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一种声栅-反射面压电超声能量收集器及其制备方法与流程

2019-01-08 20:27:00 来源:中国专利 TAG:能量 收集器 超声 反射 制备方法

技术特征:

技术总结
本发明公开一种声栅‑反射面压电超声能量收集器及其制备方法,所述能量收集器包括压电声栅、支撑结构和压电反射层,所述压电声栅通过支撑结构与反射面相连;所述压电声栅为多层平面结构,所述多层平面上刻蚀有多条相互平行的缝隙;所述压电反射层从上往下依次包括:第一金属电极、第一压电材料层和衬底;所述压电声栅从上往下依次包括:第二金属电极、第二压电材料层、结构反射层、第三压电材料层和第三金属电极;本发明通过压电反射层和压电声栅对于超声波的相互反射/吸收作用,实现了超声能量收集利用效率的最大化;相比于传统的超声压电能量收集器,本发明具有收集效率高、器件稳定性强等优点。

技术研发人员:王德波;陆颢瓒;李龙飞
受保护的技术使用者:南京邮电大学
技术研发日:2018.08.09
技术公布日:2019.01.08
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