技术特征:
技术总结
本发明提供一种背孔引线式压力传感器及其制备方法,其使用通孔引线技术制备压力传感器,实现无打线贴片封装,减小了压力传感器的封装尺寸;同时压力传感器的压阻位于密封腔内,导电垫也通过通孔与外部结构电连接,受外界环境影响较小,器件稳定性好,可用于液体或恶劣环境中压力的监测。
技术研发人员:李刚;刘迪;胡维;吕萍
受保护的技术使用者:苏州敏芯微电子技术股份有限公司
技术研发日:2019.06.14
技术公布日:2019.08.16
再多了解一些
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