技术总结
本实用新型属于传感器技术领域，具体涉及一种MEMS催化燃烧传感器及其加工方法。所述一种MEMS催化燃烧传感器，包括第一薄膜部分、第二薄膜部分，所述第二薄膜部分的两侧分别通过第一多孔磁性层对称连接所述第一薄膜部分；所述第一薄膜部分包括硅基底，以及以硅基底为衬底依次设置的第一氮化硅薄膜层、第一氧化硅薄膜层、第一加热敏感电阻层；所述第二薄膜部分包括依次设置的第二氮化硅薄膜层、第二氧化硅薄膜层、第二加热敏感电阻层、贵金属催化层；具有抗中毒、响应迅速和信噪比高的优点。
技术研发人员：王宣诏
受保护的技术使用者：深圳邺诚科技有限公司
技术研发日：2019.04.01
技术公布日：2019.12.27
本实用新型属于传感器技术领域，具体涉及一种MEMS催化燃烧传感器及其加工方法。所述一种MEMS催化燃烧传感器，包括第一薄膜部分、第二薄膜部分，所述第二薄膜部分的两侧分别通过第一多孔磁性层对称连接所述第一薄膜部分；所述第一薄膜部分包括硅基底，以及以硅基底为衬底依次设置的第一氮化硅薄膜层、第一氧化硅薄膜层、第一加热敏感电阻层；所述第二薄膜部分包括依次设置的第二氮化硅薄膜层、第二氧化硅薄膜层、第二加热敏感电阻层、贵金属催化层；具有抗中毒、响应迅速和信噪比高的优点。
技术研发人员：王宣诏
受保护的技术使用者：深圳邺诚科技有限公司
技术研发日：2019.04.01
技术公布日：2019.12.27
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询，结果仅供参考。
