位端板（35），波纹管导向柱（22）上套设有导向柱弹簧（20），所述导向柱弹簧（20）位于导向柱限位端板（35）与上连接板（34）之间。

3.根据权利要求2所述的自动解键合机，其特征是：在所述上连接板（34）上设置若干推拉气缸（25），所述推拉气缸（25）的活塞杆上设置锁紧块（24），通过推拉气缸（25）以及锁紧块（24）能对相对应的波纹管导向柱（22）锁死。

4.根据权利要求1所述的自动解键合机，其特征是：所述衬底吸附固定顶片装置（16）包括用于与机械手（15）连接的支撑法兰（31）、位于所述支撑法兰（31）正上方的下连接板（27）以及能将下衬底（38）顶起的衬底顶升机构，所述下连接板（27）通过若干连接板支撑柱（28）支撑在支撑法兰（31）上；在下连接板（27）上设置下真空吸盘（17），在下真空吸盘（17）上设置若干贯通所述下真空吸盘（17）的下真空吸附孔（37）。

5.根据权利要求4所述的自动解键合机，其特征是：所述衬底顶升机构包括设置于支撑法兰（31）上的顶针升降气缸（29）以及若干能从下真空吸盘（17）穿出的弹性顶针（26），所述弹性顶针（26）通过顶针固定块（30）与顶针升降气缸（29）的活塞杆适配连接；通过弹性顶针（26）能将下衬底（38）从下真空吸盘（17）上顶起。

6.根据权利要求1所述的自动解键合机，其特征是：所述机壳包括两对称分布的立板（2）以及与所述立板（2）固定连接的顶板（1），衬底吸附加热装置（19）安装于顶板（1）的内侧面上，在顶板（1）上设置能对焊接波纹管（23）进行充气的波纹管充放气接口（32）。

7.根据权利要求1所述的自动解键合机，其特征是：所述机壳支撑于架体（4）上，在架体（4）的侧面板（6）上设置内嵌拉手（5），在架体（4）的底端设置若干均匀分布的支撑脚座（7）。

8.根据权利要求7所述的自动解键合机，其特征是：在架体（4）的正面设置显示屏（11），所述显示屏（11）的显示屏壳体（12）通过铰链与架体（4）连接。