一种MEMS可燃气体传感器的制作方法

2018-10-13 01:29:00 来源：中国专利 TAG：可燃传感器气体 MEMS

技术总结
本实用新型提供一种MEMS可燃气体传感器，包括硅基底，硅基底的下表面设有2个绝热槽，上表面设有绝热层，绝热层表面设有对称分布且为多孔结构的第一贵金属催化层和第二贵金属催化层，第一贵金属催化层和第二贵金属催化层分别位于2个绝热槽的正上方，第一贵金属催化层表面设有气体隔绝层，第二贵金属催化层表面开有透气孔，气体隔绝层表面设有一组参比电阻，且与第一贵金属催化层和第二贵金属催化层串联，气体隔绝层边缘设有若干引线窗口。本实用新型提供的MEMS可燃气体传感器体积小，功耗低，性能稳定，加工方法简单，生产效率高。

技术研发人员：沈方平
受保护的技术使用者：苏州钽氪电子科技有限公司
技术研发日：2018.03.16
技术公布日：2018.10.12

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