技术特征：
技术总结
本发明涉及一种MEMS开关及其制作方法，应用桥式结构，在驱动力作用下，使开关的中间部分产生最大位移，进而将接触区域设计为面接触，取消了现有技术中的点接触设计，由此避免点接触的缺点，获得了更高的MEMS开关工作效率，与此同时，针对所设计MEMS开关，具体设计对应其的制作方法，采用键合工艺方案，大大减小工艺复杂度，减小粘附，有效提高了成品率。
技术研发人员：陈巧
受保护的技术使用者：苏州知芯传感技术有限公司
技术研发日：2019.05.29
技术公布日：2019.08.27
再多了解一些
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