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具有滑动介电膜的基板及其制造方法与流程

2019-11-06 02:06:00 来源:中国专利 TAG:滑动 韩国 基板 表面 方法

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种基板以及制造该基板的方法,该基板通过使用具有低表面能的滑动介电膜激活金属吸附原子的表面迁移形成。更具体地,一种具有滑动介电膜的基板包括基板;在所述基板上形成的具有低表面能的滑动介电膜;以及在所述滑动介电膜上形成的纳米颗粒,其中纳米颗粒的表面能比滑动介电膜的表面能至少大1000mJ/m2。通过使高密度和间隔开的纳米颗粒之间以及下基板和上纳米颗粒之间的等离子体耦合最大化,所述基板具有非常高的SERS增强因子,在整个可见区域具有低光损失特性。

技术研发人员:朴圣奎;金东好;郑昊相
受保护的技术使用者:韩国机械研究院
技术研发日:2018.11.05
技术公布日:2019.11.05
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