扩片机压膜装置的制作方法

本实用新型属于加工设备技术领域，具体涉及一种扩片机压膜装置。

背景技术：

mems(micro-electro-mechanicalsystems，微机电系统)激光划片后需要进行扩片工作，扩片过程中需要将uv膜与承载膜压合在一起防止承载膜缩回，现有技术中为人工压膜，需要工作人员使用手接触晶圆内圈位置，该过程中可能会出现工作人员袖口掉落异物污染晶圆，导致产品不良，影响产品性能。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种扩片机压膜装置，可进行压膜工作，避免工作人员直接操作导致污染产品的情况，保证产品良率。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

扩片机压膜装置，包括上盖和下盖，所述上盖与所述下盖之间设置有弹性件，所述上盖的上侧设置有压杆，所述下盖连接有安装杆，所述安装杆穿过所述上盖与所述压杆转动连接，所述压杆的端部设置有与所述安装杆转动连接的偏心轮，所述下盖为环形结构，所述偏心轮转动时所述上盖压住或松开位于所述下盖内侧的工件。

进一步的，所述弹性件为上顶弹簧，所述上顶弹簧的下端顶靠在所述下盖的上侧，所述上顶弹簧的上端顶靠在所述上盖的下侧。

进一步的，所述下盖设置有弹簧安装孔，所述上顶弹簧的下端安装于所述弹簧安装孔内。

进一步的，所述下盖的上侧连接有导杆，所述上盖设置有多个导套，所述导套分别套设于所述导杆和所述安装杆的外侧。

进一步的，所述上盖开设有导套安装孔，所述导套安装于所述导套安装孔内。

进一步的，所述导套为滚珠导套。

进一步的，所述上盖的下侧设置有弹性圈，所述弹性圈用于压住或松开位于所述下盖内侧的所述工件。

进一步的，所述上盖的下侧设置有容置槽，所述弹性圈固定在所述容置槽内。

进一步的，所述上盖为环形结构，所述上盖的中部安装有透视板。

进一步的，所述安装杆和所述偏心轮分别设置有两个，两所述安装杆在所述上盖的上侧对称设置，两所述偏心轮分别位于所述压杆的两端。

采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：

由于本实用新型的扩片机压膜装置包括上盖和下盖，上盖的上侧设置有压杆，下盖连接有安装杆，安装杆穿过上盖与压杆活动连接，压杆包括与安装杆转动连接的偏心轮，下盖为环形结构，偏心轮转动时上盖压住或松开位于下盖内侧的工件，当压杆受力偏心轮转动使上盖下压时，弹性件压紧，上盖压紧工件，避免工作人员直接操作导致袖口的异物产生污染的情况，保证产品良率，当压杆没有受到外力时，弹性件的弹力使上盖上移回到初始位置，松开工件，不需要手动操作，使用方便。

本实用新型中，下盖的上侧连接有导杆，上盖设置有多个导套，导套分别套设于导杆和安装杆的外侧，可保证上盖下压的平整度，并对上盖向下移动的距离形成限位，避免压力过大损伤工件。

本实用新型中，上盖的下侧设置有弹性圈，弹性圈用于压住或松开位于下盖内侧的所述工件，上盖的下侧设置有容置槽，弹性圈固定在容置槽内，上盖下压时弹性圈与产品直接接触，避免上盖划伤产品。

综上所述，本实用新型的扩片机压膜装置解决了现有技术中的人工压膜污染产品的问题，本实用新型的扩片机压膜装置通过控制压杆即可使上盖压紧工件，避免工作人员直接操作导致袖口的异物产生污染的情况，从而保证产品良率。

附图说明

图1是本实用新型扩片机压膜装置的分解结构示意图；

图2是本实用新型扩片机压膜装置中旋转组件的组合结构示意图；

图3是图2原始状态的侧视图；

图4是图2工作状态的侧视图；

图中，10-压杆，11-偏心轮，20-上盖，21-透视板，22-导套安装孔,23-导套，24-弹性圈，30-下盖，31-安装杆，32-导杆，33-上顶弹簧。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

本说明书中涉及到的方位均以附图所示为准，仅代表相对位置关系，不代表绝对位置关系。

如图1、图2、图3和图4共同所示，扩片机压膜装置，包括上盖20和下盖30，上盖20与下盖30之间设置有弹性件，上盖20的上侧设置有压杆10，下盖30连接有安装杆31，安装杆31穿过上盖20与压杆10活动连接，压杆10包括与安装杆31转动连接的偏心轮11，下盖30为环形结构，偏心轮11转动时上盖20压住或松开位于下盖30内侧的工件，其中，下盖30的内侧为靠近下盖30中心位置的一侧。工件为叠加在一起的uv膜和承载膜，当压杆10受力偏心轮11转动使上盖20下压时，弹性件压紧，上盖20将uv膜和承载膜压合在一起，避免工作人员直接操作导致袖口的异物产生污染的情况，保证产品良率，当压杆10没有受到外力时，弹性件的弹力使上盖20上移回到初始位置，松开工件，不需要手动操作，使用方便。安装杆31和偏心轮11分别设置有两个，两安装杆31在上盖20的上侧对称设置，两偏心轮11分别位于压杆10的两端，使上盖20下压力度均匀。

如图1、图2、图3和图4共同所示，弹性件为上顶弹簧33，上顶弹簧33的下端顶靠在下盖30的上侧，上顶弹簧33的上端顶靠在上盖20的下侧。下盖30设置有弹簧安装孔，上顶弹簧33的下端安装于弹簧安装孔内，上顶弹簧33设置有多个，在下盖30上均匀设置。下盖30的上侧连接有导杆32，上盖20设置有多个导套23，导套23分别套设于导杆32和安装杆31的外侧，可保证上盖20下压的平整度，并对上盖20向下移动的距离形成限位，避免压力过大损伤工件。上盖20开设有导套安装孔22，导套23安装于导套安装孔22内。其中，导杆32设置有多个，在下盖30上均匀设置，导套23为滚珠导套23。

如图1和图4共同所示，上盖20的下侧设置有弹性圈24，弹性圈24用于压住或松开位于下盖30内侧的工件，上盖20的下侧设置有容置槽(图中未示出)，弹性圈24固定在容置槽内，弹性圈24与固定槽之间可以为过盈连接。上盖20下压时弹性圈24与产品直接接触，避免上盖20划伤产品。其中，上盖20为环形结构，上盖20的中部安装有透视板21，可通过透视板21观察压合情况。弹性圈24由橡胶、塑胶等弹性材料制成，本实施方式中优选弹性圈24为硅胶圈。

本实用新型的扩片机压膜装置通过在上盖的上侧设置带有偏心轮的压杆，下盖连接有安装杆，安装杆穿过上盖与偏心轮转动连接，上盖与下盖之间设置有弹性件，通过控制压杆即可使上盖压紧位于下盖内侧的工件，避免工作人员直接操作导致袖口的异物产生污染的情况，从而保证产品良率。

虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应该理解，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例，这些仅仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所述权利要求书限定。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，在没有经过任何创造性的劳动下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。