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一种玻璃-PDMS微流控芯片键合方法与流程

2019-06-05 23:31:00 来源:中国专利 TAG:芯片 玻璃 加工 方法 微流控

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种玻璃‑PDMS微流控芯片键合方法,包括如下步骤:1、将玻璃用清洗剂进行清洗;2、将粘结剂均匀涂覆在玻璃的一表面上,形成粘结剂层;3、将玻璃进行初次烘烤处理,使粘结剂初步固化;4、将玻璃涂覆有粘结剂的一面与PDMS芯片上开设有微流沟道的表面贴合,然后进行二次烘烤处理,使粘结剂完全固化,从而使玻璃和PDMS芯片键合。该方法操作简单,节约了键合的时间和成本,安全无害,且键合强度好。

技术研发人员:洪少力;张琴韵
受保护的技术使用者:武汉纺织大学
技术研发日:2019.02.15
技术公布日:2019.06.04
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